Магниторазрядный насос

Авторы патента:

H01J41 - Разрядные приборы и соединенные с ними средства, предназначенные для измерения давления газа (системы вакуумметров, использующие такие приборы, G01L 21/30); разрядные приборы, предназначенные для откачки при помощи диффузии ионов

Союз Советсиин

Социалистические

Реслублии

О П И С А Н И Е ()945925

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свнд-вувЂ” (22} Заявлено 03. 11. 80 (21) 3230597/18-21 с присоединением заявки М (23) ПриоритетОпубликовано 23 ° 07 ° 82 ° Бюллетень ЮР7

Дата опубликования описания 23. 07. 82 (5l)M. Кл.

Н 01 J 41/ОО

ГеоудорстеенныИ коюнтет

СССР но делом нзооретеннй н отерытнй (53) УДК 621. 528, ° 5(088.8) (72) Авторы .изобретения

А. С. Кузинец, А. М, Шерешевски

Ленинградское научно-производст

"Буревестник" (71) Заявитель (54) МАГНИТОРАЗРЯДНЫЙ НАСОС

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к ионносорбционным насосам, и предназначено для получения и поддерживания высокого и сверхвысокого безмасляного ваку5 ума.

Известен магниторазрядный насос, содержащий ячеистый анод, расположенный между плоскими катодами, и магнитную систему tl).

Недостатком этого насоса является низкая скорость откачки., Известен также магниторазрядный насос, содержащий металлический корпус с размещенной в нем электронной систе-15 мой, состоящей из коаксиально расположенных попых цилиндрических анода и катода, один из которых электрически соединен с корпусом, и коаксиальный кольцевой магнит (23. то

Недостатком этого насоса является низкая скорость откачки, ограниченная недостаточно развитой площадью поверхности электродов.

Цель изобретения вЂ” повышение скорости откачки магниторазрядного насоса.

Эта цель достигается тем, что в маг магниторазрядном насосе, содержащем металлический корпус с размещенной в нем электродной системой, состоящей из коаксиальна расположенных полых цилиндрических анода и катода, один из которых электрически соединен с корпусом, и коаксиальный кольцевой магнит, каждый из электродов выполнен в виде набора перфорированных цилиндров, причем анодные цилиндры чередуются с катодными.

На фиг. 1 представлен насос; на фиг. 2 вЂ” разрез А-А на фиг. 1.

Магниторазрядный насос содержит систему цилиндров 1, присоединенных к электрическому вакуумному вводу 2, систему цилиндров 3, электрически соединенных с корпусом 4, кольцевой магнит 5 и полюсные наконечники 6.

К вакуумной системе насос присоеди3 94592 няется через патрубок 7. Для улучшения условий зажигания газового разряда и снижения вакуумного сопротивления цилиндры насоса выполнены перфорированными. 5

Предлагаемы" магниторазрядный насос работает следующим образом.

При подаче высокого напряжения на электроды насоса во всех кольцевых ячейках, образованных смежными электродами, зажигается газовый разряд.

Под действием образующихся в разряде положительных ионов происходит распыление поверхностного слоя катодных цилиндров, частицы которого оседают на поверхности ан здных цилиндров. В результате осуществляется типичный для магниторазрядных насосов механизм ионной и сорбционной откачки.

Высокий коэ ициент использования объема и большой суммарной поверхности электродов предлагаемого насоса позволяет достичь высокую скорость откачки при сравнительно небольших габаритах насоса.

Предлагаемый магниторазрядный насос предназначен в частности,для электронных с lектpoметpoв и оже-спектро5 4 метров, но может .быть использован практически в любых приборах и установках для получения высокого и сверхвысокого безмасляного вакуума.

Формула изобретения

Магниторазрядный насос, содержащий металлический корпус с размещенной в нем электродной системой, состоящей из коаксиально расположенных полых цилиндрических анода и катода, один из которых электрически соединен с корпусом, и коаксиальный кольцевой магнит, отличающийся тем, что, с целью увеличения скорости откачки, каждый из электродов выполнен в виде набора перфорированных цилиндров, причем анодные цилиндры чередуются с катодными.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Васильев Г. А. Магниторазрядные насосы. М., "Энергия", 1970, с. 43.

2. Патент США Р 3216652, кл. 417-49, 1965 прототип).

945925

Тираж 761 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений-и открытий

113035, Москва, 3-35, Раушская на6., д. 4/5

Заказ 5341/71

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород,. ул. Проектная, 4

Составитель А. Захаров

Редактор Т. Кугрышева Техред М.Надь КорректорА. Дзятко

Магниторазрядный насос // 940263

Способ откачки магниторазрядным насосом // 940262

Магниторазрядный насос // 930433

Магниторазрядный насос и способ его изготовления // 886097

Электродинамический газовый насос // 879675

Способ измерения давления в отпаянных электровакуумных приборах // 862740

Способ измерения давления в отпаянных электровакуумных приборах // 828900

Набор рентгеновских экранов для симультанной томографии // 824806

Фильтр для выделения водорода и его изотопов // 820512

Способ вакуумирования гермообъема // 2140015

Изобретение относится к способам вакуумирования гермообъемов и преимущественно может быть использовано в холодильной, морозильной технике и устройствах кондиционирования и осушения воздуха с использованием термоэлектрических модулей на эффекте Пельтье, а также в измерительной технике, радиоэлектронной аппаратуре электровакуумных приборах и т.д

Откачивающее устройство, предусматривающее применение неиспаряющегося геттера, и способы применения данного геттера // 2193254

Изобретение относится к устройствам создания сверхвысокого вакуума

Неиспаряемые геттерные сплавы // 2260069

Изобретение относится к области металлургии, а именно к геттерным устройствам, изготовленным из геттерных сплавов

Геттероионный насос // 2005324

Электроразрядный вакуумный насос // 2034359

Изобретение относится к ядерной технике и может быть использовано для поглощения и захоронения радиоактивных инертных газов, образующихся в тепловыделяющих элементах и термоэмиссионных электрогенерирующих каналах, а также в других устройствах, связанных с радиоактивными процессами

Электроразрядный вакуумный насос // 2034360

Изобретение относится к ядерной технике и может быть использовано для поглощения и захоронения радиоактивных инертных газов, образующихся в тепловыделяющих элементах и теплоэмиссионных электрогенерирующих каналах, а также в других устройствах, связанных с радиоактивными процессами

Устройство для пьезоэлектрического возбуждения электрических зарядов // 2043661

Изобретение относится к средствам создания статических электрических зарядов и может быть использовано в учебных опытах, а также в устройствах для нейтрализации поверхностных электрических зарядов и различного рода запальных устройствах

Комбинированный ионно-геттерный магниторазрядный насос // 970510

Комбинированный магниторазрядный геттерно-ионный насос // 983824

Комбинированный вакуумный насос // 1034099