Криовакуумная установка

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (11) 947466 . (61) Дополнительное к авт. свид-вуР М К, з (22) Заявлено 091178 (21) 2682294/25-06

F 04 В 37/06 с присоединением заявки ¹â€”

Государственный комитет

СССР но делам изобретений и открытий (23) Приоритет—

Опубликовано 300782. Бюллетень ¹ 28 (33) УДК 621. 528. 1 (088.8) Дата опубликования описания 300782

В.И.Иванов, В.B.Ëåoíîâ, B.È.Êóïðèÿíîâ и В. (72) Авторы

" изобретения

Ленинградский технологический институт х промышленности (71) 3а яв ител ь (54) КРИОВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА

Изобретение относится к вакуумной технике и касается криовакуумных ус.тановбк, предназначенных для создания вакуума путем конденсации и адсорбции газов.

Известна криовакуумная установка, содержащая криогенератор и крионасосы, каждый из которых состоит из корпуса и криоганели, выполненной в виде емкости. Перед откачкой вакуумируемого объекта криопанель изолируется от него и охлаждается криогенератором. Аккумулированный в ней холод расходуется в период откачки вакуумируемого объекта (1) .

Недостатком такой криовакуумной установки является низкая эффективность, обусловленная тем, что регенерации и охлаждению до рабочих температур перед откачкой вакуумируемого объекта .подвергается вся масса криопанели, вследствие чего увеличивают-. ся затраты энергии на проведение этих процессов.

Це/ь изобретения - повышение эффективности установки.

Поставленная цель достигается тем, что криовакуумная установка, содер.жащая криогенератор и крионасосы, каждый из которых состоит из корпуса и криопанели, выполненной в виде емкости, снабжена изолированным трубопроводом с запорной арматурой, объе- диняющим емкости в группы, состоящие по меньшей мере из трех емкостей.

На чертеже.показана схема предлагаемой криовакуумйой установки.

Установка содержит три крионасоса

1, 2 и 3, каждый иэ которых содержит герметичный корпус 4, внутри которого размещена криопанель 5, окруженная защитными экранами 6 и 7. Криопанель

5 выполнена в виде емкости,,на наружной поверхности которой находится сорбент 8. Охлаждение криопанели 5 . осуществляется криогенератором 9.

Вентили 10 и 11 служат для подачи . хладагента из .криогенератора 9 к криопанели 5. Изолированный трубопровод .12 соединяет полости криопанелей

5 всех трех крионасосов 1, 2 и 3. На трубопроводе 12 перед каждой криопанелью 5 Установлен вентиль 13. Крионасосы 1, 2 и 3 подсоединяются к откачиваемрму объекту через патрубки

14 с вентилями 15. Для создания ва.куума в полости крионасосов 1, 2 и 3 в период их регенерации служат вакуумные насосы 16 и,система соединительных трубопроводов с вентилями 17, 947466

Формула изобретения

1В

ВНИИПИ . Заказ 5585/53 Тираж 678 Подписное

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород,ул.Проектная, 4

Прогрев сорбента 8 при регенерации осуществляется подогревателем 18.

Для заполнения полостей криопанелей

5 рабочим телом, например водородом, служит патрубок с вентилем 19.

Криовакуумная установка работает следующим образом.

В работе находится один иэ крио иасосов, например. 1. У него вентили

15 и 13 открыты, а вентили 10, 11 и

17 закрыты. Откачиваемый гаэ поступа-10 ет в. крионасос 1 через патрубок 14, проходит защитный экран 7 и поглощается сорбентом:8, вызывая испарение жидкого .водорода в криопанели 5. Образующиеся пары водорода из криопане-, 5 ли 5 через вентиль.13 и изолированный : трубопровод 12 поступают в полость криопанели 5 крионаооса 2, который находится в стадии подготовки ;к работе. У этог крионасоса 2 вентили

10, 11 и 13 .открыты, а вентили 15 и ..

17 закрыты. Криопанель 5. крионасоса

2.в данный период охлаждается криогенератором.9. В полости охлаждаемой криопанели 5 От паров водорода оТВо дится скрытая. теплота испарения и пары конденсируются. Накапливаемый

s полости криопанели 5 крионасоса 2 жидкий водород аккур улирует холод криогенератора 9..

После испарения всего водорода из полости криопанели 5 крионасоса

1 и конденсации его в полости криопанели 5 крионасоса 2 производят переключение крионасосов 1, 2 и 3. В работу включают крионасос 2, для че-. ЗЮ го открывают вентиль 15 и закрывают вентили 10 и .11 крионасоса 2..На подготовку .к работе ставят крионасос

3, прошедший регенерацию, открывают

C вентили 10, 11 и 13 и закрывают вен. тили 17 крионасоса 3. Отработавший крионасос 1 ставят на регенерацию, для чего закрывают принадлежащие ему вентили 13, 15, включают подогреватель 18, открывают вентиль 17 и производят откачку полости крионасоса

1 вспомогательным вакуумным насосом 16.

Соединение емкостей криопанелей

5 изолированным трубопроводом 12 с запорной арматурой позволяет повысить эффективность криовакуумной установки эа счет того, что в процессе регенерации нагреву подвергаются лишь незначительная часть рабочего тела и полая криопанель небольшой массы. Ос,новная масса рабочего тела не участвует в процессе регенерации, à с низкой. температурой поступает в охлаждаемую криопанель 5 по изолированному трубопроводу 12.. Криовакуумная установка, содержащая криогенератор и крионасосы, каждый из которых состоит из корпуса и криопанели, выполненной в виде емкости, отличающаяся тем, что, с целью повышения эффективности, емкости объединены в группы, состоящие по меньшей мере из трех емкостей, соединенных изолированным трубопроводом с. запорной арматурой.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент CGA Р 3485054,, кл.62-55.5, 1969.