Способ получения нетканого полировального материала

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

<>953037 (61) Дополнительное к авт. свид-ву(22) Заявлено 120181 (21) 3238765/23-05

Р ) М. Кл.

0 04 Н 5/02

0 04 Н 1/64

С 08 L 11/02 с присоединением заявки ¹â€” (23) Приоритет—

Государственный комитет

СССР ио делам изобретений и открытий

Опубликовано 230882, Бюллетень ¹31

Дата опубликования описания 230882 (531 УДК621. 924 (088.8) (72) Авторы изобретения

Т.П. Харченко, T A Ильяшенко, Г.Э. Кан и Б.Л. Хавкина (71) Заявитель (54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ НЕТКАНОГО ПОЛИРОВАЛЬНОГО

МАТЕРИАЛА

Изобретение относится к текстильной промышленности, в частности к производству нетканых полировальных материалов.

Известен способ получения. нетканого полировального материала, в котором используется связующее на основе бутадиенакрилонитрильного латекса, алюмометилселиконата натрия, орТо-. фосфорной кислоты и мочевины, а также электрокорунда $1) .

Недостатком указанного способа является наличие на получаемых полировальных материалах абразивных частиц электрокорунда, которые .мешают получению высококачественных полировальных поверхностей полупроводников и диэлектриков. Кроме того, эти материалы химически нестойки при полировании в агрессивных средах.

Частично задача повышения прочности, износо- и химической стойкости нетканых полировальных материалов решена известным способом их полу чения, заключающимся в том, что холст формируют из смеси 20-50 вес.Ъ акрилонитрильных и 50-80 вес.Ъ полиамидных волокон, иглопрокалывают, пропитывают вспененным связующим

1 из смеси 60-75 вес.ч. карбоксилсодержащего бутадиенкрилонитрильного латекса и 25-40 вес.ч. дисперсии сополимера хлоропрена с метилакрилатом, сушат и вулканизуют ри, 15S165о C 2

Но известный способ не обеспечивает получение материалов с удовлет10 ворительными эксплуатационными свойствами, так как их прочность, износои химическая стойкость остаются недостаточными для успешного проведе.ния процесса полирования полупроводников и. диэлектриков.

Целью изобретения является улучшение эксплуатационных свойств полировального материала за счет повышения его прочности,износо- и химической стойкости (в агрессивных средах) °

Поставленная цель достигается тем, что в способе получения нетканого полировального материала, включающем пропитку иглопробивного холста из синтетического волокна вспененным

25 связующим из смеси 60-75 вес.ч. карбоксилсодержащего бутадиенкрилонитрильного латекса и 25-40 вес.ч. дисперсии сополимера хлоропрена с метилметакрилатом, сушку и последуюЗО щую вулканизацию, пропитывают холст

953037

Составитель В. Островский

Редактор О. Половка Техред З.Палий

Корректор А. Ференц

Заказ 6223/47 Тираж 431

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Подписное

Филиал ППП "Патент", r. ужгород, ул. Проектная, 4 из полиэфирного волокна связующим, содержащим дополнительно 0,0110 вес.ч. гидроокиси щелочного металла и 0,0001-0,1 вес.ч. алюминиевых квасцов, а вулканизацию проводят при 120-170 С: 5

Пример 1. Формируют нетканый холст из 100 вес.Ъ полиэфирного волокна, иглопрокалывают, пропитывают вспененным связующим из смеси

60 вес.ч. карбоксилсодержащего бута- 10 диенкрилонитрильного латекса и

40 вес.ч. дисперсии сополимера хлоропрена с метилметакрилато л с добавками 0,1 вес.ч. гидрата окиси щелочного металла и 0,0001 вес.ч. алюминиевых квасцов. Затем сушат и проводят вулканизацив при 120 С. . Пример 2 ° Формируют нетканый холст из 100 вес.% полиэфирных волокон иглопрокалывают, пропитывают вспененным связующим из смеси

67,5 вес.ч. карбоксилсодержащего бутадиенакрилонитрильного латекса и 32,5 вес.ч. дисперсии сополимера хлоропрена с метилметакрилатом с добавками 5 вес.ч. гидрата окиси щелочного металла и 0,05 вес.ч. алюминиевых квасцов. Сушат и проводят вулканизацию при 145ОС.

Пример 3. Формируют нетканый холст из 100 вес.Ъ полиэфирных волокон., иглопрокалывают, пропитывают вспененным связующим из смеси

75 вес.ч. карбоксилсодержащего бутадиенакрилонитрильного латекса и

25 вес.ч. дисперсий сополимера хлоропрена с метилметакрилатом с добавками 10 вес.ч. гидрата окиси щелочного металла и 0,1 вес.ч. алюминиевых квасцов. Затем сушат и проводят вулканизацию при 170 С. 40

Предлагаемый способ позволяет получать полировальный материал, превышающий материалы, производимые по известному способу, по прочности в 2 раз а, по из носо- и химической стойкости в 7-10 раз.

В отличие от ранее известиых, нетканый полировальный материал, получаемый по предлагаемому способу, применим также в процессах обработки высокотвердых диэлектриков, причем во всех агрессивных средах.

Кроме того, использование нетканого полировального материала, получаемого согласно предлагаемого способа, позволит значительно интенсифицировать процессы химико-механической полировки, а также резко повысить качество и выход приборов электронной техники. на основе полупроводниковых соединений и диэлектриков °

Формула изобретения

Способ получения нетканого полировального материала, включающий пропитку иглопробивного холста из синтетического волокна вспененным связующим из смеси 60-75 вес.ч. карбоксилсодержащего бутадиенакрилонитрильного латекса и 25-40 вес.ч. дисперсии сополимера хлоропрена с метилметакрилатом, сушку и последующую вулканизацию, о т л и ч а ю— шийся тем, что, с целью улучшения эксплуатационных свойств полировального материала за счет повышения его прочности, износо- и химической стойкости, пропитывают холст из полиэфирного волокна связующим, содержащим дополнительно 0,01-10 вес.ч. гидроокиси щелочного металла и

0,0001-0,1 вес.ч. алюминиевых квасцов, а вулканизацию проводят при

120-170 С.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

Р 685671, кл. С 08 L 9/04, 1978.

2. Авторское свидетельство СССР

Р 460337,кл. D 04 Н 5/00,1975(прототип).