Комбинированный ионно-геттерный магниторазрядный насос

 

(72) Автори нзобретення

Л. С. Гуревич и Г. Л. Саксаганскиф

1 (7I ) Заявитель, (5" ) КОМБИНИРОВАННЫЙ ИОННО-ГЕТТЕРНЫЙ ИАГНИТОРАЗРЯДНЫЙ

НАСОС

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к высоковакуумным насосам поверхностного действия.

Известны ионно-геттерные насосы, содержащие различного рода испарители геттера. Эти насосы отличаются высокой .быстротой действия по активным газам при относительно малых габаритах и весе и рядом других преимуществ (1j.

Недостатком данных насосов является низкая быстрота откачки инертных газов, поэтому в вакуумных системах используют комбинацию из ионно-геттерного насоса, предназначенного в основном для откачки активных газов, и вспомогательного насоса, поглощающего инертные газы.

Известен комбинированный ионногеттерный магниторазрядный насос, содержащий герметичный корпус с размещенными в нем испарителем геттера; сорбирующей поверхностью и магниторазрядными ячейками (2).

Достоинством известной конструк-, ции является снижение габаритов и веса системы высоковакуумной ot» качки, однако недостаточно эффективное использование откачной способности магниторазрядных ячеек по инертным газам. снижает скорость откачки насоса в целом. ь

Цель изобретения - увеличение быстроты откачки. комбинированного ионно"геттерного магниторазрядного насоса.

Указанная цель достигается тем, что в комбинированном ионно-геттерном магниторазрядном насосе, содержащем герметичный корпус с размещен-. ными в нем испарителем геттера, сорбирующей поверхностью и магнитораэрядными ячейками, магниторазрядные ячейки расположены по откачиваемому потоку ниже сорбирующей поверхности.

3 9705

На чертеже представлена принципиальная схема возможного варианта предлагаемого насоса, Насос состоит из корпуса 1, в котором размещен испаритель 2 геттера.

В качестве испарителя могут быть использованы прямоканальный, косвенного накала, электродуговой и другие типы источников геттера. Сорбирующая поверхность 3 выполнена охлажда- ° 10 емой, расположена аксиально испарителю 2 и вместе с частью корпуса 1 насоса образует замкнутую зону, соединенную с геттерной частью .насоса со стороны, противоположной входному 15 сечению насоса, т,е. ниже по откачиваемому потоку. Внутри этой зоны находятся аноды 4 магниторазрядных ячеек, а ее входное сечение закрыто сеткой 5, находящейся под потенци- щ алом корпуса насоса. В качестве катодов магниторазрядных ячеек в предлагаемых насосах могут быть использованы стенки корпуса 1 насоса. Постоянные магниты (не показаны) необхо- 25 димы для работы магниторазрядных ячеек.

Предлагаемое устройство работает следующим образом.

Откачка активных газов осушествляется пленкой геттера, осаждаемого из испарителя 2 на сорбирующую поверхность 3. Геттер, осаждаемый на эту поверхность, поглощает подавляющую часть потока активных газов.

Поэтому во входное сечение магниторазрядных ячеек попадают практически только инертные газы, слабо поглощаемые пленкой геттера. Поскольку быстрота откачки магниторазрядних

40 ячеек по инертным газам растет при снижении доли активных газов в откачиваемой газовой смеси, предлагаемое расположение ма гниторазрядных яче-. ек в корпусе насоса позволяет увели45 чить быстроту действия насоса по инертным газам по сравнению с известными конструкциями. В результате возрастает быстрота откачки системы в целом.

Откачка инертных газов в магниторазрядных ячейках осуществляется как внедрением ионов инертных газов в катод, так и их замурованием на поверхностях анода 4. Для процесса поглоще- 55 ния инертных газов геттерирующие свойства распыляемого материала катода не имеют значения, поэтому катоды

10 4 ма гнитора зря дных я чеек, предна зна ченных только для откачки инертных газов

1 могут быть выполнены из любого металла

t имеющего необходимый коэффициент распыления. В предлагаемой конструкции катодами ячеек могут служить стенки корпуса l насоса изготовленного,например, из нержавеющей стали, коэффициент распыления которой практически равен коэффициенту распыления титана,.

Использование стенок корпуса насоса

:в качестве катода магниторазрядных ячеек увеличивает проводимость этих ячеек и, следовательно, дополнитель но эффективную быстроту действия насоса по инертным газам. Оценка пока-. зывает, что можно ожидать увеличения эффективной быстроты действия насоса по инертным газам в 1,5- 2 раза по сравнению с известными конструкциями.

Для предотвращения выхода плазмы, горящей в магниторазрядных ячейках в процессе их работы, за пределы ячеек их входное сечение закрыто сеткой 5.

При использовании электродуговых испарителей 2 геттера наличие сетки 5 позволяет также изолировать магниторазрядные ячейки от плазмы, возникающей при включении испарителя, а применение немагнитного материала для охлаждаемой полости позволяет использовать магнитное поле магниторазрядных ячеек для повышения эффективности работы геттерной части насоса.

Таким образом, изобретение позволяет повысить быстроту откачки насоса, защитить магниторазрядные ячейки от запыления,испаряемым геттером, отказаться от применения титановых катодов в магниторазрядных ячейках и повысить эффективность работы геттерной части насоса за счет использования магнитного поля магниторазрядных ячеек.

Ожидаемая экономическая эффективность определяется, в первую очередь, упрощением конструкции магниторазрядных ячеек и повышением быстроты откачки насоса по инертным газам.

Стоимость магниторазрядного блока комбинированного насоса составляет

20-30 от стоимости насоса в целом.

Поэтому повышение быстроты откачки магниторазрядных ячеек по инертным газам в 2 раза эквивалентно снижению стоимости насоса на 10-15 .

Формула изобретения

Составитель А. Захаров

Техред М.Гергель Корректор М. Шароши

Редактор О. Ковач

Тираж 761 Подписное

ВИИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/3 Заказ 8400/67

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

5 9705

В частности, стоимость одного насоса типа ЭГИН- 10/1,5 при использовании изобретения может быть снижена на 1000 руб, Комбинированные ионно-геттерные насосы предлагаемой конструкции могут быть использованы в электрофизическом аппаратостроении и других отраслях науки и техники, использующих высокий вакуум. о

Комбинированный ионно-геттерный )S магниторазрядный насос, содержащий герметичный корпус с размещенными

l0 6 в нем испарителем геттера, сорбиру щей поверхностью и магниторазрядными ячейками, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью увеличения быстроты откачки, магниторазрядные ячейки расположены по откачиваемому потоку ниже сорбирующей поверхности, !

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент Великобритании .

И 1254799, кл. H 1 О, опублик. 1971.

2. Глушаченко E. В. и др.. 0 совместной работе магниторазрядного и ионно-геттерного насосов,- В кн..:

Физика и техника вакуума. Казань, Из-во Казанского университета, 1974, с. 265 (прототип).

Комбинированный ионно-геттерный магниторазрядный насос Комбинированный ионно-геттерный магниторазрядный насос Комбинированный ионно-геттерный магниторазрядный насос 

 

Похожие патенты:

Предложена комбинированная насосная система (10), содержащая геттерный насос (12) и ионный насос (13), обеспечивающая создание сверхвысокого вакуума. Геттерный и ионный насосы (12, 13) установлены на одном и том же фланце (11) и расположены на одной и той же стороне фланца (11) в двух разных точках на нем. Конструктивное выполнение заявленной системы позволяет легко извлекать постоянный магнит из посадочного места, предотвращая его размагничивание, а также крепить магнит к фланцу различными способами, что обеспечивает повышение надежности работы системы. 7 з.п. ф-лы, 5 ил.
Наверх