Устройство для подгонки пленочных резисторов

 

«и 989592

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву(5))М. Кл.

Н 01-C 17/22 (22)Заявлено 27.01.81 (21) 3245039/18-21 с присоединением заявки ле (23) Приоритет

Гееудерстееееые кеинтет (53) УДК621. 316.,82{088.8) Опубликовано 15. 0 1 ° 83 ° Бюллетень М 2

lN лелем изобретение и етерыткй

Дата опубликования описания 15. 01.83 (72) Авторы изобретения

Н.Д.Мишанин и Р.А.Шигапов

Куйбышевский авиационный. институт им. акад ; -С„П (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОДГОНКИ ПЛЕНОЧНЫХ

РЕЗИСТОРОВ

В этом устройстве один электрод (рабочий)выполнен в форме плоской пластины, а вспомогательным электродом служит металличеакое основание предметного столика 5 2 ), Это устройство обладает невысоким

КПД, так как интенсивность разряда зависит от величины тока высокой частоты, протекающего между двумя элек1О тродами, а ток высокой частоты, в свою очередь, зависит от емкости между двумя электродами, которая состав.ляет очень малую величину 1,10 "-10 пФ) и зависит от расстояния между элек15 тродами и площади торца рабочего электрода. Причем возрастание тока высокой частоты путем увеличения площади торца электрода снижает точность подгонки резисторов, так как происходит увеличение размера апертуры разряда.

Кроме того, точность подгонки резисторов недостаточно высокая вследствие большой апертуры разряда.

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является устройство для подгонки пленочных резисторов, содержащее генератор факель ного разряда, рабочий и вспомогательный электроды, соединенные соответственно с первым и вторым выходами генератора факельного разряда.

Изобретение относится к микроэлектронике и предназначено для прецизионной подгонки пленочных резисторов.

Известны устройства для подгонки пленочных резисторов, которые содержат один или два рабочих электро". да и генератор высокой частоты ).

Причем мощность генератора достаточно высокая (20-100 Вт), а КПД устройства составляет несколько процентов.

Цель изобретения - повышение точности подгонки резисторов.

989592

15 ср с, (< .О/а 2 =1-3

L = — >

2 с

Указанная цель достигается тем, что в устройство для подгонки пленоч.ных резисторов, содержащее генератор факельного разряда, рабочий и вспомогательный электроды, соединенные соот-5 ветственно с первым и вторым выходами генератора факельного разряда, введе.на катушка индуктивности, выполненная в виде половины однополостного гиперболоида и включенная между первым вЫ- 10 ходом генератора и рабочим электродом, а длина рабочего электрода определена формулой где d - расстояние между электродами, S - площадь меньшего торца индуктивности

r - радиус рабочего электрода; 20

l - длина рабочего электрода.

На чертеже представлена ;-функцио" нальная схема устройства, Оно содержит генератор 1 факельного разряда, индуктивность 2, рабочий электрод 3, вспомогательный электрод 4.

Устройство работает следующим образом, Подложка 5 с пленочным резистором 30 (не показан) располагается на вспомогательном электроде 4. Рабочий электрод 3 подводится под требуемый участок пленочного резистора и включа- ется генератор 1 факельного разряда. 3а счет протекания токов высокой частоты возникает факельный разряд, локально удаляющий участок пленочного резистора.

Наличие вспомогательной индуктив- 40 ности оптимизирует условия возникновения и протекания разряда, Систему индуктивность-электроды можно рассматривать как последовательный колебательный контур с резо 45 нансной круговой частотой w

Ш- Сс где L - величина индуктивности; емкость между электродами. Величина индуктивности L — выбрана равной где м) — круговая частота генератора факельного разряда. При этом ус. ловии в колебательном контуре индуктивность-электроды течет максимальный ток, а значит система ра-. ботает с максимальным КПД. Также токи высокой частоты проходят и через паразитные емкости С„ и Ся от торца и боковой поверхности индуктивности к вспомогательному электроду, Токи от боковой поверхности индуктивности мало влияют íà КПД устройства вследствие своей малости, так как они текут через цепь, состоящую из верхней части индуктивности и боковой емкости Ся и имеющую. резонансную частоту, отличную от частоты генератора факельного разряда, Уменьшение площади нижнего торца индуктивности путем придания ей формы половины однополостного гиперболоида уменьшает паразитную емкость Сп, в сравнении, например, с выполнением индуктивности в форме усеченного конуса.

Для того, чтобы устройство имело, высокий КПД, должно соблюдаться условие

""""с с = е EJfr елее р- и а+Е где Ц, E - абсолютная и относительная диэлектрические проницаемости; г - ; d расстояние между электродами; 5 площадь меньшего торца индуктивности;

- длина рабочеro электрода.

Решение неравенства (I) относительно 1 дает условие для длины рабочего электрода

В связи с тем, что уменьшение длины рабочего электрода резко увеличивает паразитную емкость C„ от торца индуктивности, а его увеличение ограничивается как конструктивными соображениями (ухудшается жесткость рабочего электрода), так и спо собствует росту боковой емкости С е то оптимальным можно считать отношение

Необходимо отметить, что диэлектрическая проницаемость материала подложки не влияет на величину выведенного соотношения, Формула изобретения

Устройство для подгонки пленочных резисторов, содержащее генератор факельного разряда, рабочий и вспомо-гательный электроды, соединенные соответственно с первым и вторым выходами генератора- факельного разряда, Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

20 1, Авторское свидетельство СССР и 338923, кл, Н 01 С 17/00, 1970.

2. Авторское свидетельство СССР

Ф 286022, кл, Н 01 С 17/00, 1968.

ВНИИПИ Заказ 11 l37/7 Тираж 701 Подписное

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 5 -989592 6

Технико-экономическая эффектив- о т л и ч à ю щ е е с я тем, что, ность данного изобретения состоит в с целью повышения точности подгонки, повышении КПД устройства в 5-10 раз, в него введена катушка индуктивности, что ведет к снижению мощности приме- выполненная s виде половины однопоняемых генераторов до 2-10 Вт, а так- S лостного гиперболоида и включенная же повышается точность подгонки ре- между выходом. генератора и рабочим зисторов за счет уменьшения размеров электродом, а длина рабочего электроапертуры факельного разряда. . да определена Формулой

Уменьшение мощности генератора фа- 9= -з а «,- кельного разряда и повышение точно- Лг сти подгонки способствует снижениь где d - расстояние между электродастоимости всего устройства и подгон- ми; ки. S - площадь меньшего торца индуктивности;

r - радиус рабочего электрода;

1 - длина рабочего электрода.