Устройства, содержащие гибкие или деформируемые элементы, например эластичные язычки или мембраны (B81B3)
B81 Микроструктурные технологии(126)
B81B3 Устройства, содержащие гибкие или деформируемые элементы, например эластичные язычки или мембраны (B81B5 имеет преимущество)(20)
Изобретение относится к конструктивным элементам МЭМС и способам их изготовления. Технический результат заключается в повышении надежности модуля при работе в условиях высоких температур.
Устройство мэмс или нэмс с упорным набором // 2758699
Изобретение относится к технической области электромеханических устройств. Устройство МЭМС или НЭМС типа датчика или привода, имеющее упорный набор, включающий в себя: - первый плоский слой, содержащий первый плоский электрод, предназначенный для подачи на него первого электрического потенциала, и второй плоский электрод, предназначенный для подачи на него второго электрического потенциала, отличного от первого потенциала, при этом первый плоский электрод является подвижным относительно второго плоского электрода в первом направлении, параллельном первому плоскому слою, - второй плоский слой, наложенный на первый плоский слой и электрически изолированный от первого плоского слоя по меньшей мере одним промежуточным слоем из изоляционного материала, при этом второй плоский слой содержит первый плоский элемент, механически соединенный с первым плоским электродом, и второй плоский элемент, механически соединенный со вторым плоским электродом, при этом дополнительно содержит по меньшей мере один упорный элемент, проходящий от первого плоского элемента или от второго плоского элемента в первом направлении и выступающий относительно указанного плоского элемента в первом направлении, при этом упорный элемент, который проходит от одного из плоских элементов, предназначен для подачи на него такого же электрического потенциала, что и на находящуюся напротив поверхность, принадлежащую к другому из плоских элементов, при этом упорный элемент и электроды выполнены так, чтобы упорный элемент входил в контакт с находящейся напротив поверхностью и блокировал сближение двух плоских электродов в первом направлении во время воздействия.
Проточная ячейка с гибким соединением // 2752814
Изобретение относится к микрофлюидным устройствам, а именно к системе управления реагентами. Прибор для управляемых химических реакций с модулем гибкого соединения содержит систему управления реагентами, выполненную с возможностью расположения в указанном приборе, при этом система управления реагентами содержит множество лунок для реагентов, при этом каждая лунка для реагента выполнена с возможностью вмещения реагента из множества размещенных в системе реагентов, при этом система управления реагентами выполнена с возможностью выбора потока реагента из одной из множества лунок для реагентов; модуль детектирования; и модуль гибкого соединения, содержащий: гибкое соединение, состоящее из многослойного пакета и выполненное с возможностью расположения в приборе, при этом гибкое соединение содержит первый гибкий канал, связанный по текучей среде с системой управления реагентами, при этом первый гибкий канал выполнен с возможностью направления по нему потока реагента; и проточную ячейку, выполненную с возможностью расположения в приборе, при этом проточная ячейка содержит проточный канал, связанный по текучей среде с первым гибким каналом, при этом проточный канал выполнен с возможностью направления потока реагента поверх аналитов, расположенных в проточном канале; причем проточная ячейка выполнена с возможностью перемещения прибором относительно фиксированной базовой точки в приборе, будучи при этом соединенной с гибким соединением.
Изобретение относится к устройству для манипулирования микро- и нанообъектами и способу изготовления микромеханического актюатора и может найти применение в области радиоэлектроники, машиностроения, биотехнологии, электронной микроскопии, медицины.
Изобретение относится к области механики, микросистемной техники и наномеханики, в частности к технике устройств на основе материалов с эффектом памяти формы (ЭПФ), и может найти применение в области радиоэлектроники, машиностроения, биотехнологии, электронной микроскопии, медицины.
Группа изобретений относится к области механики, микросистемной техники и наномеханики, в частности к технике манипуляторов (пинцетов) для захвата и перемещения нано- и микрообъектов. Сущность изобретений заключается в том, что микроманипулятор содержит, по крайней мере, один манипулирующий элемент, выполненный композитным и одномерным, при этом, по крайней мере, один манипулирующий элемент содержит внутреннюю металлическую магнитострикционную сердцевину и внешнюю металлическую магнитострикционную оболочку, причем постоянная магнитострикции внешней оболочки отличается знаком или величиной от постоянной магнитострикции сердцевины, а внешняя металлическая магнитострикционная оболочка асимметрично покрывает поверхность сердцевины, и только частично.
Использование: для создания микромеханического компонента. Сущность изобретения заключается в том, что микромеханический компонент включает в себя подложку и активную структуру, которая выполнена с возможностью отклонения относительно подложки по меньшей мере в одном направлении и которая имеет по меньшей мере один первый участок и второй участок, причем первый участок и второй участок электропроводны, физически жестко соединены друг с другом вдоль первой оси (X) и электрически изолированы друг от друга посредством изолирующего участка, первый электрод, который проходит наружу из первого участка вдоль второй оси (Y) в первом направлении, и второй электрод, который проходит наружу из первого участка вдоль второй оси (Y) во втором направлении, причем вторая ось (Y) расположена перпендикулярно первой оси (X), и причем второе направление противоположно первому направлению, и третий электрод, который проходит наружу из второго участка вдоль второй оси (Y) в первом направлении, и четвертый электрод (232), который проходит наружу из второго участка вдоль второй оси (Y) во втором направлении.
Способ изготовления компонента // 2652533
Использование: для создания микромеханического компонента. Сущность изобретения заключается в том, что способ изготовления микроэлектромеханического компонента включает этап изготовления композита первого слоя, содержащего структурированный слой, который является электропроводящим по меньшей мере на первом участке, и канавку, заполненную изолирующим материалом, которая проходит в наружном направлении от первой поверхности структурированного слоя и размещена на первом участке структурированного слоя, причем первая поверхность структурированного слоя обращена к первой поверхности композита первого слоя, этап изготовления композита второго слоя, имеющего первое углубление на первой поверхности композита второго слоя, этап соединения композита первого слоя с композитом второго слоя с примыканием первой поверхности композита первого слоя к первой поверхности композита второго слоя по меньшей мере на некоторых участках и размещением заполненной канавки в пределах бокового положения первого углубления, после соединения композита (10) первого слоя с композитом (20) второго слоя толщину композита (10) первого слоя уменьшают от второй поверхности (112) композита (10) первого слоя до глубины заполненной канавки (15), причем вторую поверхность (112) композита (10) первого слоя располагают напротив первой поверхности (110) композита (10) первого слоя, и этап изготовления активной структуры (17) компонента (1) в структурированном слое (11), причем активная структура (17) размещена в пределах бокового положения первого углубления (210) и содержит два вторых участка (115) структурированного слоя, которые размещены на первом участке структурированного слоя, жестко физически соединены друг с другом и электрически изолированы друг от друга посредством заполненных канавок; до соединения композита первого слоя с композитом второго слоя заполненная канавка в композите первого слоя проходит на глубину, которая меньше толщины композита первого слоя; композит первого слоя дополнительно содержит вспомогательный слой, примыкающий ко второй поверхности структурированного слоя, причем вторая поверхность структурированного слоя расположена напротив первой поверхности структурированного слоя, и заполненная канавка проходит на вторую поверхность структурированного слоя.
Изобретение относится к технологии создания селективных мембран, функционирующих за счет избирательной диффузии водорода сквозь тонкую пленку палладия или его сплава, и может быть использовано в устройствах глубокой очистки водорода от сопутствующих примесей, сепарации водорода из водородсодержащих примесей, например в микрореакторах.
Изобретение относится к нанотехнологии получения композитных наноструктур - упорядоченных мультислоев микросфер диоксида кремния и наночастиц серебра. Наноструктуры подобного типа в перспективе могут служить элементами так называемых lab-on-chip, позволяющих проводить исследование живых клеток в интактном состоянии, в связи с чем могут найти применение непосредственно для диагностики заболеваний в медицине или для проведения экспертизы в криминалистике.
Способ изготовления балки с заданным изгибом // 2630528
Использование: для изготовления микро- и наномеханических балок, обладающих заданным изгибом. Сущность изобретения заключается в том, что способ включает нанесение жертвенного слоя на подложку, последовательное нанесение двух или более слоев материала балки, отличающихся величиной внутренних механических напряжений, формирование балки на поверхности жертвенного слоя с помощью фотолитографии и травления материала балки, удаление жертвенного слоя из-под балки, нанесение слоев материала балки выполняют методом высокочастотного магнетронного распыления мишени, а разные внутренние механические напряжения в слоях обеспечивают за счет разных значений напряжения постоянного смещения на подложке, при которых наносят слои, при этом заданный изгиб балки достигают путем подбора толщин слоев материала балки, значений напряжения смещения и количества слоев.
Использование: для изготовления микромеханических устройств, содержащих упругие гибкие деформируемые исполнительные элементы. Сущность изобретения заключается в том, что микромеханический актюатор выполнен в виде сформированной в меза-структуре упруго-шарнирной консольной балки, состоящей из параллельных трапециевидных вставок из монокристаллической кремниевой подложки p-типа с ориентацией [100], расположенных перпендикулярно основной оси консольной балки и соединённых полиимидными прослойками, образованными полиимидной пленкой, нагревателя и электропроводящих шин, образующих омический контакт с кремнием, трапециевидные вставки выполнены на противоположных сторонах упруго-шарнирной консольной балки и образуют, по меньшей мере, две зоны деформации.
Использование: для создания систем, обеспечивающих микроперемещения. Сущность изобретения заключается в том, что кремниево-полиимидное гибкое сочленение для микросистем содержит соединяемые полиимидной вставкой кремниевые элементы, при этом в кремниевых элементах выполнены отверстия, заполненные материалом полиимидной вставки.
Нанопереключатель // 2599461
Использование: для использования в качестве многовариантного переключателя электрических цепей. Сущность изобретения заключается в том, что нанопереключатель содержит деформируемую жестко закрепленную на одном конце нанотрубку и два основных электрода для образования двух электропроводящих цепей с помощью электрического поля этих электродов, два электрода, выполняющих функцию управления с помощью своего электрического поля деформацией нанотрубки для создания четырех дополнительных электрических цепей, а также наличием четырех дополнительных основных электродов, деформирующих посредством своего электрического поля нанотрубку и в результате этого вступающих в контакт с ней для образования поочередно четырех дополнительных электропроводящих цепей.
Изобретение относится к электрофизике. Технический результат состоит в снижении момента инерции во время колебания.
Микромеханический элемент // 2559032
Изобретения относятся к приборостроению, в частности к микромеханическому узлу, в особенности к регулируемому оптическому фильтру. Узел содержит первый приборный слой и второй слой подложки, по меньшей мере, частично прикрепленные друг к другу, причем приборный слой содержит ряд отражающих элементов, разделенных между некоторым числом неподвижных закрепленных отражающих элементов.
Сухие клеи // 2543188
Сухой клей, включающий микроструктурную и наноструктурную поверхность и эластичную поверхность, имеющую твердость по Шору А около 60 или менее. При этом микроструктурная и наноструктурная поверхность и эластичная поверхность способны образовывать сухое клеевое сцепление при контакте друг с другом посредством обратимого механического зацепления эластичной поверхности в микропорах и нанопорах.
Изобретение относится к области микроэлектроники - устройствам микросистемной техники, выполненным по технологиям микрообработки кремния, и может быть использовано при создании систем терморегуляции нагреваемой поверхности космических аппаратов, либо иных систем, обеспечивающих микроперемещения в горизонтальной плоскости плоской функциональной несущей поверхности относительно неподвижного основания с расположенными на нем термомеханическими микроактюаторами, состоящими как минимум из двух слоев термодеформируемого материала.
Датчик давления на основе нано- и микроэлектромеханической системы для прецизионных измерений // 2516375
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для прецизионных измерений давления жидких и газообразных сред. Сущность: датчик содержит корпус, установленную в нем нано- и микроэлектромеханическую систему (НиМЭМС), состоящую из упругого элемента в виде мембраны с жестким центром, заделанной по контуру в опорное основание, образованной на ней гетерогенной структуры из тонких пленок материалов, герметизирующей контактной колодки и соединительных проводников.
Изобретение относится к области механики, микросистемной техники и наномеханики, в частности к технике устройств на основе материалов с эффектом памяти формы, и может найти применение в радиоэлектронике, машиностроении, нанотехнологии, электронной микроскопии, медицине.
Изобретение относится к области микросистемной техники и может быть использовано при создании и изготовлении микромеханических устройств, содержащих упругие гибкие деформируемые исполнительные элементы, обеспечивающие преобразование «электрический сигнал - перемещение» и/или «изменение температуры - перемещение» для микроробототехнических систем.
Наноустройство и способ // 2442746
Изобретение относится к устройствам, основанным на нанотехнологии, таким как нанодиоды и нанопереключатели. .
Многоконтактное гибридное соединение // 2383966
Изобретение относится к областям микроэлектроники и микромеханики, микроструктурной технологии и может быть использовано при разработке и изготовлении гибридно-собранных интегральных микросхем, а также при групповом механическом и/или электрическом соединении разнообразных функциональных устройств, выполненных на поверхностях разных подложек: полупроводников, металлов, диэлектриков или их комбинаций.
Изобретение относится к способам изготовления селективных мембран, функционирующих за счет избирательной диффузии водорода сквозь тонкую пленку палладия или его сплава. .
Многоконтактное гибридное соединение // 2363072
Изобретение относится к областям микроэлектроники и микромеханики, микроструктурной технологии и может быть использовано при разработке и изготовлении гибридно собранных интегральных микросхем, а также при групповом механическом и/или электрическом соединении разнообразных функциональных устройств, выполненных на поверхностях разных подложек: полупроводников, металлов, диэлектриков или их комбинаций.
Изобретение относится к микроструктурным устройствам, содержащим гибкие элементы, в частности подвижные относительно друг друга электроды, что позволяет использовать их как датчики механических и термодинамических величин, таких как ускорение, температура и давление.
Изобретение относится к технологии создания газосепарирующих мембран, функционирующих за счет селективной диффузии тех или иных газов сквозь тонкую металлическую пленку. .
Электромеханизм микроструктурный нитевидный // 2281909
Изобретение относится к области электромеханики и представляет собой электропривод линейного перемещения, выполненный в виде микроструктурного устройства, содержащего гибкие и деформируемые элементы. .
