Состав для очистки деталей

 

ОП ИКАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик н>739132 (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) ЗаЯвлено 01047 7 (21) 2473782/22-02

Р1)М, Кл,2

С 23 С 1/02 с присоединением заявки ¹

ГосударстВенный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (23) Приоритет

Опубликовано 0506.80. Бюллетень ¹ 21 (53) УДК 621. 7.024..6:621.7.025.3 (088.8) Дата опубликования описания 0506.80 (72) Авторы изобретения

Г.С.Мустафин и Д.A.Âàéíåð (71) Заявитель (54) СОСТАВ ДЛЯ ОЧИСТКИ АТАЛ И

Изобретение относится к области химической обработки изделий, в частности к очистке деталей от загрязнений органического и неорганического характера, и может быть использовано в радио и электронной промышленности.

Известен состав для очистки деталей, содержащий серную кислоту и перекись водорода (1).

Этот состав удаляет органические вещества с полупроводниковой подложки. Однако использование этого состава для очистки деталей, прошедших предварительную обработку — шлифовку и полировку с пастой ГОИ, не обеспечивает качественной очистки.

Целью изобретения является повышение эффективности очистки деталей, имеющих микроотверстия.

Это достигается тем, что состав для очистки дополнительно содержит антистатическую добавку и хлор-фторхлорзамещенный углеводород при следующем соотнса ении компонентов, об%:

Серная кислота 70-94

Перекись водорода 5-25

Антистатическая добавка 0,03-0,05

Хлор, †фторхлорзамещенный углеводород Остальное ЗО

При этом в качестве хлор,-фторзамещенного углеводорода используется трихлортрифторэтан или дифтортетрахлорэ тан .

B качестве антистатической добавки используется антистатик Фотон (Туб-15-983-76) .

Введение хлор,-фторхлорзамещенного углеводорода (фреона-113) снижает вязкость раствора и поверхностное натяжение, в результате повышается эффективность растворенных связующих, пасты ГОИ.

Введение в с став антистатика предотвращает нал панне посторонних частиц во время работки, промывки, сушки, транспортировки и хранения деталей.

Состав готовят сливанием расчетных количеств перекиси водорода, трнхлортрифторэтана или дифтортетрахлорэтана и антистатика. Полученную смесь добавляют к серной кислоте.

В табл . 1 приведены результаты сравнительной очистки кайиллярного керамического инструмента беэ воздействия ультразвука при температуре 60 C.

Очистка деталей может также производиться при использовании ультра739132 звуКоных колебаний. При этом нремя обработки сокращается до 3-5 мин и выход годных унеличивается до 96 — 99Ъ.

Данные по очистке деталей с использованием ультразвука приведены втабл-2

Из данных таблиц видно, что использование предлагаемого состава вдвое сокращает время обработки и значительно понышает качество очистки капиллярных каналов.

Т а б л и ц а 1

Качество очищенных капиллярных инструментов проверялось на микроскопе типа БМИ по количеству проходящего света через сечение отверстия.

Качест

Содержание компонентов од ных, ди мет,мкм

40 70

6,6 65 80

50 Очищалось

15 шт, от венr»тия вскрылись на 1 шт

Очищалось Очищалось

20 шт,отнерс- 10 шт отверс— тия вскрылись тия вскрылись на 20 шт, на на 10 шт, 2 шт, 7 шг, отверстия имеют частицы имеют прилипшие в сечении отнер р е стия нии отверстия

0,05

Осталь ное

6,6 70 90

Очищалось Очищалось

20 шт, отверс- 10 шт, отверстие вскрылось тия вскрыты на на 20 шт, на 10 шт, 1 шт

6 шт, отверстия имеет прилипшие имеют прилипшие частицы в сечастицы в сече- чении отверснии отверстия тия

Очищалось шт г

Отверстие в ск рыл ось на 1 шт

Очищалось Очищалось 10 шт,6,6 75 90

20 шт, отнерс- 1 шт, имеет прития нскрылись липшие частицы н на 20 шт, на сечении отнерс—

5 шт, отверстия тия имеют прилипшие. частицы в сечении отверстия

0 0.Очищалось .10 шт, отве рс ти я

Hp вскрылись

Очищалось Очищалось

15 ш-.: „20 шт, отверстия отверстия не не вскры- вскрылись лись

0 30

100 Очищалось Очищалось

15 ш", -20 шт, отверстия отверстия не вс кры- не вскрылись лись

Известный состав

0 050

150 Очищалось Очищалось

15 ш.-., 20 шт, отверстия отверстия не вскры- не вскрылись лись

Известный сост.ав

Серная кислота

Перекись водо.рода

Антистатик

Трихлортри— фторэтан

Серная .кислота 82

Перекись водорода 5

Антистатик 0,04

Трихлортрифторэтан Осталь— ное

Серная кислота 94

Перекись водо- 5 рода

Антиститик 0,03

Трихлортрифторэтан Остальное

Извес"тный сос— тан

Серная кислота 93, 75

Перекись водо- 6,25 рода

Очищал ось

15 к(т, от в ерс ти я в ск рыли сь на 3 шт

Очищалось

10щт, отверстия вскрылись на 3 шт

Очищалось

8 шт, отверстия вскрипись на 4 шт

739132

Таблица 2

0 05

Остальное

Отверстие капилляра чистое 96, 97 98 по всему сечению

Серная кислота

Перекись водорода

Антистатик

Трихлортрифторэтан

97 98 99

82

0,04

Остальное

Серная кислота

Перекись водорода

Антистатик

Трихлортрифторэтан

Серная кислота

Перекись водорода

Антистатик

Трихлортрифторэтан

0,03

Остальное

97 97 96

82

0,04

Остальное

Серная кислота

Перекись водорода

Антистатик

Дифтортетрахлорэтан

98 98 99

Хлор,-фторхлорзамещенный углев одород

Формула изобретения

Осталь ное

Составитель Г.Терещенко

Техред Н.Ковалева

Корректор, И.Муска

Редактор Л.Волкова

Заказ 2782/26

Тираж 1 074

ЦНИЧПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Подпи сное

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

1. Состав для очистки деталей, содержащий кислоту и перекись водорода, отличающийся тем, что,(p целью повышения эффективности очистки, он дополнительно содержит антистатическую добавку и хлор-, фторхлорзамещенный углеводород при следующем соотношении компонентов, o6.%:

Серная кислота 70-94

Перекись водорода 5-25

Антистатическая добавка 0,03-0,05

2. Растворпоп.1, отлич аю шийся тем, что он в качестве хлор,-фторхлорзамещенного углеводорода содержит трихлортрифторэтан или дифтортетрахлорэтан.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент Великобритании 91427482, кл. В 6 7, 1976.