Способы или устройства, не отнесенные к группе B81C1 или B81C3 (B81C5)

B Различные технологические процессы;транспортирование(525015)

B81C Способы или устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки микроструктурных устройств или систем (изготовление микрокапсул или микросферических газоконтейнеров B01J13/02; способы или устройства для изготовления или обработки пьезоэлектрических, электрострикционных или магнитострикционных элементов как таковые H01L41/22) (48)

B81C5 Способы или устройства, не отнесенные к группе B81C1 или B81C3(4)

Электростатический микро-, нанодвигатель // 2374746

Изобретение относится к электромеханике, а также к области микроструктурной технологии, в частности к микромеханическим устройствам с подвижными, гибкими или деформируемыми элементами. .

Микромеханический компонент и способ его изготовления // 2371378

Изобретение относится к микромеханическому, микроэлектромеханическому компоненту. .

Способ получения полимерного покрытия на поверхности частиц // 2367513

Изобретение относится к получению полимерных биосовместимых покрытий на поверхности частиц и может быть использовано в фармакологии, медицине, ветеринарии, косметологии для создания систем векторной доставки лекарственных и биологически активных веществ.

Способ контроля качества изготовления микромеханических устройств // 2244271

Изобретение относится к контролю качества микромеханических устройств, используемых в акселерометрах, гироскопах, датчиках давления. .