Конструкционные детали (G12B21/22)

G12 Конструктивные элементы приборов(650)

G12B Конструктивные элементы приборов, не отнесенные к другим подклассам(649)

G12B21 Конструктивные элементы устройств, использующих метод сканирующего зонда(45)

G12B21/22 Конструкционные детали(2)

Многокоординатная метрологическая платформа // 2365953

Изобретение относится к областям техники, связанным с прецизионными координатными измерениями геометрии и локальных свойств материала нано- и микроструктур, протяженных в горизонтальном направлении, в частности интегральных микросхем, микроэлектромеханических систем и наномеханизмов.

Устройство перемещения // 2282258

Изобретение относится к нанотехнологии, а более конкретно к устройствам перемещения по трем координатам. .