Путем катодного распыления (H01F41/18)

H01 Основные элементы электрического оборудования(70435)

H01F Магниты; индуктивности; трансформаторы; выбор материалов, обеспечивающих магнитные свойства (керамические составы на основе ферритов C04B35/26; сплавы C22C; термомагнитные приборы H01L37; громкоговорители, микрофоны, адаптеры или подобные акустические электромеханические преобразователи H04R) (7171)

H01F41 Способы и устройства для изготовления и сборки приборов, отнесенных к данному подклассу(1505)

H01F41/18 Путем катодного распыления(4)

Способ получения тонких магнитных наногранулированных пленок // 2661160

Изобретение относится к способу получения тонких магнитных наногранулированных пленок. Способ включает последовательное осаждение на термостойкую подложку тонкой пленки оксида ферромагнитного металла и слоя металла-восстановителя при комнатной температуре с последующим вакуумным отжигом полученной двухслойной пленки.

Способ получения ферритовых пленок // 839405

Способ изготовления пленочных магнитных индуктивных элементов // 374667

Способ изготовления катушек индуктивности // 177472

Способ получения многокомпонентных ферромагнитных пленок катодным распылением // 138791