С использованием бомбардировки частицами, например ионизаторы (H01J27/20)
H01J27/20 С использованием бомбардировки частицами, например ионизаторы(8)
Изобретение относится к электронике и может быть использовано для ионизации атомарных или молекулярных потоков и формирования ионных пучков в полупроводниковой технологии в области молекулярно-лучевой эпитаксии.
Изобретение относится к клапанам и предназначено преимущественно для быстрого и точного регулирования газовой среды накопительных камер инжекторов холодной плазмы, в реакторах для синтеза легких ядер, при давлении газа на входе клапана не более 10 мм ртутного столба.
Изобретение относится к способу получения многокомпонентного пучка ионов и может быть использовано в установках ионной имплантации и ионного напыления. .
Изобретение относится к технологическим источникам ионов. .
Изобретение относится к микроэлектронике, а более конкретно - к чувствительным элементам интегральных полупроводниковых преобразователей из монокристаллического кремния, предназначенных для использования в различных областях науки и техники, в частности в медицине.