С использованием поверхностной ионизации, например ионные источники с эмиссией под действием поля, термоионные источники ионов (H01J27/26)

H01 Основные элементы электрического оборудования(70435)

H01J Электрические газоразрядные и вакуумные электронные приборы и газоразрядные осветительные лампы (искровые разрядники H01T; дуговые лампы с расходуемыми электродами H05B; ускорители элементарных частиц H05H) (10498)

H01J27 Приборы с ионным пучком (H01J25,H01J33 и H01J37 имеют преимущество; ускорители элементарных частиц H05H) (240)

H01J27/26 С использованием поверхностной ионизации, например ионные источники с эмиссией под действием поля, термоионные источники ионов ( H01J27/20,H01J27/24 имеют преимущество)(16)

Высокотемпературный источник поверхностной ионизации // 2625728

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано для получения пучков ионов при разделении изотопов или масс-спектрометрии. Высокотемпературный источник поверхностной ионизации из монокристаллического материала с объемно-центрированной кубической решеткой снабжен цилиндрическим сквозным отверстием, которое выполнено вдоль кристаллографического направления [111] монокристалла.

Устройство создания ионных потоков // 2389105

Изобретение относится к области создания полупроводниковых приборов методом легирования и предназначено для получения направленных потоков (пучков) ионов. .

Способ получения потока положительных ионов // 2288520

Изобретение относится к технике получения потока положительных ионов и предназначено для генерирования ионов в технологическом оборудовании. .

Автоэмиссионный источник ионов с пониженным рабочим напряжением // 2206937

Способ получения ионных пучков щелочных металлов // 2148870

Изобретение относится к получению ионных пучков и может быть использовано в ускорительной технике, масс-спектрометрии и т.п. .

Эмиттер заряженных частиц // 2143766

Изобретение относится к электронике и может быть использовано в качестве источника интенсивных электронных потоков, а также в качестве источника ионов. .

Способ получения отрицательных ионов в поверхностно- плазменных источниках // 2109367

Изобретение относится к поверхностно-плазменным источникам отрицательных ионов, а именно к способам получения отрицательных ионов в поверхностно-плазменных источниках, и может быть использовано в ускорителях заряженных частиц или устройствах для осуществления термоядерного синтеза.

Источник интенсивных ионных пучков // 2075132

Способ получения пучка отрицательных ионов фуллеренов и/или их производных // 2074451

Изобретение относится к плазменной технике, в частности к способам получения отрицательных многоатомных ионов. .

Полевой ионный источник // 2071138

Электрогидродинамический источник ионов // 2036531

Изобретение относится к устройствам для получения пучков заряженных частиц, в частности ионов, заряженных кластеров и микрокапель, и может быть использовано для получения с последующим формированием субмикронных ионных пучков, находящих все более широкое применение при микрообработке распылением; микроанализе и растровой ионной микроскопии; прямом безмасочном легировании полупроводников; в ионной литографии, а также для нанесения тонких пленок и покрытий кластерными и микрокапельными пучками.

Способ получения потока положительных ионов // 2019880

Изобретение относится к технике получения потоков положительных ионов, которые используются в науке и технике: ускорителях заряженных частиц, в реактивных двигателях, для различных технологических процессов.

Источник ионов электрогидродинамического типа // 1829746

Изобретение относится к микротехнологии и может использоваться, например, в ионно-литографических установках, растровых микроскопах и т.д. .

Источник ионов натрия // 1797395

Ионный источник масс-спектрометра // 1572327

Способ получения пучка ионов цезия // 1412516

Изобретение относится к эмиссионной электронике и может быть использовано в технологии и экспериментальной технике. .