Ловушки для удаления или отклонения нежелательных частиц, например отрицательных ионов, краевых электронов и устройства для разделения по скорости или массе (H01J29/84)
H01J29/84 Ловушки для удаления или отклонения нежелательных частиц, например отрицательных ионов, краевых электронов; устройства для разделения по скорости или массе (спектрометры элементарных частиц или разделительные трубки H01J49)(8)
Изобретение относится к плазменным технологиям нанесения пленочных покрытий и предназначено для очистки плазменного потока дуговых испарителей от микрокапельной фракции. .
Изобретение относится к плазменным технологиям нанесения пленочных покрытий и предназначено для очистки плазменного потока дуговых испарителей от микрокапельной фракции. .
Изобретение относится к плазменным технологиям нанесения пленочных покрытий и предназначено для очистки плазменного потока дуговых испарителей от микрокапельной фракции. .