Устройство для локального определения соедержания газовых примесей в металлах
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЛОКАЛЬНОГО ОПРЕДЕЛЕНИЯ СОДЕРЖАНИЯ ГАЗОВЫХ ПРИМЕСЕЙ В МЕТАЛЛАХ, содержащее вакуумную камеру, оптический квантовый генератор, масо-спекрометр, блок синзфонизации срабатывания спектрометра и оптического квантового генератора , отличающееся тем, что, с целью повышения чувствительности анализа, оно дополнительно содержит оп сечной клaпaIi с калиброванным отверстием , перегородку в вакуукшой камере, электромагнитнь1й привод клапана, причем седло клапана расположено в перегородке элекгромагнитньн привод связан штоком с клапаном и подключён к вкоду блока синхронизации срабатывания масо-спектрометра и оптического квантового генератора.J (Л с
ССФОЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (19) (11) З(51) G 01 М 25/38
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕтЕНиЯ Н ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3302865/18-21 (22) 14. 04, 81 (46) 30. 09. 83. Бюл. № 36 (72) П. Г. Биндер и М, Н. Ковалев (7 1) Всесоюзный научно-исследовательский проектно-конструкторский и технологический институт электротермического оборудования (53) 620, 181. 2 (088.8) (56) 1. Патент США № 3546449, кл. 250-41. 9.
2. "Заводская лаборатория", 19 68, № 12, т. ХХХ1У, с. 1263-1266. (54) (57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЛОКАЛЬНОГО ОПРЕДЕЛЕНИЯ СОДЕРЖАНИЯ ГАЗЭВЫХ ПРИМЕСЕЙ В МЕТАЛЛАХ, содержащее вакуумную камеру, оптический квантовый генератор, масо-спекрометр, блок синхронизации срабатывания спектрометра и оптического квантового генератора, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения чувствительности анализа, оно дополнительно содержит от сечной клапан с калиброванным отверстием, перегородку в вакуумной камере, электромагнитный привод клапана, причем седло клапана p=" -.ïîëîæåíî в перегородке электромагнитный привод связан штоком с клапаном и подклloчеH к входу блока синх ронизации срабатывания масс-спектрометра и оптического квантового генератора.
О
Тйрвж 873 Подписное
Филиал ППП Патент, r. Ужгород, ул. Проектная, 4
Изобретение. относится к устройствам, применяемым в металлургии, в частности устройствам для определения газовых примесей в металлах.
Известно устройство для определения газовых примесей в металлах, содержа- щее вакуумную камеру, индуктор и масоспектрометр t 1
Недостатком указанного устройства является то, что в результате индукцион- Оного нагрева плавится весь исследуемый образец, не позволяя определить содержание газов на локальном участке образца, Известно также устройство для локального определения содержания газовых 15 примесей в металлах, содержащее вакуумн по камеру, оптический квантовый ге нервтор, масс-спектрометр, блок синхро низации срабатывания масс-спектрометра и оптического квантового генератора l.2), 20
Недостатком известного устройства является отсутствие достаточно быстрой регулировки давления в камере в момент измерения, что не позволяет повысить гувствительность анализа выделившегося 25 газа.
Цель изобретения — повышение чувствительности анализа.
Поставленная цель достигается .тем, что в устройстве для локального опре- 30 деления содержащих газовых примесей в металлах, содержащем вакуумную камеру„оптический квантовый генера.» тор, масо-спектрометр, блок синхрони-. зации срабатывания спектрометра и оптического квантового генератора допол нительно введены отсечной клапан с калиброванным отверстием, перегородка— вакуумной камеры, электромагнитный привод клапана, причем седло клапщ а рас- 4р положено в перегородке, электромагнитный привод связан штоком с клапаном и подключен к входу блока синхронизации срабатывания масс-спектрометра и оптич еского квантового генератора.
На чертеже представлена схема предлагаемого устройства.
Устройство состоит из измерительной камеры 1, перед окном 2 которой размещены микроскоп 3 и оптический квантовый генератор 4. На фланцах
RH ИИ ПИ Заказ 754 1 /44 камеры размещены датчик ионизационного вакууметра 5 и датчик масс-спект
I рометра 6. Образец 7 расположен на держателе 8, связанном с устройством 9 ввода движения в вакуум. Возвратно-поступательное перемещение отсечного клапана 10 с отверстием 11, размещенного в перегородке 12, осуществляется через сильфон 13 при пс моши штока 14 и электромагнитного привода 15, синхронизированного с масоспектрометром 6 и оптическим квантовым генератором 4 блоком 16 синхронизациие
Устройство работает следующим образом, При достижении в камере 1 высоко-9 -8 го вакуума 10 — 10 мм рт.ст. и выборе исследуемой области на образце 7 при помощи микроскопа 3, клапан 10 находится в положении 1. При этом обеспечивается максимальная скорость откачки. В момент измерения по сигналу с блока синхронизации вклк чаются.синхронно оптический квантовый генератор 4, луч которого испаряет часть образца 7, масо-спектрометр 6 и привод 15 клапана 10. Клапан переходит в положение П и перекрывает отверстие в перегородке 12, при этом откачка части камеры производится через отверстие 11.
Масс-спектрометр производит измерение выделившегося из образца газа.
После окончания измерений клапан переходит в положение 1, после чего цикл измерения. можно повторить.
Таким образом, предлагаемое устройство позволяет обеспечить оптималь ную работу масс-спектрометра, Если производить измерения без клапана, то при высоком вакууме и большой скорости откачки камеры масо-спектрометр не зарегистрирует весь выделившийся газ. Если перекрыть камеру клапаном без отверстия, то произойдет заброс давления и спектрометр будет перегружен. Введение клапана с отверстием позволяет повысить чувствительность устройства.
