Устройство для удаления рабочего агента с поверхности изделий в установке для жидкостной обработки

 

УСТРОЙСТВО ДЛЯ УДАЛЕНИЯ РАБОЧЕГО АГЕНТА С ПОВЕРХНОСТИ ИЗДЕЛИЙ В УСТАНОВКЕ ДЛЯ ЖИДКОСТНОЙ ОБРАБОТКИ , включающее держатель изделий со средством его вращения и установленный над держателем колпак, отличают е.еся тем, что, с целью повьоаения эффективности Удаления рабочего агента, оно имеет защитную сферическую перегородку, установленную внутри колпака и обращенную выпуклой частью в его сторону , причем в перегородке выполнены отверстия, размеры которых обеспечивают удержание на поверхности ее выпуклой части капель рабочего агента за счет сил поверхностнрго натяжения.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

ОШ. Л

РЕСПУБЛИК

09) (И) 3(5В В 08 В 15/02

k

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н ABT0PCKOMV СВИДЕТЕЛЬСТВ,Ф

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ГЮ ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЬГПФ (21) 3417213/29- 12 (22) 01.04.82 (46) 15.12.83. Бюл. Ю 46 (72) В-. М. Ружицкий, A. П. Савченко, В. М. Терещенко и С. А. Щебенюк (53) 621-7.02(088.8) (56) 1. Установка проявления фоторезистора ППФ-2..Разработка "Элион".

Каталог 1976, 11-14011-12. (54)(57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ УДАЛЕНИЯ

РАБОЧЕГО АГЕНТА С ПОВЕРХНОСТИ ИЗДЕЛИЙ В УСТАНОВКЕ ДЛЯ ЖИДКОСТНОЙ ОБРАБОТКИ, включающее держатель изделий со средством его вращения и установленный над держателем колпак, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения зффективности удаления рабочего агента, оно имеет защитную сферическую перегородку, установленную внутри колпака и обращенную выпуклой частью в его сторону, причем в перегородке выполнены отверстия, размеры которых обеспечивают удержание на поверхности ее выпуклой части капель рабочего агента за счет сил поверхностного натяжения.

1060263

Устройство содержит емкость 1, s которой размещен вращающийся с помощью привода (не показан) держатель 2 с упорами 3 для установки и крепления иэделий 4 с фоторезис» тором, форсунки 5, закрепленные на наружной части колпака 6, предназначенные для жидкостной обработки иэделий 4 с фотореэистором, сферическую защитную перегородку 7, установленную во внутренней части колпака б, отверстия 8 для Форсунок 5 и отверстия 9, выполненные на поверхности защитной перегородки 7, пневмоцилиндр 10 вертикального перемещения колпака б.

50

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в электронной, радиотехнической и других областях промышленности для осуществления струйной обработки с последующим удалением рабочего агента с поверхности иэделий..

Известно устройство для удаления рабочего агента с поверхности изде» лий, включающее держатель изделий: со средством его вращения и установ- 10 ленный над держателем колпак (1) .

Недостатком устройства является низкая эффективность удаления рабочего агента, проявляюи1аяся в том, что капли, находящиеся на внутрен- .15 ней поверхности колпака, срываясь, попадают на обработанное изделие, что приводит последнее к браку.

Цель изобретения — повыаение эффективности удаления рабочего агента.20

Поставленная гГель достигается тем, что устройство для удаления рабочего агента с поверхности изделий в установке для жидкостной обработки, включающее держатель изделий 25 со средством его вращения и установленный над держателем колпак,, имеет защитную сферическую перегородку, установленную внутри колпака и обращенную выпуклой частью в его сторону, причем в перегородке выполнены отверстия, размеры которых обеспечивают удержание на поверхности ее выпуклой части капель рабочего агента за счет сил поверхностного натяжения.

На фиг. 1 изображен колпак беэ защитной перегородки на фиг. 2усолпак .со сферической защитной пере- городкой..

Устройство работает следующим образом.

При поднятом колпаке 6 на держа тель 2 в упоры 3 устанавливаются иэделия 4 с фоторезистом, после чего колпак 6 со сферической защитной перегородкой 7 при помощи пневмоцилиндра 10 закрывает емкость 1, накрывая при этом держатель 2 с установленными на нем иэделиями 4.

После этого включается привод вращения держателя 2 (не показан) и подается рабочая жидкость через форсунки 5 на обрабатываемые изделия 4.

После окончания процесса .жидкостной обработки подача рабочей жидкости . через форсунки 5 прекращается и подается .вода для промывки поверхности.изделий 4. По окончании промывки держатель 2 с закрепленными изделиями продолжает вращаться, .при этом, удаляется (сбрасывается) оставшаяся на поверхности иэделий 4 жид- кость. .При подъеме колпака 6 вверх оставшиеся капли на внутренней поверх, ности колпака не могут попасть на поверхность изделия 4 и привести к браку. В предлагаемом устройстве при вращении держателя 2 с обрабатываемыми иэделиями 4 со скоростью

?000-2500 об/мин создается из мелких капель распыляемой форсунки 5 рабочей жидкости увлажненное торо- . идное поле. Это поле располагается между вращающимся-держателем 2 с изделиями 4 и защитной перегородкой 7. Вращающийся держатель 2 с изделиями 4 начинает увлекать за собой распыленную рабочую жидкость, которая, соприкасаясь с рабочей поверхностью защитной перегородки 7, начинает дробить крупные капли рабочей жидкости, появляющиеся на защитной перегородке 7, и, перекатывая их из.отверстия в отверстйе, сбрасывает их в нерабочую зону, от-" куда они стекают в слив.

Применение предложенного защитного устройства позволяет уменьшить процент брака операции проявления фотореэиста,!и довести его до 3-5%, ( а также уменьшить трудоемкость операции проявления фотореэиста в

2 5 раза

Годовой экономический эффект от использования устройства составляет

10,0 тыс.руб.

1060263

Составитель Т. Казинова

Редактор H. Горват Техред,Л.Пилипенко Корректор A. Дзятко

Заказ 9913/7 . Тираж 591 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета. СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, ж-35, Рауыская наб., д. 4/5

Филиал,ППП "Патент", г. УжгОрод, ул. Проектная, 4