Квазисферический электростатический анализатор энергии электронов

 

КВАЗИСФЕРИЧЕСКИЙ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЙ АНАЛИЗАТОР ЭНЕРГИИ электронов , содержащий электронн то пушку и анализирующий блок, состоящий иэ сеток, коллектора вторичных электронов , коммутирующих и дистанционирующих элементов сеток и коллектора, отличающийся тем, что, с целью упрощения конструкции и увеличения жесткости при одновременном сохранении характеристик анализатора., анализирующий блок выполнен в виде керамической обоймы, в которую помещены сетки и коллектор, дистанциониров-анные друг от друга с помощью керамических колец.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

3(51) Н 0 1 4 9 / 4 8

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTGPCHGMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЬГПФ (21) 3412553/18-25 (22) 23 ° 03. 82 (46) 23.12.83. Вюл. М 47 (72) Б.М.Зыков,. В.К.Цхакая и В.И.Ярыгин (53) 621.387.424 (088.8) (56) 1. Шульман Р .Г. и Фридрихов С.Р..

Вторично-эмиссионные методы исследованин твердого тела. М., Наука, 1977.

2. 11роспект фирмы R3BEQ °

Физика поверхностей.,Исследованиетехнология — применение. LEE0 kHEE3

S 395- МВЕ, модель ОРИ 304 (прототип) . (54 ) (57) КВР.ЗИСФЕРИЧЕСКИЙ ЗЛЕКТРОСТРТИЧЕСКИЙ РНРЛИЗРTOP ЭНЕРГИИ электронов, содержащий электронную пушку и анализирующий блок, состоящий из сеток, коллектора вторичных электронов, коммутирующих и дистанционирующих элементов сеток и коллектора, отличающийсятем, что, с целью упрсщения конструкции и увеличения жесткости при одновременном сохранении характеристик анализатора., анализирующий блок выполнен в виде керамической обоймы, в которую помещены сетки и коллектор, дистанционированные друг от друга с помощью керамических колец.

10б2608

l)зобретенHP относится к 3;ектрон— най оптике и физической электронике и предна-начено для химического и структурного B»BëèçB наверх на<)ти тзср догo тела методами B торично-электронной спектроскопии (БЭС): электрОннаи оже-спектроскопии (ЭОС),ионизацианной электронной спектроскопии ())ЭС,(с спектроскопии плазменных потерь эне 0гии электрснон (СППЭЭ) и дифракции медленных электpoHOB (Д()Э),и позволяет гр<дизводить измерение изменения

Рабаты. ныхОД с) элек ТРонов с повеРхности метод Ом }< о»такт»ой разности пОтечцидлОБ (Kpp)

Для Осуществления перечисленных методов исследований с помощью одного устааистна пРименЯютс Я кзазисфеРические элек-.ростатичес}<ие трех †и че тырехс(ето«(«(ые 3 Hàëè заторы э нерги электронон (КСР.) . Г1 ).

))аиболее близким к г)редлагаемому является снабженный электронной пушкой и анализирующим блоком с тремя или четырьмя сeTêами,. коллектором

Вторичных электро»он, выполняющим н методе ЧЭ также функции люминесцентнога экрана, экранами пушки и блока сеток с коллектором, элементами крепленчя и дистанцианирования с этак и;< Оллек тара, а тд кже к Омм«/тирующими элементами сеток, коллектора и электронной пушки, Сетки и коллекB б;)ск с Hомащh}0 л.-;рующих =-;лементов, выполненных сбыч-НО ь RHJ;;е, рех с оек пециа3 ной коне Tpy;

С ДИСтс НЦИОННТОРа(ИИ C)PTÎ}(H КОЛЛЕК тopB . К(.Р. = -,Bб)1<ены специ аль нь (эк ра

НОМ i)Т!Я ПРЕДСТВР Г ЕНИЯ ПОПВДдНИЯ Нс; коллек.".0?3 трети. )н." .:; э.:lo!

?3CP}

Элек тронная пушка ра<.положена за

ЭЛЕ КТРОН "ОГО I)" K са «-) с! Об Ра 3 0<.(„ находящийся В Вентр"- кривизны сеток коллектора j?: .

Изнест(ЯЫе КСР) каис TpyK THBHO слсж— ны и громоздки.Это вызвано нали—

«гием специального экрана блбка сета с коллектора элементов его крепле??ия, а также слох<ностью и громоздкос—

TBK} системы крегления и дистанцио .— (ировани Я сеток И коллектора . Кроме того, установка сеток и коллектора на трех «?е связанных между собой

=тo?(KBK, е обеспечивает даста I<)÷íoé

))<ЕЕ:т <ОСти аиаЛИзатс)РН с «lтС В C Bo}0

0<(е)дель может i p»н..;;.iть к ((оянленик микрофс»((01. о эффект, < умень((?акыегo

COO:(}(O(((P!(H«(СИГ Нc(J /(3)М, И З КСНЕЧ нам счете и ухудше(}ию хара к терисс э -ти к К С((1)елью изобреTPHH» — у.(ращение

<0Нс рукции и увеличение )(

1(! . OC T B EI 3) с Н Н а Я Е ) B Д ОС Т И . B C T C H тем, что в кзазисферическом электростатическом анализаторе эн<зргии

Влек тро»OB, с одержашем электронную пушку и анализирующий блок, состоя)5 Щий И < СЕТСК с КО3(Т(ЕК-OPB ВТОРИ (HblX электронов, коммутирующих и дистан(и of!. ру(1(цих э J . Смен "с: — —." О1< 1! к OJ< "(ек тора, Bi- л:зируюши- блoi< . Зол»ен

В зидс кесамической .)б()й.. ы,.:с . став

pyf<) ЯО."" е(",сны сетки и к0 ..Яе(.тОр, дис (BkvEIHof}HpoBB н»hc друг or дру .а с помс(33þ кер мических колец. (3 (-HKH к E рами- c c K ., i Об Ои(:1ьl =: "р дни руют простран<.тно сетки — . с;(лекто-.

О 1 трети 1ных электоа=.аз 1)c Обхс див

r5 масть экранировки от . е:H::-ых;лек—

Tp0H0B сВ я 3 B HB тсм ТО они:.ройд я

«epез тормозя цие се.- и и пспадая»а

}<оллектор, приведут 1< получению лс)ж»ой информации. а;:опадая .::3 кол—

3.ЕК OP МИМО ТООМ03 Яшей (» к)(- "ЕХ.И

3 (3

<1 ИВСЮТ (РО)сDBЛ)й ЭЛЕК:РО,. — Ый ток, УМЕН =Шая ТЕМ СB» ЫМ С.)OTHOir!C»H«3 СИГ— на)./шум . Коллектор, с етк1. )» i !

4() ))ижнее к аль ца тpeн с; <,<ИKа . p:=11 я .) В Е РС Т И Я МИ И В С Т ав Л ° » Н Ымlс с< Ч -::Х::

И 3 ОЛЯТОРс)МИ 1:PPj»Н а 3 Нд «? Ck? О i Я Ю . ТИ розки бло-;д сеток vi 313 P? .To)iа QT»cсН Ter(Bi!0 oH H: ескаи;:;:и .=.ле <т: " !»сй (с 1)уШКИ

;):-) «ЕРТЕжЕ СХЕМ.-<:!.:- . ЕСКИ И зоб(i(—

;< е!Iа к 0»(3 тPyKЦи Я (Ре, (л 11 с) е" . 0 ". СР..

РH !.-..из<.,тао c0ñ <ди- из ке))д«си - =;—

К ОИ ОЬ ОИМЫ (< В ?" (. " .". О (()Р< ic=(.1(0" ложе-i":c ко)(3)ек т оо 2 и «е-ки 8

ОНИ ДИСТа ?LHÎÍÈ "»ОВВНЬ I!Py" О Д)3УГ«. ке рами ч ес: ик(и к аль псl? и cf с Я . ты блок kia»ицпой айксй 8 .Э (-.:i б:;ок

В(та ВЛЕН В В ЕрХ НЕЕ Лас)(ОЕ КОЛ(-ДС: 1

?,зол?(роз,lHой .1 )Дс танки ) 8, вып )

»е»-:.o

1 81 yñтинОе "I«B»iа IB бд зон ам ф)lа(?Цc .

;а базовом ла I((P независимо от б3(ока с еToê с к оллек тором у<) т =.-?Oâ лена электронная г!»у(3Л<а . 5 . ))«(«! за;. реплена с памощьк(трех стоек 18;-:д керамической пли, е 17, .ко:o))BB с

ВинтОВ 1 8 H ) =; 33 < )е!) c»B

65 Нд. ф IB HIIC i Н ЕМ 1 c!!с >»("; зм«"ЦЕ Н<-, герметичные ме таллок ерамнч ес к ..F. токовыводы 20, к когopblì присседине— ны коммутирующие выводы 21 всех элемен тов анализатора (с с етк ами они соединены через прорези в керамической обойме) Электронная пушка 5 помещена B экран 22, который закреплен на керамической плате 17. Коммутирующий вывод 21 коллектора pac— положен внутри телескопического эк-рана 23 и соединен с отдельным токсвыводом 24 .

Предлагаемый КСР. работает следующим образом.

При исследовании в вакууме поверх-, .» ности твердого тела методами ЭОС,, ДМЭ, ИЭС, СППЭЭ И КПР они могут быть осуществлены путем переключ ени я соответствующих режимов работь, электронной пушки, сеток, коллектора и образца, заранее настроенных с помощью блока коммутации и уг.равления. Но всех случаях пучок ..Орзичных электронов, сформированный зт.ектро:— ной пушкой, падает на поверхность образца, находящегося в центре кри25 визны сеток и коллектора. Вторичные электронь:, образовавшиеся в результате взаимодействия первичных злектРОнОв с повеРхностью твердого тела, движутся в пространстве между образцом, перв Ой сеткой и пОтЕнциальным экраном (изолированным от стенок вакуумной камеры), в который помещен весь анализатор, и затем, проходя блок сеток, анализируются 35 по энергиям.

-, pcжимах Э»СС» I(pe ll i ((( час . я pacп)iедe iс Hие- н ори»l«ых эле »вЂ” троне в .-.0 знерги м или .е) Baÿ -.! pîизволная от ра.пределе«ня. I.ð« à-:a.!Н3е этих результа:DB делаю-. заклю-сение об элсмен=ном составе «хим»lec— ком состсяниl! исследуемо ; поверх«ос; H.

b режиме для ис следу етс я п рсс т— ра нств ен ное распределение упруго

Отраженных э ск-.pcl:.c B в и ce!Ii! .и на люминеcцентнь!и экрaн, нpcу!цcе инфoр мацию о cтруктуре исследуемой поверх— и с и.

Б режиме КРП p="истрируется сдг. г пo напряжению кривой B Cðæêè ток,;

Bëåêòðîiiíîãî п)». ка на 03 азец при постоянном To!»c Ha 00 азс» . Этот сдвиг пo абсолютной величин раае н изме:-:ению работы выхода и СЛ"-дУемой

Вl O В; 13:." " 0 С Т И . ! (pсЗдЛОл .= H Н a . K С:: . Тp» f» ц» я К, i . »i с13 воляет у1-.13 "..-Ить лз-: 3тс вс1еннс» сс3ср— к" - ю тирОвкч а .- аs:ива тО»0-. сi сбГспс. чить надежную .;:.-. Оту анали атаров

B двух vсслед 0В а те lbñ le« H уc та» QBк ах ,казанных вы::е режимах.

Эыполненис анал:-;:-ирующего блока в ви е керамической обоймы:!Oзвсляет, кроме упрсщения конструкции за с- - т

Отк а» 3 а QT Специаiii и Огc экрана и сло .;ной системы псдвеса» дистанцисни рОва ни я с р ток и к Оллек:Ора Ha т» ех стсйках, увелaчить жесткаст -. кс:нс:— рукции и тем ca." ii уме«ь: н ть мик сэо— ф снный зффек» 1 в х ». ч » в со;3;Ho. ñ и ис сигнал, шум Этс- являет.- B оссэбеннс

B a iIl H LЯML д л Я к С; . с б с33) ь, с»» л д,1 а л» е: 0 с»л» сегмента сетс к и ai;å!.òópîé.

1062803

Составитель Б . Рахманов

Редактор Р..Козориз Техред И,Метелева Корректор JI,IIa-.aA

Заказ 10232/55 Тираж 703 ГГодписíое

BHHHPÈ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

-3035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Филиал Г?Г!ГГ Иате-:ò, г. Ужгород, Ул. Г!роектная,