Устройство для получения ионного потока

Авторы патента:

H01J27/24 - с использованием фотоионизации, например с использованием лазерного луча

1. Устройство для получения ионного потока, содержащее источник лазерного излучения, мишень, систему фокусировки лазерного излучения на поверхности мишени, газоразрядную систему с источником питания и систему формирования ионного потока, отличающееся тем, что, с целью повышения эффективности, в устройство введены магнит, а газоразрядная система выполнена в виде цилиндрического электрода, подключенного к положительному полюсу источника питания, и двух торцевых электродов, подключенных к отрицательному полюсу источника питания, и расположена таким образом, что ось ее направлена вдоль магнитного поля, при этом в цилиндрическом и торцовых электродах выполнены отверстия для ввода лазерного излучения испаренного вещества в разрядный промежуток, а система формирования расположена со стороны торцевого электрода, в котором выполнено отверстие для вывода ионного потока.

2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что в газоразрядную систему дополнительно введен цилиндрический электрод, расположенный коаксиально первому цилиндрическому электроду и подсоединенный к отрицательному полюсу источника питания.

Источник многозарядных ионов для циклотрона // 908194

Лазерно-плазменный источник ионов и излучения // 2250530

Источник низкоэнергетичных ионных пучков для технологий наноэлектроники // 2353017

Изобретение относится к области ионно-пучковой инженерии и может быть использовано в качестве ключевого элемента как существующих, так и новых промышленных технологий наноэлектроники

Способ ускорения ионов и устройство для его осуществления // 2364979

Изобретение относится к ядерной и экспериментальной физике и может быть использовано в физике и технике прямого зажигания мишеней инерциального термоядерного синтеза

Способ получения ионного пучка и устройство для его осуществления // 2096856

Лазерный источник высокозарядных ионов // 1144549

Источник ионов с поверхностной ионизацией // 1473724

Изобретение относится к источникам ионов, основанных на принципе поверхностной ионизации, и может быть использовано в электронной технологии

Способ генерации широкополосного оптического излучения с высокой яркостью // 2571433

Изобретение относится к области оптического приборостроения и касается способа генерации широкополосного оптического излучения с высокой спектральной яркостью. Способ включает в себя создание начальной ионизации в камере, заполненной газовой смесью высокого давления, и освещение камеры сфокусированным лазерным лучом. Освещение проводят импульсно-периодическим лазерным излучением с длительностью отдельного импульса, превышающей D/v, где D - поперечный размер излучающего объема, а v - скорость звука в газе при температуре излучающего объема. Промежутки между последовательными импульсами не превышают D2/χ, где χ - температуропроводность газа в области излучающего объема. Технический результат заключается в повышении спектральной яркости источника излучения. 8 з.п. ф-лы, 3 ил.