Регулятор расхода

 

РЕГУЛЯТОР РАСХОДА, соде жащий корпус с входным и выходным патрубками и установленным внутри между ними эластичным трубчатым затвором, образующим со стенками корпуса управляющую камеру, о т л чающийся тем, что, с целью я области применения и надежности регулятора астичного трубчатог-Г затвовлен цилиндрический стерэтом . : gst SiQ.Dj . радиальный зазор между эластичным трубчатым затвором и цилиндрическим стержнем/ толщина эластичного трубчатого затвора; внутренний диаметр эластич-„Ь ного трубчатого затвора, V ® длина эластичного трубчаТогс затвора

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (И) M59 G 05 2 7 01

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

Н ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3502532/18-24 (22) 19.10.82 (46) 23.02.84.Бюл. 9 7 (72) А.А.Оксентьевич (53) 621.646.3(088.8) (56) 1. Авторское свидетельство CCCP

)) 237410, кл Cj 05 D 7/00, 1967 °

2. Подрешетников В.A..è Плотников B.M. Детали и узлы пневматических релейных устройств. М, "Машиностроение, 1972, с. 43, рис. 24 о, .(прототип). (54)(57} РЕГУЛЯТОР РАСХОДА, содержащий корпус с входным и выходным патрубками и установленным внутри между ними эластичным трубчатым затвором, образующим со стенками корпуса управляющую камеру, о т л ич а ю шийся тем, что, с целью расширения области применения и .повышения надежности регулятора внутри эластичного трубчатог;. затвора установлен цилиндрический стер жень, при этом ., S=+;

8 0ia;

В rD где h — радиальный зазор между эластичным трубчатым .затвором и цилиндрическим стержнем," — толщина эластичного трубчатого затвора, D - -внутренний диаметр эластич»,,) ного трубчатого затвора, Š— длина эластичного трубчатог затвора,.

1075236

Изобретение относится к арматуростроению, а именно. к регуляторам расхода газа в технологическом оборудовании .для производства полупроводниковых приборов.

Известен регулятор расхода, 5 состоящий из .эластичной трубчатой мембраны и устройства для управления мембраной в виде беличьего колеса с подвижными кольцами, изменяющего проходное сечение регулято- 10 .ра расхода.(1) .

Недостатком этого регулятора является огрЪниченная область применения ввиду узкого диапазона регулирсвания и малая надежность. 11

Наиболее близким по технической сущности к изобретению является регулятор расхода, содержащий корпус с входным и выходным патрубками с установленным внутри между ними эластичным трубчатым затвором, образующим со стенками корпуса управляющую камеру (2) .

Недостатком известного регулятора является то, что при больших расходах с его помощью не удается, полностью перекрыть канал для про» хода регулируемой среды, так как при значительной деформации мембраны на ее поверхности образуются продольные складки, т.е. остаются утечки,сос тавляющие часть максимального расхода среды через регулятор. Кроме того, Ъти утечки ограничивают область применения регулятора относительно большими расходами и снижают его диапазон регулирования.

Целью изобретения является расширение области применения и повышение надежности регулятора.

Поставленная цель достигается тем,40 что в регулятор расхода, содержащий корпус с входным и выходным патруб-, ками и устайовленным внутри между ними эластичным трубчатым затвором, образующим со стенками корпуса уп равляющую камеру, внутри эластичного трубчатого затвора установлен цилиндрический стержень, при этом с °

8 02;

Ц >g где 8 — радиальный зазор между эластичным трубчатым затвором и цилиндрическим стерж-55 . нем, 40 толщина эластичного трубчатого затвора,"

Ф

- внутренний диаметр эластичного трубчатого затвора,.

6 - длина эластичного трубчатого затвора.

На чертеже показан регулятор расВНИИПИ Заказ 496 41

Филиал ППП Патент", г.

Регулятор содержит корпус с вход ным 2 и выходным 3 патрубками и установленным внутри между ними эластичным трубчатым затвором 4, образующим со стенками корпуса 1 управляющую камеру 5, заполненную жидкостью.

Внутри эластичного трубчатого затвора 4 установлен цилиндрический стержень б, закрепленный на стойке 7. Управляющая камера 5 содержит управляющий поршень 8. Геометрические парамет ры регулятора расхода выбраны таким образом, что 3@t6 o,я, Q )Q где с - радиальный зазор межд.. эластичным трубчатым затвором 4 и цилиндрическим стержнем б, толщина эластичного трубчатого затвора 4, D — внутренний диаметр эластичного трубчатого затвора 4, — длина эластичного трубчатого затвора 4.

Регулятор расхода работает следующим образом.

При создании давления в управляющей камере 5 с помощью перемещения управляющего поршня 8 во внутрь камеры 5, эластичный трубчатый затвор 4 начинает выпучиваться в сторону цилиндрического стержня б, перекрывая,таким образом, радиальный зазор б и уменьшая расход среды.

Если геометрические размеры регулятора выбраны описанным образом, то при обжатии цилиндрического стержня б эластичный трубчатый затвор 4 не собирается в продольные складки, и регулятор расхода надежно перекрывает проходное сечение.

При отсасывании жидкости из управляющей камеры 5 путем перемещения управляющего поршня 8 наружу регулятора эластичный трубчатый затвор 4 прижимается к стенке корпуса 1;и открывается проходное сечение регулятора.

Предлагаемый регулятор расхода позволяет расширить диапазон регулирования в сторону меньших расходов за счет уменьшения утечек в закрытом положении, увеличить соотношение максимального расхода к минимальному, что особенно важно для автоматических регуляторов расхода, используемых для некоторых технологических процессов. Кроме того, такая конструкция позволяет снизить непродуваемые объемы регулятора, что,существенно для чистоты технологических сред полупроводникового производства.

Ти аж 842 По писное

Ужгород, ул. роектнаЫ,.