Способ формирования активного слоя металлосплавного катода

 

СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ АКТИВНОГО СЛОЯ МЕТАЛЛОСПЛАВНОго КАТОДА, включающий ступенчатый подъем температуры катода до рабочей и отбор эмиссионного тока при заданном напряжении на близлежащем электроде с выдержкой на каждой температурной ступени до получения требуемого давле1ШЯ, отличающийся тем, что, с целью увеличения надежности катода , его обработку ведут при контроле прироста отбираемого эмиссионного тока на каждой температурной ступени и заканчивают обработку, когда отношение прироста эмиссионного тока (в мА) к величшie температурной ступени лежит в пределах

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК ав> 0аи (я) Н 01 J 9/04

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ . )

1 . +

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3438433/18-21 (22) 07. 05. 82 (46) 15.04.84. Бюл. Nc 14 (72) В.И. Коновалов и В.И. Калинин (53) 621.3.032.213(088.8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР

Мо 474867, кл. Н Ol J 9!04, опублик. 25. 06. 75..

2. Кудинцева Г.А. и др. Термоэлектронные катоды. М., "Энергия", 1961, с.141 (прототип). (54) (57) СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ

АКТИВНОГО СЛОЯ МЕТАЛЛОСПЛАВНОТО КАТОДА, включающий ступенчатый подъем температуры катода до рабочей и отбор эмиссионного тока при заданном напряжении на близлежащем электроде с выдержкой на каждой температурной ступени до получения требуемого давления, о т л и ч а ю m и и с я тем, в что, с целью увепичения надежности катода, его обработку ведут при контроле прироста отбираемого эмиссионного тока на каждой температурной ступени и заканчивают обработку, когда отношение прироста эмиссионного тока (в мА) к величине температурной ступени лежит в пределах (2-5) ° 10 .

70 2 твллосплавного катода (Йапример, иридий цериевого) имеет плавный переходный участок иэ области температурного ограничения в область пространственного заряда. Все эти недостатки снижают надежность.

Целью изобретения является увеличение надежности катода.

Поставленная цель достигается тем, что согласно способу формирования активного слоя металлосплавного катода, включающему ступенчатый подъем температуры катода до рабочей и отбор эмиссионного тока при заданном напряжении на близлежащем электроде с выдержкой на каждой температурной ступени до получения требуемого давления, обработку катода ведут при контроле прироста отбираемого эмиссионного тока на каждой температурной ступени и заканчивают обработку, когда отношение прироста эмиссионного тока (в мА) к величине температурной ступени лежит в пред ах (2-5).10 З.

Был сформирован активный слой металлосплавного прямоканального катода, выполненного из иридиево-цериевой таблетки ф0,6 мм и тсщщиной 0,5 мм, закрепленной на держателе.

Устанавливают заданную величину поо тенциала анода и ступенями 100 С увеличивают температуру накала, при этом регистрируют ток эмиссии. Подъем температуры прекращают при достижении отношения прироста эмиссионного (в MA) тока к величине температурной ступени

2. 1О-З

После этого дополнительно увеличивают температуру катода на величину нестабильности источника накала в условиях эксплуатации прибора и выдерживают до получения требуемого вакуума.

Использование данного способа формирования эмиссионной поверхности катоде в процессе изготовления прибора позволяет более точно определить индивидуальный рабочий температурный режим, увеличивает надежность катода эа счет исключения перегорашж держателя катода и нарушения геометрической формы эмиссионной таблетки.

1 10864

Изобретение относится к электронной технике, в частносщ к технологии изготовления узлов электровакуумных прибор св.

Известен способ активирования оксидных катодов электровакуумных приборов, который осуществляется путем отбора тока при повышении ускоряющих напряжений на электродах и одновременном снижении температуры по мере улучшения эмиссионных свойств катода в режиме пространсгвенного заряда (, 1 ).

Указанный способ применяется только для катодов, прошедших первый этап формирования эмиссионноактивного слоя со значительным превышением температурного режима относительно рабочего (номинального). Такие превышения температурного режима для прямонакального металлосплавного катода недопустимы вследствие плавления (нарушения геометрической формы} эмиссионной таблетки и перегорания подогревательной нити.

Кроме того, второй этап — этап активирования катода отбором тока — начинают при известной рабочей (номинальной) температуре катода и понижают по мера улучшения эмиссионных свойств, что невозможно применять для металлосплавных катодов на стадии откачки и начала формирования активного ыоя, так как неизвестна рабочая температура.

Известен также способ активирования металлосплавного катода, включвкший ступенчатый подъем температуры через каждые 80-100 С до рабочей и отбор эмиссионного тока при заданном напряжении на ближайшем электроде с выдержкой на каждой ступени в течение 30-60 мин до получения требуемого давления (2).

Недосгаток данного способа в том, что отсутствует кригерий оценки активности кагода, который характеризовал бы то, что достигнута рабочая температура и что можно приостановить дальнейший подъем температуры. Кроме того, иэвест 5 ный способ не позволяет правильно решить вопрос о выборе индивидуального рабочего (номинального) температурного режима для каждого прибора, вследствие того, что эмиссионная характеристика меСоставитель Л.Дикова

Редактор М,Товтин Техред И.lulетелевв

Корректор М.немчик

Подписное

Филиал ППП "Патент", г.Мкгород, ул.Проектная, 4

Заказ 2259/48 Тираж 683

ВНИИ ПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, ?K-35, Раушская наб., д.4/5