Способ изготовления микроканальных пластин

 

1. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРОКАНАЛЬНЫХ ПЛАСТИН с заданной ориентацией наклона каналов, включающий соединение волокон в многоволоконный блок, резку блока на пластины по параллельным плоскостям, «составлякщим с продольной осью блока заданный угол наклона каналов, и маркировку наклона каналов в пластинах, отличающийся тем, что, с целью упрощения технологии и повышения качества пластин и сборок из них, маркировку осуществляют до операции резки путем создания на поверхности или в объеме по длине блока по крайней мере одной метки, параллельной продольной оси блока.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (И) 3(Я) Н 0 1 3 43/06

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

: К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1 ю (1

t, ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

flO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3463462/ 18-21 (22) 05. 07. 82 (46) 15,04.84. Бюл. No 14 (72) М.P.Àéíáóíä, И..П.Масленков, Г.А.Меньшиков, М.Н.Попов и Г.П.Романов (53) 6 2 1. 383. 8(088. 8) (56) 1. Шаген П. Электронно-оптические преобразователи с канальным электр ронным умножением .-B сб. "Достижения в технике передачи и воспроизведения изображений". Т,1.."М., "Мир", 1978, с.13-84.

2. Авторское свидетельство СССР

% 805448, кл. Н 01 3 43/06, 19.03.79 (прототнп). (54)(57) 1. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ

МИКРОКАНАЛЬНЫХ ПЛАСТИН с заданной ориентацией наклона каналов, включающий соединение волокон в многоволоконный блок, резку блока на пластины по параллельным плоскостям, составляквцим с продольной осью блока заданныи угол наклона каналов, и маркировку наклона каналов в пластинах, отличающийся тем,что,с целью упрощения технологии и повышения качества пластин и сборок из них, маркировку осуществляют до операции резки путем создания на поверхности или в объеме по длине блока по крайней мере одной метки, параллельной продольной оси блока.

1086480

2.. Способ по п,1, о т л и ч а ю— шийся тем, что метку создвк7г изменением регулярности структуры микроканальной пластины за пределами ее рабочей эоны путем изъятия или добавления одного или групп каналов при соединении волокон в блок. 3. Способnonn1 H 2, оTJt H— ч а ю m и и с я тем, что резку блока осуществпяюг по плоскостям, перпендикулярным плоскости, проходящей через продольную ось блока и метку.

4. Способ по пп.1 и 2, о т л ич а ю шийся тем, что резку блока осушествлякт по плоскостям, наклоненным относительно плоскости, проходящей

Изобретение относится к технологии производства электровакуумных приборов (ЭВП).

Известен способ изготовления микроканальных пластин (МКП), включающий операции перетяжки волокон (палых или содержащих растворимый сердечник из металла или стекла), их укладки и сцекания в многовапоконные блоки, резки бло. ков на отдельные пластины, кругления, 1О шлифовки и полировки пластин, формирования вторично-эмиссионных слоев в кана. лах и нанесения проводяших электродов на торцовые поверхности. При этом дпя уМеньшения обратных связей в ЭВП ис!

5 псц ьзуют МКП с наклонными каналами.

Зля этого при изготовлении МКП многовопоконные блоки рвэрезак г по параллельным плоскостям, наклоненным к оси блока, причем обычно угол между осью

20 каналов и торцовой поверхностью папуо чаемых пластин составляет 75-85 Сф.

Недостатком этого способа изготовления МКП является то, что на готовой

25 пластине направление наклона каналов неизвестно. Это затрудняет испапьзование

МКП и ЭВП, в которых необходимо ориеи. тировать пластины с наклонными каналами определенным образом (например, в усилителе изображения — ориентировать относительно фотоквтода и экрана, в ФЭУ и ВЭУ с шевронной сборкой МКП ориентировать две пластины отнобительно друг друга). При использовании МКП с наклонными каналами в таких прибо- 35 через продольную ось блока и метку, нв угап, равный заданному углу наклона каналов в пластинах.

5. Способ по п. 1 и 2, о т л ич а ю ш и и с я тем, что на наружной поверхности и/или в объеме блока создают две метки различного профиля так, что, взятые,попарно с продольной осью блока, они распапагаются в несовпадающих плоскостях,, 6. Способ по пп. 1-5, о т л и— ч в ю шийся тем, что при последовательной резке нескольких блоков плоскость резки ориентируют одинаковым образом относительно меток каждого из блоKOBU

2 рах необходимо определять направление наклона каналов в каждой из пластин и наносить на них какие-либо метки, что весьма усложняет производство.

Наиболее близким техническим решением к изобретению является способ изготовления МКП, включакиций соединение волокон в многовапоконный блок, резку блока на пластины по параллельным ппоскостям, составляющим с родапьной осью бпока заданный угол наклона канала, и маркировку наклона каналов в пластинах (2).

При нанесении метки на пластину по известному способу пластину устанавливают на цути светового потока в калиброванной оптической системе и вршают вплоть до максимального отклонения одной из осей калибровочного креста,расла ложенного перед пластиной, от соответствующей оси креста окуляра, после чего на пластине устанавливают метку в точке пересечения окружности пластины с другой осью креста.

М

Однако процесс ведется отдельно дпя каждой пластины, что значительно повышает трудоемкость изготовления МКП.

Возможна значительная неточность в определении направления наклона каналов, связанная с неточностью юстировки аптиl ческой системы и определения максимального отклонения оси калибровочного «реста. Во время определения наклона кацанвлов (и, в частности, в процессе вращения пластины) велика вероятность загряз3 I 086 нения поверхностей и каналов МКП, а также ухудшения качества торцовых поверхностей пластины, которые должны быть хорошо отполированы, не иметь рисок, потертостей, загрязнений и т.п.

Целью изобретения является упрощение технологии и повышение качества пластин и сборок из них.

Укаэанная цель достигается тем, что согласно способу изготовления микроканальных пластин с заданной ориентацией наклона каналов, включающему соединение волокон в многоволоконный блок, резку блока на пластины по параллельным плоскостям, составляющим с продольной осью блока заданный угол наклона каналов, и маркировку наклона каналов в пластинах, маркировку осуществляют до операции резки путем созда ния на поверхности или в объеме по длине 6пока по крайней мере одной метки, параллельной продольной оси блока.

В частности метку создают изменением регулярности структуры микрокаиальноя пластины за пределами ее рабочей эоны путем изъятия или добавления одного или групп каналов при содинении волокон в блок.

Резку блока осуществляют по плоскостям, перпендикулярным плоскости, проходящей через продольную ось блока и метку.

В другом варианте резку осуществляют по плоскостям, наклоненным относи тельно плоскости, проходящей через продольную ось блока и метку, на угоп, равный заданному углу наклона канадов в пластинах.

В варианте способа на наружной поверхности и/или в объеме 6пока создают две метки различного профиля так, что, взятые попарно с продольной осью блока, они располагаются в несовпадаюших плоскостях.

При последовательной резке нескольких блоков плоскость резки ориентируют . одинаковым образом относительно меток каждого из блоков.

На фиг.1 показан общий случай изготовления МКП с меткой по предлагаемо му способу, аксонометрии; на фиг.2 -, соответствующая ортогональная проекция; на фиг.3 и 4 — варианты предлагаемого способа, различающиеся .ориентацией плоскости резки многоволоконного блока; .на фиг.5 — вариант способа с двумя метками; на фиг. 6 -варианты об-) 480 4 разования,меток в объеме многовопоконного блока.

° Многоволоконный блок 1 (см.фиг.1 и 2), собранный, например, иэ большого

5 чиспа отдельных в@покои, имеет в сечении

° форму круга. Вдопь его наружной поверхности наносят продольную метку, напри- .. мер в виде лыски 2. Затем блок режут по параллельным плоскостям 3-5, на30 клоненным к продольной оси блока ОХ под задайным углом наклона канала о4, йапримц> оС =80 . Части многовопоконного блока 1, полученные после его резки (например, части 6 и 7}, проходят затем общеизвестные операции при изготовлении МКП: кругление, шлифовка, полировка, нанесение электродов и т.д. При достаточной глубине лыски 2 на блоке 1 поспе кругления и других операций на 0 боковой поверхности пластины сохраняются лыски 2, одинаково ориентированные у всех пластин относительно плоскости наклона каналов в МКП.

По варианту изготовления пластин (фиг,3) после j сбразования на. поверхности блока Т метки 8, например в виде лыски, параллельной оси 03 блока, блок 1 разрезают по плоскостям 9-11, наклоненным к оси блока под углом накло>

З0 на м. и перпендикулярным плоскости, проходящей через ось блока О и метку 8 (т.е. по плоскостям, перпендикулярным плоскости данной фигуры). МКП, образованные иэ участков 12 и 13 блока 1, 3g имеют метки в виде лыски 8, причем эти метки находятся совместно с осями пластин в плоскости, параллельной плоскости наклона каналов пластин.

По другому варианту изготовления

40 МКП с метками (фиг.4) на поверхности многоволоконного блока 1 образуют метку 14 (например, в виде глубокой риски), параллельную продольной оси блока, а затем блок 1 разрезают по па4> раллельным плоскОстям 15-17, наклоненным к оси блока и к плоскости, содержащей эту ось и метку 14, на заданный угол наклона каналов oC . МКП, образованные из участков 18 и 19 блока 1, 50 имеют метки 14 в виде рисок, причем эти метки находятся совместно с осями пластин в плоскости, перпендикулярной плоскости наклона каналов пластин.

По варианту изготовления МКГ! с двумя метками .(фиг.5) на поверхности многоволоконного блока 1 создают метку 20, например в виде лыски, и метку другого про; филя 21 в виде, например, риски. Причем мет5 1086480 ь ки параллельны оси блока 1и, взятые по"- лярной ему горизонтальной плоскости парно, с этой осью находятся, например, в двух направлениях; продольном — направв перпендикулярных плоскостях. Затем ление, перпендикулярное плоскости ножа, блок 1 разрезают по параллельным плос- и поперечном - направление вдоль ножа костям 22-24, наклоненным к продольная 5 (параллельно его плоскости), оси блока 1 на заданный угол наклона Перед операцией резки блок с нанеканалов oc . МКП, образованные иэ учас сенной на его, боковой поверхйости проков 25 и 26 блока 1, имеют каждая дольной меткой закрепляют (наклеивают) две метки: s виде лыски 20 и риски 21. торцовой поверхностью на оправке таПри этом метки 20 находятся совместно ким образом, что центр симметрии (или

f0 с осями пластин в плоскости, параллель- центр тяжести) торцовой поверхности ной плоскости наклона канапов, а взаимное блока и метка находятся на горизонтальрасположение меток 21 и 20 однозначно ной прямой, параллельной поверхности определяет расположение торцовых по- технологического стола.Для этого перед верхностей пластин. В совокупности меч 15 закреплением бпока на его торцовой ки 20 и 21 указывают не только.плос- поверхности наносят риску, соединяющую кость, но и направление наклона каналов центр симметрии торцовой поверхности в Мкп. блока и метку, а при закреплении блока

На фиг. 5 показан вариант создания в оправке укаэанную риску совмещают нродальных меток на примере МКП с 20 с рискоя, нане :енной по вертикальной обрамлением из монолитного стекла. Для поверхности оправки. Оправку с эакрепэтого в процессе укладки отдельных во- ленным на ней блоком развертывают в локон в многовалоконном блоке 27 из- горизонтальной плоскости так, что угол меняют регулярность укладки отдельных между продольной осью блока и направвапокон, например, путем укладки допап- лением прс,дального перемещения техно25 нительного вацокна (или нескольких воло- логического стала равен заданному углу кон) 28 ипи пропуска 29 в укладке наклона каналов МКП. Развернутый на вапокон. После этого многоволоконный заданный угол наклона блок поступатель- . блок обжимают цилиндром из монолитного ным перемещением технологического стекла 30, что закрепляет структуру с 30 стола в поперечном направлении разреметками 27-28, параллельными валок- зают. После этого перемещают техналоюм блока. После резки такого блока по гический стол с блоком в продольном на-, параллельным ппоскостям, наклоненным к правлении под нож на расстояние, равное продольной оси блока, образуются пласти- толщине МКП (с припуском на последуюны, на торцовых поверхностях которых 35 щие шлифовку и полировку) и повторяют имеются метки 27 и 28, одинаково ориен- резку блока, для чего. снова перемещают тированные к направлению наклона кана- технологический стол с блоком в попелов в пластинах, речном направлении H т.lb

При сборке МКП с метками, указываю- Данный способ обеспечивает упрощещими наклон каналов, в шевронные кон- 40 ние технологии и повышение качества струкции достаточно развернуть их мет МКП. В частности, повышается точность ками s противоположные стороны или со» маркировки наклона каналов в МКП, так . вместить эти метки (в зависимости or . как маркировка ведется не отдельно для принятого варианта нанесения меток каждой пластины, а обеспечивается прас на многоволоконный блок и резки блока). 45 тыми технологическими операциями, одМноговолоконный блок разрезают на новременно для всех изготавливаемых иэ станке который содержит вертикально данного блока пластин. В результате это.

Э расположенный алмазный нож и горизон- го точность маркировки наклона в МКП алька сположенный технологический фактически оказывается сравнимой с точстац где размещено поворотное приспо- 50 ностью выполнения заданного наклона

В собление с оправкой для крепления блока, каналов при резке блока. Кроме того, испричем на вертикальной поверхности on- ключаются загрязнения и ухудшение каеется риска параллельная плос- чества поверхности МКП, которые возкости технологического стола. Техноло- можны при известных способах, а также гический стол имеет воэможность перей т воэможность пере- 55 облегчается сборка пластин в "шев мещения относительно ножа в перпендику Р рон .

?.2 иг. Ф

1086480

Составитепь

Техред М.Надь

Редактор М. Товтин

Корректор А 11зя тко

Подписное

Филиал ППП Патент, г.Ужгород, ул.Проектная, 4, .Закаэ 2259/48,.Тираж 683

ВНИИ ПИ Государственного комитета СССР по дедам иэобретеиий, и открытий

1.33035, Москва, Ж-35, Раушскаа наб., д.4/5