Способ идентификации дефектов в фотошаблонах с повторяющимися фрагментами изображений

 

СПОСОБ ИДЕНТИФИКАЦИИ ДЕФЕКТОВ В ФОТОШАБЛОНАХ С ПОВТОРЯЮЩШ-ШСЯ ФРАШЕНТАМИ ИЗОБРАЖЕНИЙ, основанный на сканировании лазерным лучом изображения двух смежных фрагментов на фотошаблоне, ориентированных по направлению сканирования, формировании видеосигналов, по которым формируют растр совмещенного изображения первого и второго фрагментов в разных цветах, и фиксации местоположения дефектного участка по цветовым неоднородностям в результирующем совмещенном изображении первого и второго фрагментов, отличающийся тем, что, с целью упрощения способа, изображения смежных фрагментов сканируют синхронно с формированием растра частотой, вдвое ме)ьшей частоты строч-sg ной развертки растра. (Л

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СС Н

РЕСПУБЛИН

„„Я0„„1 104550

gag С 06 К 9/00

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И (ЛНРЫТИЙ

Ъ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3579542/18-24 (22) 07.04.83 (46) 23.07 ° 84. Бюл. Р 27 (72) В.И. Шафер (53) 681.327.12(088.8) (56) 1. Автоматическая установка для проверки шаблонов. — "Электроника", 1982, У 6, с. 103-104.

2. Шац Я.Б. Автоматизированное оборудование для контроля внешнего вида фотошаблона. — "Электронная техника", 1979, сер. 8, вып. 7 (77), с. 84-88 (прототип). (54) (57) СПОСОБ ИДЕНТИФИКАЦИИ ДЕФЕКТОВ В ФОТОШАБЛОНАХ С ПОВТОРЯЮЩИИИСЯ

ФРАГМЕНТАМИ ИЗОБРАЖЕНИЙ, основанный на сканировании лазерным лучом изображения двух смежных фрагментов на фотошаблоне, ориентированных по направлению сканирования, формировании видеосигналов, по которым формируют растр совмещенного изображения первого и второго фрагментов в разных цветах, и фиксации местоположения дефектного участка по цветовым неоднородностям в результирующем совмещенном изображении первого и второго фрагментов, отличающийся тем, что, с целью упрощения способа, изображения смежных фрагментов сканируют синхронно с формированием растра б2 частотой, вдвое меньшей частоты строч-щ ной развертки растра.

Недостаток известного способа состоит в сложности процесса сравнения фрагментов и выделения дефектов, так как для этого необходимо иметь два идентичных канала, содержащих высокоточную механическую систему перемещения, оптическую и фотоэлектронную системы обработки информации.

Целью изобретения является упрощение способа.

Указанная цель достигается тем, что согласно способу идентификации дефектов в фотошаблонах с повторяющимися фрагментами изображений, основанному на сканировании лазерным лучом изображений двух смежных фрагментов на фотошаблоне, ориентированных по направлению сканирования, формировании видеосигналов, по которым формируют растр совмещенного изображения первого и второго фрагментов в разных цветах и фиксации местоположения дефектного участка по цветовым неоднородностям в результирующем совмещенном изображении первого и второго фрагментов, изображения смежных фрагментов сканируют синхронно с формированием растра частотой, вдвое меньшей частоты строчной развертки растра.

Сущность способа заключается в следующем.

Сканируют, например, сфокусированным лазерным лучом по поверхности контролируемого изделия, например, фотошаблона, состоящего из ряда одинаковых участков, и синхронно формируют на экране видеоконтрольного устройства (ВКУ) увеличенное иэображение сканируемого рисунка. При этом устанавливают амплитуду перемещения лазерного луча, обеспечивающую сканирование последовательно двух соседних одинаковых фрагментов фотошаблона.

Ориентируют контролируемый фотошаблон на координатном столе так, чтобы лазерный луч в процессе перемещения освещал одинаковые элементы в смежных одинаковых фрагмента фотошаблона путем построчного наложения изображений сравниваемых участков. Для этого сканируют лазерным лучом последовательно два соседних фрагмента с частотой, в два раза ниже частоты строчной развертки изображения на экране ВКУ. Такое соотношение частот сканирования и развертки изображения позволяет за время сканиронания лазерным лучом од. 1 1104550 2

Изобретение относится к автоматике и может быть использовано в системах или устройствах контроля фотошаблонгв полупроводниковых приборов.

Известен способ контроля шаблонов, заключающийся в том, что сканируют

5 световым лучом по поверхности контролируемого фрагмента изображения (модуля) шаблона, ориентируют шаблон на координатном столе, фокусируют прошедший шаблон световой луч на фотодетектор, преобразуют сигнал с фотодетектора в цифровую форму и вводят его в процессор, в котором его сравнивают с цифровой информацией эталон I5 ного фрагмента, записанной в памяти

ЭВИ, выявляют различия между ними и записывают их координаты в запоминающее устройство. Для классификации дефектов формируют на экране видео20 контрольного устройства совмещенные изображения контролируемого и эталонного фрагментов в разных цветах, анализируют различия между ними и принимают решение о наличии дефектов и их критичности 1).

Недостатком данного способа является сложность технической реализа-» ции, выражающаяся в необходимости применения ЗВИ с большим объемом памяти, а также необходимость обработки

30 в процессе контроля большого объема информации.

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому изобретению является способ идентификации дефек- 3$ тов в фотошаблонах с повторяющимися фрагментами изображений, основанный на том, что сканируют двумя лазерными пучками одновременно по поверхности двух соседних фрагментов изображе-40 ний фотошаблона, ориентируют фотошаблон на координатном столе так,чтобы освещались одинаковые элементы в соседних фрагментах, фокусируют прошедшие через фотошаблон лазерные пуч"45 ки на два фотодетектора,. преобразуют .сигналы с фотодетекторов в цифровую форму и вводят в процессор, в котором фрагментах. Сравнивают два смежных их сравнивают между собой, выявляют различия между ними и записывают их 50 координаты в эапоминаюшее устройство.

Для классификации дефектов формируют на экране видеоконтрольного устройства увеличенные изображения сравниваемых фрагментов и изображение раз- 55 ностного сигнала дефектов, анализируя которые оператор принимает решение о степени их критичности (2 ).

1104550

Составитель Т. Ничипорович

Редактор В. Иванова Техред С.Мигунова

Корректор В. Синицкая

Тираж 699 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 5264/37

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4 ного фрагмента сформировать на экране

ВКУ одну полную строку, а за время последующего сканирования соседнего фрагмента — сформировать вторую полную строку. Для облегчения процесса вы5 деления различий между сравниваемыми участками, формирование их изображений производят в разных цветах. При этом для их.построчного наложения на экране ВКУ используют, например, ступенчатую форму кадровой развертки лазерного луча и изображения на экране ВКУ, с длительностью каждой ступеньки, равной времени сканирования

15 лазерным лучом двух сравниваемых участков. Визуальное сравнение поочередно сформированных и попарно наложенных одна на другую строк изображения становится возможным благо20 даря послесвечению люминофора кинескопа, делающего незаметным для глаза наложение строк разного цвета, вследствие чего происходит смешение их цветов. В случае возникновения отличий между элементами в сравниваемых участках фотошаблона, они проявляются в изменении цветовой и яркостной картины,в соответствующих местах изображения. Последующее сравнение одного из ранее проверенных участков фотошаблона с соседним (третьим) позволяет определить, к какому из сравниваемых участков относятся выявленные отличия. Оператор анализирует выявленные отличия н принимает решение о наличии дефектов и их критичности.

Предлагаемое техническое решение по сравнению с известным значительно проще в технической реализации, так как отпадает необходимость в сравне нии двух световых потоков, вследствие .чего возможно использование одного оптикоэлектронного канала обработки игнала, при этом упрощается оптическая система и отсутствует электронная система сравнения сигналов. Кроме того, вследствие использования одного канала обработки информации предлагаемое техническое решение более универсально и может найти применение в самых разнообразных системах контроля микроэлектронных изде.лий, использующих для формирования изображения принцип построчного сканирования.