Интерферометр

 

ИНТЕРФЕРОМЕТР по авт.св. № 879289, отличающийся тем, что, с целью повьшения точности, он снабжен призмой АР-90, установленной между регистрирующим блоком и параллелепипедом , гипотенузная грань призмы АР-90 совмещена с гранью параллелепипеда , имеющей полупрозрачное покрытие, а главное сечение призмы параллельно главному сечению параллелепипеда . сл С5 со оо 4

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (19) (И) З51 С 01 В 9/02

OllHCAHHE ИЗОБРЕТ

Н ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И OTHPbfTHA (61) 879289 (21) 3596935/25-28 (22) 31.05.83 (46) 07.08.84. Бюл. Nl 29 (72) Ю.К.Михайловский, И.М.Нагибина и В.А.Рачков (71) Ленинградский ордена Трудового

Красного Знамени институт точной механики и оптики (53) 535.854(088.8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР

Ф 879?89, кл. С 01 В 9/02, 1978 (прототип). (54) (57) ИНТЕРФЕРОМЕТР по авт.св.

Р879289,отличающийся тем, что,. с целью повьппения точности, он снабжен призмой AP-90, установленной между регистрирующим блоком и параллелепипедом, гипотенузная грань призмы АР-90 совмещена с гранью параллелепипеда, имеющей полупрозрачное покрытие, а главное сечение призмы параллельно главному сечению параллелепипеда. нохроматического излучения делится на два пучка светоделительной гранью

7 параллелепипеда. Один из образовавшихся пучков, прошедший грань 7 параллелепипеда в прямом направлении и призму 3, остается параллельным входящему пучку и попадает на угол" ковый отражатель 4; второй пучок, отраженный гранью 7, направляется к уголковому отражателю 5 второй меньшей гранью 8 параллелепипеда. Оба от— ражателя 4 и 5 направляют световой поток к отражающей поверхности 9 параллелепипеда, отразившись от которой и пройдя отражатели 4 и 5 е обратном направлении, световые пучки объединяются на светоделительной грани 7 параллелепипеда и направляются на фотоэлектронный умножитель, При изменении разности хода в интерферометре благодаря двухлучевой интерференции происходит амплитудная модуляция светового потока, падающего на фотоэлектронный умножитель и по изменениям фототока судят о перемещении одного из отражателей 4 или 5 (в случае измерения линейного перемещения) или об угловом положении объекта (при установке обеих уголковых отражателей на поворачивающемся объекте) .

Выполнение светоделительного блока в виде параллелепипеда и призмы АР-90 позволило обеспечить требуемую параллельность направляемых к отражателям

S 11069

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к интерференционным измерителям линейных и угловых смещений объекта.

По основному авт.св. Ф 879289 известен интерферометр, содержащий последовательно расположенные источник монохроматического излучения и светоделительный блок, оптиЧески связанные с ним два уголковых отражателя, один из которых укрепляется на объекте, и регистрирующий блок. Светоделительный блок выполнен в форме параллелепипеда, на одну из меньших граней которого нанесено полупрозрачное покрытие, на вторую меньшую грань и одну из больших граней, обращенную к уголковым отражателям, — зеркальное, светоделительный блок расположен так, что излучение от источника проходит через грань с полупрозрачным покрытием, а излучение, отраженное от другого уголкового от. ажателя, падает на меньшую зеркальную грань (1 ).

Недостатком известного интерферометра является недостаточно высокая точность из-за существенного влияния низкого уровня контрастности интерференционной картины, обусловленного расходимостью интерферирующих пучков. .Цель изобретения — повышение точности за счет увеличения контрастности интерференционной картины путем обеспечения параллельности лучей, выходящих из светоделительного блока.

Поставленная цель достигается тем, что интерферометр, содержащий последовательно расположенные источник монохроматического йзлучения и светоделительныи олок, оптически связанные с ним два уголковых отражателя, один из которых укрепляется .на объекте, и регистрирующий блок, а светоделительный блок выполнен в форме параллелепипеда, на одну из меньших граней которого нанесено полу 1 прозрачное покрытие, на вторую меньшую грань и одну из больших граней, обращенную к уголковым отражателям, зеркальное, светоделительный блок расположен так, что излучение от ис- 50 точника проходит через грань с полупрозрачным покрытием, а излучение, отраженное от другого уголкового отражателя падает на меньшую зеркальную грань, снабжен призмой АР-90, ус- 5 тановленной между регистрирующим блоком и параллелепипедом, гипотенузная грань призмы AP-90 совмещена с

84 2 гранью параллелепипеда, имеющей полупрозрачное покрытие, а главное сечение призмы параллельно главному сечению параллелепипеда.

На чертеже изображена оптическая схема интерферометра.

Интерферометр содержит источник монохроматического излучения, светоделительный блок 2, выполненный в виде параллелепипеда, призму 3 АР-90, уголковые отражатели 4 и 5 и регистрирующий блок 6 в виде фотоэлектронного умножителя °

Призма 3 АР-90 установлена между регистрирующим блоком 6 и параллелепипедом, гипотенузная грань призмы

AP-90 совмещена с меньшей гранью 7 параллелепипеда, имеющей полупрозрачное покрытие, а главное сечение приз" мы 3 параллельно главному сечению параллелепипеда, Интерферометр работает следующим образом.

Световой поток от источника 1 моВ предлагаемом интерферометре благодаря указанному выше выполнению

Составитель Л.Лобзова

Редактор Е.Папп Техред Л.Коцюбняк Корректор О.Тигор

Заказ 5743/27 Тираж 587 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Филиал ППП "Патент", r.Óìãîðîä, ул.Проектная, 4

3 1106984 4 световых пучков, не снижая. при этом светоделительного блока исключено достигнутои стабильности оптической влияние расходимости интерферирующих лучей и, как следствие, достигнуто повышение контрастности интерференционной картины, приводящее к повышению точности;