Вертикальный турбомолекулярный насос

 

ВЕРТИКАЛЬНЫЙ ТУРБОМОЛЕКУЛЯШЫЙ НАСОС, содержащий размещенный в корпусе вал, на котором установлен колоколообразный ротор, и два радиальных магнитных подшипника, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности, в корпусе дополнительно размещена неподвижная цилиндрическая BCiaBiv ка и один подаштник расположен между ротором и вставкой, а другой - между вставкой и валом.

СОЮЭ CGBETCHHX

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

4(5» F 04 0 19/04

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

re ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКР Итий (21) 3641925/25 — 06 (22) 15.09.83 (46) 23 05 85 Бюл Нв (72) й. Х. Горбулъский, Г. Ф. Митрофанов и, Н. А. Одинцов (53) 621.527;8 (088.8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР

И 992837, ки. F 04 0 19/04, 1977..

2. Патент ФРГ N 2349033, кл. F 04 О 19/04, опублик. 1973.

„„ЯО„„» утята А (54) (57) ВЕРТИКАЛЬНЫЙ ТУРБОМОПЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС, содержащий размещенный в корпусе вал, на котором установлен колоколообразный ротор, и два радиальных магнитных подшипника, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью повышения производительности, в корпусе дополнительно размещена неподвижная цилиндрическая встав ка и один подшипник расположен между ðîтором и вставкой, а другой — между вставкой и валом.

1157277

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известен турбомолекулярный насос, ротор которого установлен на механических подшипниках Щ.

Недостатком этого насоса является невозможность получения высокого вакуума иэ-эа наличия паров масла, циркулирующего через механические подшипники.

Известен также вертикальный турбомолеку- 1п лярный. насос, содержащий корпус, размещенный в ием вал, на котором установлен колоколообразный ротор, н два радиальных магнитных подшипника (2) .

13 невозможность увеличения его производительности. Это обусловлено тем, что обе отюры вала н его привод размещены внутри колоколообразного ротора, объем которого .ограничен, а увеличение диаметра колоколообразного ротора невозможно из-за высоких механических напряжений, возникающих при его работе.

Целью изобретения является повышение прои эводительйости.

Укаэанная цель достигается тем, что в вертикальном турбомолекулярном наоосе, содержащем раэмещеинын в корпусе вал, на котором установлен колоколообразный ротор, и два радиальных магнитных подшипника, в корпусе дополнительно размещена неподвиж- иая цилнндричвская вставка и один поднппт-, ник расположен между ротором и вставкой, а другой — между вставкой и валом.

На чертеже изображен предлагаемый насос, продольный разрез.

Вертикальный турбомолекулярный насос содержит корпус 1, размещенный в нем вал 2, на котором установлен колоколообразный ротор 3, н. два радиальных магнитных подшинника 4 н 5. В корпусе 1 дополнительно размещена неподвижная цилиндрическая вставка 6, один подшипник 5 расположен между ротором

3 и вставкой 6, а другой — между вставкой

6 и валом 2. Вал 2 приводится во вращение электродвигателем 7, а корпус 1 и ротор 3 снабжены дисками 8 н 9 соответственно. ,Пля работы насоса его полость откачивается форвакуумным насосом и подается питание на магнитные подшипники 4 и 5.

Благодаря электромагнитному. взаимодействию элементов подшипников 4 и S ротор 3 занимает положение устойчивого равновесия без контакта с неподвижными элементами.

При подаче электропитания на электродвигатель 7. начинает вращаться вал 2 с колоко- . лообразным ротором 3.

В результате взаимодействия дисков 8 и 9 осуществляется откачка насосом подключенных емкостей.

Размещение магнитного подшипника между ротором и цилиндрической вставкой позволяет увеличить его несущую способность, что приводит к возможности повысить мощность электродвигателя и, как результат, производительность насоса.

1157277

Составитель Т. Тишина

Техред Ж.Кастелевич Корректор Г. Решетийщ

Редыстор И. Николайчук

Заказ 3311/34

Филиал ПОП "Патент" г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Тираж 586 Йодиисиое

ВНИИПИ Государственного комитета СССР но делам юобретенмй и открьггнй

И3035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5