Способ защиты вакуумного объема от обратного потока паров масла

 

СПОСОБ ЗАЩИТЫ ВАКУУМНОГО ОБЪЕМА ОТ ОБРАТНОГО ПОТОКА ПАРОВ МАСЛА путем прокачки откачиваемого механическим насосом газа через сорбционную ловушку с одновременным охлаждениеъь последней, отличающийся тем, что, с целью повышения: эффективности защиты, в качестве сорбента ловушки используют аммиак, который подают в нее одновременно с прокачкой газа со скоростью, составляющей 0,01-0,02 от скорости откачки газа механическим насосом, а охлаждение ловушки производят до температуры не превышающей температуру конденсации аммиака.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИМ (19) () 1) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3574ббб/25-06 (22) 07. 04 . 83, (46) 07.06.85. Бюл. Ф 21 (7") А.Г. Вакума,, Ю.В. липин

С.Л. Иеерсон и Л.С. Мякишева (71) Специальное конструкторское бюро вакуумных покрытий при Госплане

Латвийской ССР (53) 621.527.8(088.8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР

Ф 767391, кл. F 04 В 37/,14, 1978.

2. Авторское свидетельство СССР

В ° 827836, кл. F 04 В 37/02, 1979.

4(Р)) Р 04 В 37/08 F 04 F 9 06 (54)(57) СПОСОБ ЗАЩИТЫ ВАКУУМНОГО

ОБЪЕМА ОТ ОБРАТНОГО ПОТОКА IIAPOB

NACJIA путем прокачки откачиваемого механическим насосом газа через сорбционную ловушку с одновременным охлаядением,последней, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью повышения. эффективности защиты, в качестве сорбента ловушки используют аммиак, который подают в нее одновременно с прокачкой газа со скоростью, состав. ляющей 0,01-0,02 от скорости откачки газа механическим насосом,.а охлаждение ловушки производят до температуры не превышающей температуру конденсации аммиака.

2 г объема от обратного потока паров мас" ла путем прокачки откачиваемого механическим насосом rasa через сорбционную ловушку с одновременным охлаждением последней, в качестве сорбента ловушки используют аммиак, который подают в нее одновременно с прокачкой газа со скоростью, состачляющей 0,01-0,02 от скорости откачки rasa механическим насосом, а охлаждение ловушки производят до температуры, не превьг шающей температуру конденсации аммиака.

На чертеже изображена установка, реапизующая предлагаемый способ.

Установка содержит объем 1, сое-. диненный через затвор 2 и охлаждаемую сорбционную ловушку 3 с высоковакуумным 4 и форвакуумным 5 механическими насосами. Откачиваемый-объем 1 через натекатель 6 соединен с баллоном 7, с аммиаком. Полость ловушки 3 через натекатель 8 соединена также с баллоном 7, Способ защиты вакуумного объема от отработанного потока, парой масла заключается в прокачке откачиваемого . механическим насосом 5 газа через сорбционную ловушку 3 с одновременным охлаждением последней. В качестве сорбента в ловушке 3 используют аммиак, который подают в нее одновременно с прокачкой газа со скоростью, составляющей 0,01-0,02 от скорости откачки . газа механическим насбсом 5, а охлаждение ловушки 3 производят до температуры, не превышающей температуру конденсации аммиака.

Использование предлагаемого способа позволяет отказаться от загружаемого в ловушку сорбента, его нагрева в процессе всего: цикла работы и ус-, транить пары воды в откачиваемом объеме, тем самым упрощается технология получения вакуума и удешевляется весь процесс.

Предлагаемый способ позволяет

I получать безмасляный вакуум на любых вакуумных установках с использованием . только одних серийно выпускаемых диффузионных насосов с охлаждаемой ловуш кой °

4 116010 Изобретение относится к вакуумной технике и предназначено для создания вакуума, свободного от паров масла. . Известен способ защиты вакуумного объема в высоковакуумиой установке, включающий откачку газа высоковакуумным и форвакууыным насосами с. масляным уплотнением через сорбционную ловушку и подачу хладагента из пхлаждаемой ловушки на вход форва- 10 куумиого насоса Г1 3.

Недостатком этого способа является повышенный расход хладагента за счет откачки его форвакуумным насосом и необходимость допалнитель- 1 ных коммуникаций для реализации способа. Кроме этого, указанный способ не исключает полностью попадание .масла в камеру высоковакуумного насоса даже при наличии охлаждаемой 20 ловушки. Подача хладагента на вход форвакуумного насоса снижает скорость откачки.

Наиболее близким к изобретению является способ эащиты вакуумного ZS объема от обратного потока паров масла путем прокачки откачиваемого механическим„насосом газа через сорбционную ловушку с одновременным охлаждением последней. 30

«+ t

В качестве сорбента используют активированный уголь, который после предварительной регенерации нагревают до 130 С и поддерживают при этой . температуре в течение всего времени

35 работы. При этом пары масла активно поглощаются f2 ).

Недостатком этого способа является необходимость загрузки сорбента в ловушку, его нагрев в процессе

®сего цикла работы и периодическая .регенерация, т.е. процесс получения беэмасляного вакуума становится сложным н дорогостоящим. Кроме того, . указанный способ не позволяет устранять пары водЫ из откачиваемого объема.

1 9

Цель изобретения — повыюение эффективности защиты

50 указанная цель достигается тем, что при снособe защиты вакуумного 2

1160102

Составитель О. Тишина

Техред Т.Дубинчак Корректор Я,эрдейц

Редактор О. Головач

Тираж 586 Поднисное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Иосква, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 3719/31

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4