Растровый оже-микроанализатор
1. РАСТРОВЫЙ ОЖЕ-МИКРОАНАЛИЗАТОР , содержащий соединенные между собой по корпусу колонну с электромагнитной формирующей системой и камеру образцов, отличающийся тем, что, с целью увеличения предельного разрежения за счет увеличения допустимой температуры прогрева камеры образцов, внутренние полости колонны и камеры образцов разделены металлической мембраной. 2. Оже-микроанализаТор по п. 1, отличающийся тем, что соединение колонны и камеры выполнено по их периферии через теплоизолирующие элементы.
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИН (sl)4 Н 01 J 37/256
ЖЕСЬИ)ЗИАЯ
llATQf)
ТЕХЙИ,„;;„д
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К ABTOPGXOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3700994/24-21 (22) 13.02.84 (46) 15.08.85. Бюл. Ф 30 (72) В.Н.Алимов, А.А.Краснушкин, А.М.Соловьев и С.А.Топорков (53) 621.385.833(088.8) (56) Патент ФРГ N 2245397, кл. Н 01 J 37/28, опублик. 1978. Патент Cl!IA М- 4205226, кл. Н 01 J 39/00, опублик. 1980. (54) (57) 1 . РАСТРОВЫЙ ОЖЕ-ИИКРОАНАЛИЗАТОР, содержащий соединенные между собой по корпусу колонну с „„Я0„„1173463 A электромагнитной формирующей системой и камеру образцов, о т л и ч аю шийся тем, что, с целью увеличения предельного разрежения за счет увеличения допустимой температуры прогрева камеры образцов, внутренние полости колонны и камеры образцов разделены металлической мембраной. 2. Оже-микроанализатор по п. 1, отличающийся тем, что соединение колонны и камеры выполнено по их периферии через теплоиэолирующие элементы. 1173463 Изобретение относится к электронно-зондовым приборам, в которых вторичные элементы, в том числе и ожеэлектроны, возникающие в результате бомбардировки первичным электронным 5 пучком поверхности исследуемого образца, используются для получения количественной и качественной информации о химическом составе поверхности образца как в режиме сканирования, так и при точечном анализе. Цель изобретения — увеличение предельного разрежения за счет увеличения допустимой температуры прогрева камеры образцов. 1S На чертеже изображена схема предлагаемого устройства. Металлическая мембрана 1 приварена к наружной стенке электромагнитной линзы 2 формирующей системы и к 20 внутреннему стакану 3 верхней крышки 4 камеры 5 образцов. Через кронштейны 6 проходят охлаждаемые полые болты 7 со штуцерами на концах. Болты проходят внутри опорных тепло- 25 изолирующих элементов, например керамических втулок 8, и ввинчены в выступы крышки 4, обеспечивая тем самым фиксацию колонны 9 в IlpocTpBHcT ве и передачу ее веса помимо мембра- 30 ны через втулки 8 на камеру образцов. В камере образцов расположен анали,затор 10 и объектодержатель 11. Патрубки 12 служат для соединения с вакуумной системой, а штуцеры 13— для соединения с системой охлаждения. Устройство работает следующим образом. В колонне 9 формируется электронный пучок Возбуждакпдий вторичные 40 электроны с поверхности образца, которые анализируются по энергиям анализатором 10. При прогреве камеры 5 образцов происходит передача тепла электромагнитной колонне 9, что может отрицательно влиять на электронно-оптические параметры формирующей системы. Тонкая кольцевая вакуумно-плотная металлическая мембрана 1, разделяющая полости колонны и камеры образцов, сводит к минимуму передачу 1 тепла от камеры к колонне. Фиксация положения колонны 9 и передача ее веса на камеру 5 образцов обеспечивается через кронштейны 6, жестко связанные с колонной, и через расположенные на некотором расстоянии от колонны опорные теплоизолирующие элементы— втулки 8, через которые проходят полые охлаждаемые болты 7, ввинчиваемые в крьппку камеры 5 образцов. Материалы теплоиэолирующих втулок 8 выбираются так, чтобы минимизировать передачу тепла к колонне 9 и создать необходимый градиент температуры между ней и камерой образцов. Этому же способствует использование охлаждающей воды в период прогрева для охлаждения электромагнитных линз 2 и полых болтов 7. Наличие мембраны уменьшает переток тепла к колонке при прогреве камеры образцов, а дополнительное охлаждение колонны и полых стягивающих болтов проточной водой способствует увеличению градиента температуры между камерой и колонной. Такая конструктивная схема позволяет прогревать камеру до 250-350 С при сохранении темо пературы колонны не более 60-80 С. Повьппение температуры прогрева камеры увеличивает более, чем на порядок коэффициент диффузии газов с внутренних вакуумных поверхностей, уменьшая время обезгаживания и, следовательно, время откачки прибора, а также давление в нем остаточных газов. 1173463 Заказ 5073/51 Тираж б79 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Составитель В.Гаврюшин Редактор С;Лисина Техред С.Мигунова. Корректор С.Шекмар
