Способ измерения параметров электропроводящих пленок

 

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ЭЛЕКТРОПРОВОДЯЩИХ ПЛЕНОК, включающий облучение исследуемой электропроводящей пленки волной квази-ТЕМ под углом епадения, измерение модуля коэффициента отражения или прохождения и расчет параметров-исследуемой электропроводящей пленки, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и упрощения измерений, угол е падения, выбирают в .пределах , а вектор Е волны квазиТЕМ ориентируют так, что его проекции на плоскость падения и перпендиi кулярную ей плоскость равны по амплитуде и имеют произвольную разность (Л . фаз.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (5!) 4

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3681618/24-09 (22) 29.12.83 (46) 15. 10.85. Бюл. № 38 (72) Е.А.Виноградов и В.И.Голованов (71) Институт общей физики AH СССР (53) 621.317.335(088.8) (56) Виноградов Е.А., Голованов В.Н., Ирисова Н.А., Латышев А.Б. Пропускание тонких металлических пленок в диапазоне длин волн 1-2 мм. Краткие сообщения по физике, ФИАН, 1981, № 12, с. 53.

2. Виноградов E À., Голованов В.И., Ирисова Н.А., Латышев П.Б. Отражение от тонких металлических пленок при

3=1 мм. Краткие сообщения по физике, ФИАН, 1982, И- 8, с.11.

„„SU„„1185268 А (54) (57) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ITAPANKTPOB

ЭЛЕКТРОПРОВОДЯПИХ ПЛЕНОК, включающий облучение исследуемой электропроводящей пленки волной квази-ТЕМ под yrsro & падения, измерение модуля коэффициента отражения или прохождения и расчет параметров. исследуемой электропроводящей пленки, о т л и ч а ю— шийся тем, что, с целью повышения точности и упрощения измерений, угол 0 падения. выбирают в пределах

0 < 8 6 30 а вектор Е волны квазиТЕИ ориентируют так, что его проекции на плоскость падения и перпендикулярную ей плоскость равны по ампли- ф туде и имеют произвольную разность фаз.

1185268

Составитель В.Васильев

Редактор К.Волощук Техред О.Неце Корректор В.Синицкая

Заказ 6360!42 Тираж 747 Подписное

БНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Иосква, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г.ужгород, ул.Проектная, 4

Изобретение относится к радиотехническим измерениям .и может быть использовано в диапазонах от ИК до

СВЧ для измерения параметров электропроводящих пленок с широким интерва- 5 лом величин коэффициентов пропускания, отражения, поглощения или поверхностного сопротивления.

Цель изобретения — повышение точности и упрощение измерений.

tO

Предлагаемый способ измерения параметров электропроводящих пленок реализуется следующим образом.

Исследуемая электропроводящая пленка облучается волной квази-ТЕМ 15 под углом падения 0 9430, причем вектор Е волны квази-TEM.ориентируют так, что его проекции на плоскость падения и перпендикулярную ей плоскость равны по амплитуде и имеют про-20 извольную разность фаз. Измеряют модуль коэффициента отражения или прохождения и по нему судят о параметрах исследуемои электропроводящей пленки.

Способ основан на том факте, что при изменении угла падения волны квази-ТЕИ в пределах 0 — 30 (с указанной ориентацией вектора Е) величина коэффициента пропускания (отражения) для составляющей волны квази-TEN c вектором Е, лежащим в плоскости падения, уменьшается (увеличивается), а для составляющей с вектором Е, перпендикулярным плоскости падения,— увеличивается (уменьшается) практически на одну и ту же величину, и потому результирующая отраженная (прошедшая) мощность практически не зависит от угла 0 падения (в пределах

040<30).