Устройство управления процессом плазмохимической обработки полупроводниковых пластин

 

УСТРОЙСТВО УПРАВЛЕНИЯ ПРОЦЕССОМ ПЛАЗМОХЙМИЧЕСКОЙ ОВРАВОТКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН, содержа:щёе первый фотоэлектрический преобгрАзователь и компаратор, о т Л и , . 14 а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности фиксаций момента .окончания плазмохимической обработ-: ;ки, в .него дополнительно введены вто -рой фотоэлектрический преобразователь , интегратор, генератор, источник постоянного напряжений, а также модулятор, -первый разделительный конденсатор, сумматор, регулируемый усилитель, второй разделительный кон денсатор и демодулятор, последовательно включенные между выходом первого фотоэлектрического преобразова .теля и входом компаратора, выхрд ; генератора соединён с входами управления модулятора и демодулятора выход интегратора подсоединен к управI ляющему входу регулируемого усилителя , а первый вход - к выходу регули- (П руемого усилителя, второй фотоэлектрический преобразователь соединен с вторым входом сумматора, а на второй вход интегратора подсоединен источник постоянного напряжения.

„.ЯО„;,; 199151

СОЮЭ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ . РЕСПУБЛИК

А1 (g1)g Н QE: L 21/302

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ .:

Il0 ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

К А ВТОРСИОМЪГ СВИДЕТЕЛЬСТВУ.

2 (21) 3765181/22-02 .: .. ;:;окончания плазмохимической обработ-. 1(22) 12.07.84 .. < !ки, в него дополнительно введены вто-", (46) 30! 11.90. Бюл. У 4:: .. рой фотоэлектрический преобразова(72) А.C.Хаййацкий, Н;П1Кохан, ... тель, интегратор,:генератор, источВ,М.Долгополов, -В.А.Сологуб, : : :: ник постоянного напряжения, а также

Б;В.Рогачев и В.И.Иванов модулятор, - первый разделительный (53) 621.04 .80 {088.8) . . ., . конденсатор, сумматор, регулируемый усилитель, второй разделительный кон

,(56) Авторское свидетельство СССР :.: .денсатор и демодулятор, последова:В 924660, кл. G 05 В -,11/01, 1982, ; : тельно включенные между выходом пер-, 31.11 В. Optical, emission andi " вого фотоэлектрического преобразоваpoint detecting for;monitoring :. .теля и входом компаратора, выход oiygen plasma photoresist strippin : генератора соединен с входами управ, - Solid State Technology, 1977, М 9, :ленни модулятора и демодулятора, выр.: 51-55, . " ход интегратора подсоединен к управ(54)(57):.:УСТРОЙСТВО УПРАВЛЕНИЯ ляющему входу регулируемого усилите-: а

ПРОЦЕССОМ ПЛАЗМОХИЙИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ ."ля, а первый вход - к выходу регулиПОЛУПРОВОДНИКОВЬИ ПЛАСТИН, содержа-: . руемого усилителя, второй фотоэлек-

:щее йервый фотоэлектрический преоб- ; трический преобразователь соединен с разователь и компаратор, .о т л и -.,:, вторым входом сумматора, а на второй. pg а ю щ е е с я тем, что, с целью . вход интегратора подсоединен источник .:повышения. точностй фиксации момента:.: -: постоянного напряжения.

Ф

Изобретение относится .к области. : :.-,: Устройство содержит первый фото Изготовления полупроводниковых нри-. - ::. - электрический преобразователь 1 и.ком:- .боров и может найти применение,в обо-.. паратор 2, между который последова рудовании для производства интеграль- :-, : тельно включены модулятор 3, раздели-! ных микросхем:; .-- ",-::::: "., ." .„ тельный конденсатор 4, сумматор 5,,Цель изобретения - повышение точ-, . Qerysmpyem>H усилитель:6, разделиности фиксации момента окончания. плаз-, .. тельный у онденсатор 7 и демодулятор биохимической обработкй; " : .:-. :;;-8.. К входам управления модулятора 3 .

На фиг.1 показана функциойальная :; . — и демодулятора 8 подключен выход .гене: схема описываемого устройства; на : ратора 9, - выход второго фотоэлектри . фиг.2 - диаграмма изменения напряже . ческого преобразователя 10 подклю ния с выхода различных элементов усг-.. чен к второму входу сумматора 5. Перройства. . "- вый вход интегратора 11 соединен с

119915) выходом усилителя 6,на второй вход подается постоянное напряжение U Ä, а выход соединен с входом регулировки усиления усилителя 6. Перед работой настраивают максимумы спектраль- ных характеристик преобразователей

1 и 10 так, что преобразователь 1 регистрирует составляющую излучения, интенсивность которой изменяется в процессе обработки (кривая А на фиг.2}. а преобразователь 10 регистрирует составляющую, интенсивность которой не изменяется в процессе обработки кривая Б на фиг.2 . При этом флуктуации давления и мощности влияют на интенсивность выбранных составляю- щих примерно одинаковым образом, так же как и изменение прозрачности стекла в смотровом окне установки. 20

Чтобы уменьшить погрешность определения момента окончания процесса обработки из-за флуктуаций давления и мощности, в предлагаемом устройстве сигнал с преобразователя 10 исполь- 25 зуется для калибровки тракта усиления (модулятор-демодулятор) сигналов с преобразователей 1 и 10. При этом медленно изменяющееся напряжение .с преобразователя 10 (кривая Б íà 3р фиг.2) сразу подается в тракт усили- . теля (сумматор 5, усилитель 6), а напряжение с преобразователя 1.(кри- :: вая А на фиг.2) модулируется модуля- . тором 3 частотой 1 кГц и также по- 35 дается на тракт усилителя, Если постоянная составляющая выходного напряжения усилителя 6 отли чается;. от Uo,, то интегратор 11 изменяет коэффициент усиления усилителя

6 (при уменьшении выходного нанряже= ния увеличивает коэффициент усиления и наоборот) . Например, если напряже4. ние с преобразователя 10 уменьшается на 12%, то коэффициент усиления увеличивается примерно на 12%.

Сигнал с преобразователя 1 прохо" дит тот же тракт усиления. Кроме того влияние флуктуаций давления и мощности на его выходной сигнал таков же, как на преобразователь 10, поэто, 1 му уменьшение выходного напряжения преобразователя 1 на 12% будет ском" .

I пенсировано увеличением коэффициента усиления усилителя 6 на 12%. В этом случае при изменении напряжения с. преобразователя 1 по кривой А, а с преобразователя 10 - по кривой Б выходное напряжение демодулятора 8 (кри- вая В на фиг.2) практически не будет содержать составляющих, обусловленных флуктуациями давления и мощности, За счет этого будет исключена погреш ность (Qt на фиг.2) определения момен- та окончания процесса отработки., Устройство позволяет уменьшить

Погрешность фиксации момента оконча-: ния плазмохимической обработки с 10- ..15 с до 3-4 с.

Таким образом, введение модулятора, сумматора, регулируемого усилите-. ля, двух разделительных конденсаторой,. демодулнтора, генератора, интегратора и второго фотоэлектрического преобразователя позволяет повысить точность фиксации момента окончания про- цесса в условиях флуктуаций давления, и мощности в реакторе. . 1199151

1, Редактор О.Филиппова Техред ц.-Пидык Корректор М.Шароши

:;Заказ 4341 Тираж 464: Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета йо изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-)5, .Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул. Гагарина, 101