Контейнер для зонной плавки полупроводниковых материалов

 

ЛЪ 124131

Класс 40d, 1зо

СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

В. Н. Романенко, 3. П. Терентьева и В. M. Тучкевич

КОНТЕЙНЕР ДЛЯ ЗОННОЙ ПЛАВКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ

МАТЕРИАЛОВ яапвлено 31 марта )959 г, за Хо 623920/22 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Опубликовано в «Бюллетене изобретений» М 22 за 1959 г.

Применяемые в настоящее время тигли для плавки таких полупроводниковых материалов, как кремний, изготавливают из кварца. Основным недостатком такого тигля является то, что жидкий кремний, смачивая кварц при последующем охлаждении расплава до комнатной температуры и затвердевания его, приводит к сцеплению частиц кремния со стенками тигля и растрескиванию как слитка, так и тигля ввиду различия коэффициентов термического расширения.

Предлагаемый контейнер исключает этот недостаток применением обмазок из окисей бериллия или циркония, или тория. которыми покрывают стенки тигля, обеспечивая тем самым увеличение срока его службы в десятки раз. Для этого мелкорастолченную окись какоголибо из указанных материалов смешивают с 4 -HbDI крахмалом до сметанообразного состояния и наносят эту смесь в виде тонкой пленки на поверхность тигля. После высыхания первого слоя наносят второй и сушат его в течение 24 час. Далее проводят отжиг слоя обмазки при

550 до полного выгорания крахмала.

Слитки кремния, полученные в таки.; тигля; i,: Jíòåéíåðà.;), легко извлекаются из них. Электрические свойства этих слитков по своим свойствам не уступают слиткам. полученным в необмаза..ièüt.; кварцевых контейнерах.

Предмет изобретения

Контейнер для зонной плавки полупроводниксвых материалов, о тл и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения чистоты получаемого продукта, кварцевый контейнер покрывают ок: сям:: *бериллня или циркония, или тория.