Толщиномер диэлектрических покрытий

 

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения расстояния до электропроводящих изделий, толщины диэлектрических покрытий, а также амплитуды вибрации . Толщиномер диэлектрических покрытий содержит автогенератор, .последовательно соединенные вихретоковый преобразователь (ВТП), фазочувствительный детектор, опорвЫЕЙ выход которого соединен с aBTOfife- нератором через фазовращатель, амплитудный детектор,,сумматор, второй вход которого с ВТП через амплитудный детежтор второй комплект аналогично соед|вден ных второго ВТП, второго фазочув ствительного детектора, второго амплитудного детектора, второго фазовращателя и второго сумматора, блок деления, через который сумматоры соединены с инд;нкаТором. В результате обработки сигйалов выходные сигналь сумматоров являются функциями расстояний и практически не зависят от вариации в тшфокшс пределах электромагнитных ров основы изделия. Результаты измерений остаются постоянными и в случае изменения выходных сигналов преобразователей от вариаций окружающих условий, режима питания и т.д. 1 ил. ю Од а 00

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (191 111) А

1511 4 G 01 В 7/Об ((ъ7/ " ",1

1 13, ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТБУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (61) 905620 (21) 3827609/25-28 (22) 17. 12. 84 (46) 07.03.86. Бюл. N 9 (71) Московский ордена Ленина и ордена Октябрьской Революции энергетический институт (72) Е.Г. Беликов, В.А. Кислов, Л.К. Тимаков и А.П. Тычинин (53) 620. 1 79. 1 42. 5. 6 (088. 8) (56) Авторское свидетельство СССР

9 905620, кл. G 01 В 7/06. 1980. (54) ТОЛЩИНОМЕР ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ

ПОКРЫТИЙ (57) Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения расстояния до электропроводящих изделий, толщины диэлектрических покрытий, а также амплитуды вибрации., Толщиномер диэлектрических покрытий содержит автогенератор, последовательно соединенные вихретоковый преобразователь (ВТП), фазочувствительный детектор, опорный выход которого соединен с автО16 нератором через фазовращатель, амплитудный детектор, сумматор, второй вход которого соединен с

ВТП через амплитудный детектор вто рой комплект аналогично соедыненных второго ВТП, второго фаэочувствительного детектора, второго амплитудного детектора, второго фазовращателя и второго сумматора, блок деления, через который сумматоры соединены с индикатором. В рвэультате 1обработкн снгваловвыход«

1 г ные сигналы сумматоров являются функциями. расстояний и практически не зависят от вариации в широких пределах электромагнитных параметров основы иэделия. Результаты измерений остаются постояннъвпа и в в случае изменения выходных сигналов преобразователей от вариаций окружающих условий, режима питания и т.д. 1 ил. 1216637 2

25

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения расстояния до электропроводящнх иэделий, толщины диэлектрических покрытий, амплитуды вибраций и является усовершенствованием толщиномера, описанного в авт.св.

У 905620.

Целью изобретения является rioвышение точности измерений за счет уменьшения влияния вариаций мешающих факторов, таких как режим питания устройства, окружающих условий и др.

На чертеже показана структурная схема толщиномера диэлектрических покрытий.

Толщиномер диэлектрических покрытий состоит из автогенератора 1, последовательно соединенных накладного вихретокового преобразователя

2, вход которого соединен с выходом автогенератора 1, фазочувствительного детектора 3, опорное напряжение на который подается от автогенератора 1 через фазовращатель 4, сумматора 5, второй вход которого соединен с выходом преобразователя

2 через амплитудный детектор 6, Толщиномер содержит второй комплект иэ. аналогично соединенных второго накладного вихретокового преобразователя 7, второго фазочувствительного детектора 8 и второго амплитудного детектора 9, второго фазовращателя 10 и второго сумматора 11, а также блок 12 деления, через который сумматоры 6 и 11 соединены с индикатором 13.

Толщиномер работает следующим образом.

Автогенератор 1 обеспечивает питание преобразователей 2 и 7 синусоидальным током. Причем преобразователь 2 удален от изделия на расстояние t, равное искомой толщине диэлектрического покрытия, а преобразователь 7 — на расстояние, - t 1 + to ° где, — заданное и фиксированное в процессе ,контроля расстояние. Вносимые на,пряжения преобразователей 2 и 7 ,являются функциями электромагнитных параметров 0 и р основы иэделия и соответственно расстояний и t . Эти напряжения подаются соответственно на входы детекторов 3, 6 и 8, 9. Опорные напряжения фазочувствитвльных детекторов

3 и 8 с помощью соответственно фазовращателей 4 и 10 устанавливаются синфазными с током возбуждения преобразователей. Постоянные напряжения с выходов детекторов 3 и 6 поступают на входы сумматора 5, а с выходов детекторов 8 и 9 — на входы сумматора 11. Выходные напряжения сумматоров 5 и 11 подаются на входы блока 12 деления, вь|ходной сигнал которого поступает на индикатор 13.

Выходные сигналы сумматоров 5 и 11 являютея функциями соответственно расстояний t, и С, и практически не зависят от вариаций в широких пределах электромагнитных параметров основы иэделия.

Поскольку в процессе контроля t

- "const и изменяется только толщи- на диэлектрического покрытия t, то выходные напряжения блока 12 деления и, следовательно, показания индикатора 13 соответствуют измеряемой толщине диэлектрического покрытия и ие зависят от вариаций электромагнитных свойств изделия. Результаты измерений останутся постоянными и в случае изменений выходных сигналов преобразователей

2 и 7 (и/или выходных сигналов сумматоров 5 и 11), вызванных вариациями окружающих условий, режимов питания и т.п. Расчетные данные показывают, что изменение .амплитуды тока возбуждения вихретокового преобразователя в 1, 1 раза по сравнению с его номинальным значением не влияет на результаты измерений толщины покрытия.

Формула из обретения

Толщиномер диэлектрических покрытий по авт.св. У 905620, о тл и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения точности измерения путем уменьшения влияния вариаций мешающих факторов, он снабжен блоком деления и подключенным к автогенератору вторым идентичным каналом, включающим второй накладной вихретоковый преобразователь, подключенные к нему второй фазочувствительный детектор и второй амплитудный детектор, соединенный с вы1216637 4 первого и второго сумматоров соединены с входами блока деления, выход которого подключен к индикатору» ходами последних второй сумматор и второй фавовращатель, вка<щейный между автогенератаром и втауым 4аеочувствительным детектором:, выходы

Тираж 671 Подписное

ВНИИХИ Гбсударствеиирго комитета СССР по дедам изобретений и открытий

li3035 Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/3

Заказ 993/53 филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная,4

Составитель И, Кесоян

Редактор H. Егорова Тенер И,Дар щей Корректор И. Эрдейи

Толщиномер диэлектрических покрытий Толщиномер диэлектрических покрытий Толщиномер диэлектрических покрытий 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в машиностроении при автоматизации процессов обработки различных немагнитных материалов

Изобретение относится к измерительной технике и может найти широкое применение в системах неразрушающего контроля и измерений толщины пленочных покрытий

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения геометрических размеров плоских изделий, и может быть использовано при измерении толщины плоских изделий из диэлектриков, полупроводников и металлов, в том числе полупроводниковых пластин, пластических пленок, листов и пластин

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для контроля толщины металлических покрытий в процессе их образования, например, на металлических деталях, в частности, при нанесении покрытий из паровой фазы пиролитическим способом

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения деформирующей способности технологических остаточных напряжений в поверхностном слое изделий из металлов и сплавов с различными электромагнитными свойствами

Изобретение относится к неразрушающим методам контроля качества и геометрических размеров изделий и может быть использовано для измерения толщины проводящих покрытий
Изобретение относится к электронной технике и электротехнике и может быть использовано, в частности, в качестве датчиков магнитного поля или тензодатчиков

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения толщины различных покрытий на цилиндрических металлических основах

Изобретение относится к измерительной технике, а более конкретно к методам и техническим средствам для контроля толщины твердых и полутвердых защитных покрытий, изоляционных слоев, жировых отложений, смазочных и лакокрасочных пленок на электропроводящей, в частности, металлической основе
Наверх