Источник ионов
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ
РЕа1УБЛИН
„„SUÄÄ 1218424 A (д) 4 Н 01 J 27/04
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ вЂ” — — глчл
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
H АВТОРСКОМ,Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ ,vr Jl:i 3 Тд "; f ре. (21) 3768919/24-25 (22) 23.07.84 (46) 15.03.86. Яюл. 11- 10 .(72) 1.Н.Маков (53) 621.385 (088.8), ;(56) АЛ;Forrester, D.М. oebe1 and
:Т.T.arrow "А hollow cathode multipole boundary ion source", J. Appl.
Phys. Jett, 33.11, 1978.
N,Hershkowitz,;R. Hendricks and
R.Т.Carpenter, "Electrostatic в1пяяin of liana in à multidipole devi— ,се" ° J.Appl. Phys.53.4105, 1982. (54) (57) ИСТОЧНИК ИОНОВ, содеРжащий источники питания, многополюсную маг.— нитную систему, расположенную вокруг
:цилиндрической газоразрядной камеры, в Которой установлены катод, основной анод, подключенный к отрицательному полюсу. одного иэ источников питания, и дополнительные аноды, подключенные к положительному полюсу того же источника, и ионно-опти- ческую систему, образованную эмиссионным и по крайней мере одним ускоряющим электродом, о т л и ч а ю щ и й. с я тем, что, с целью снижения удельных энергозатрат на ионизацию, основной анод выполнен в виде стенок газоразрядной камеры, а допол.нительные аноды шириной, равной шагу расположения магнитных полюсов, установлены через один межполюсный промежуток таким образом, что вектор / Е Ъ(направлен в сторону эмиссионного электрода, где с — вектор электрического поля, 6 — индукция магнитного поля в межполюсном эаэо1218424
Составитель В.Спиридонов
Редактор Л.Кастран Техред З.Палий Корректор Т. Колб
Ф
Заказ 1134/58 Тираж 644 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5
Филиал IIPII "Патент", r.Óæãîðoä, ул.Проектная,4
Изобретение относится к газоразрядным источникам ионов. . Целью изобретения является снижение удельных энергетических зат рат.
На чертеже схематически представлвна разрядная камера источника ионов, поперечный разрез;
Устройство содержит анод 1 источ ника, периферийные, магниты 2, магнитопровод 3, дополнительные аноды 4, края которых размещены вдольсередин магнитных полюсов, Допол,нительные аноды изолированы от анода, электрически соединены вместе и имеют вывод, с помошью,которого . на них подается смешение all no отношению к потенциалу анода от дополнительного источника питания.
Стационарное электрическое поль
Е в плазме ионного источника соз дается при подаче положительного смещения Ц на дополнительные аноды, поскольку силовые линии магнитно. го поля являются эквипотенциалами вследствие замагниченности электронов плазмь1 и несут потенциал соот5 ветственно пластины дополнительного анода или тех электродов, через которые проходят силовые линии магнитного поля. Поскольку в соседних магнитных щелях направления векторов Е
10 и В одновременно меняются на противоположные, выбранное направление, вектора скорости дрейфа заряженных частиц в сторону эмиссионной мульти.,апертурной пластины сохраняется по
15 периферий. Существенное превышение аксиально направленной дрейфовой скорости по сравнению с тепловой сокращает потери заряженных частиц через магнитные щели на анод и при20 водит к увеличению и выравниванию
-плотности плазмы в области эмиссионной пластины, т.е. к увеличению йлощади сбора ионов и отбираемого иэ источника тока ионов.
