Устройство для захвата изделий

 

Изобретение относится к устройствам транспортирования деталей. Цель изобретения - повьшение надежности в работе. Отрыв детали 7 от липкого носителя 8 осуществляют вакуумом через канал 5. Детали 7 базируют относительно упора 4, постепенно увеличивая давление сжатого воздуха канал 3. Вакуум уменьшают , используя емкость 6. Захват опускается , давление сжатого воздуха уменьшается, а откачка через канал 5 увеличивается и деталь 7 опускается в ячейку. 3 ил. (Л Ёакуун ISD N: 00 4 фиг.1

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

„„SU„„122341? А (5n 4 " 05 К 13/02

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Q -::" -.: /

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3702853/24-21 (22) 14.02.84 (46) 07.04.86. Бюл . У !3 (72) В.В.Сафронов, И.С.Акишин, М.Л.Дрикер и В.В.шведов (53) 621,396.6.002.72 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

В 1041452, кл. В 65 G 47/02, 1982.

Цель изобретения - повышение надежности в работе. Отрыв детали 7 от липкого носителя 8 осуществляют вакуумом через канал 5. Детали 7 базируют относительно упора 4, постепенно увеличивая давление сжатого воздуха через канал 3. Вакуум уменьшают, используя емкость 6. Захват опускается, давление сжатого воздуха уменьшается, а откачка через канал 5 увеличивается и деталь 7 опускается в ячейку. 3 ил.,(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗАХВАТА ИЗДЕЛИЙ (57) Изобретение относится к устройствам транспортирования деталей.

1 )2234

Изобретение относится к устройствам для транспортирования деталей в зону обработки или на сборку и может быть использовано в любой отрасли машиностроения или приборостроения.

Например, при сборке необходимо захватить деталь, приклеенную к носителю, затем забазировать ее и установить в ячейку планарной кассеты. Все эти операции необходимо вы- С полнить манипулятором с одним захватом.

Цель изобретения — повышение надежности в работе путем введения дополнительного канала с соплом для i$ подключения к системе вакуумной откачки, что позволяет повысить присасывающую силу захвата.

На фиг.1-3 показано устройство захвата и пример его использования. g

Устройство для захвата содержит корпус 1, в котором симметрично нап.равляющим 2 расположен канал 3 для соединения с системой подачи сжатого воздуха, наклоненный в сторону, противоположную расположению упора 4.

8 корпусе 1 выполнен дополнительный канал 5 с соплом для соединения с системой вакуумной откачки через емкость 6, расположенный перед каналом 3 для соединения с системой подачи сжатого воздуха и наклоненный в сторону расположения упора 4. Устройство обеспечивает захват детали 7 с липкого носителя 8.

Устройство для захвата работает следующим образом.

Деталь 7 находится в первоначальном положении на липком носителе 8.

Захват опускается на деталь 7. Деталь может быть несколько сдвинута относительно упора 4 захвата на рас- стояние E. Так как разряжения, образующегося за счет эффекта Вернули, недостаточно для отрыва детали,включается вакуум, проходящий через ка"нал 5, который увеличивает присасывающую силу, и деталь отрывается от липкого носителя. Поскольку деталь необходимо положить в ячейку, кассеты, 50 ее предварительно нужно забазировать, Поэтому после того, как деталь оторвалась от липкого носителя, вакуум постепенно уменьшают и увеличивают давление сжатого воздуха через ка"!

7 2 нал 3. Если резко отключить вакуум и увеличить давление, деталь ? может, упасть с захвата. Поэтому канал 5 соецинен с системой вакуумной откачки через емкость б, за счет которой вакуумное давление уменьшается постепенно. Давление сжатого воздуха и толщина воздушной подушки между захватом и деталью увеличиваются, и деталь начинает перемещаться к упору 4, причем за счет наклона вакуумного канала 5 в сторону упора вакуум помогает детали перемещаться в эту сторону, Тем самым происходит базирование детали. Вакуумное сопло не может быть расположено между упором 4 и каналом 3 со сжатым воздухом, так как поток сжатого воздуха, выходящий из канала 3, в этом случае может не доходить до упора 4 при одновременной раб те вакуума, и деталь либо совсем упадет с захвата, либо не дойдет дс упора.

После того, как деталь 7 эабазируется до упора 4, захват опускается для установки детали в ячейку. При этом давление ежатого воздуха уменьшается, а канал 5 соединяется с системой вакуумной откачки, 3а счет резкого уменьшения давления сжатого воздуха детали, находяпдлеся в ячейках рядом с загружаемой, не выдуваются после того., как захват с деталью опустится в ячейку 9. В конце цикла вакуум и сжатый воздух отключаются полностью, и деталь 7 надает в ячейку. формула изобретения

Устройство для захвата изделий, преимущественно полупроводниковых пластин, содержащее корпус с каналом ,цля со единения с системой подачи сжатого воздуха, расположенным между направляющими наклонно относительно опор" ной поверхности корпуса и упора, о тл и ч а ю щ е с с я тем, что, с целью повышения надежности в работе, в корпусе выполнен дополнительный канал дпя подключения к системе вакуумной откачки посредством емкости, выполненной в корпусе, причем дополнительный канал расположен со стороны, противоположной размещению основного канала и упора, с наклоном в сторону упора.

122341 7

Составитель З.Яшина

Редактор Т.Кугрышева Техред И.Верес Корректор В. Синицкая

Заказ 1727/61 Тираж 765 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Филиал ППП "Патент", r.Óærîðoä, ул.Проектная, 4