Интерферометр для контроля цилиндрических поверхностей

 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля цилиндрических поверхностей. Цель изобретения - расширение типоразмеров контролируемых поверхностей. Интерферометр строится по схеме с совмещенными ветвями. Для этого эталонный оптический элемент вьшолнен в виде прозрачного коаксиального цилиндра и установлен после цилиндрической линзы так, что ось его поверхностей совпадает с задней фокальной линией линзы. Благодаря тому, что светоделительный кубик установлен в гомоцентрическом ходе лучей, его габариты не ограничивают длины контролируемой йоверхности вдоль оси цилиндра. 1 ил. и to to О)

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (59 4 G 01 В 9/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н ABTOPCKOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ВСЕЯ @т. -ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3796437/24-28 (22) 29.09.84 (46) 23.04.86. Бюл. N- 15 (?2) И.Я.Бубис, Ю.В.Канатов, М.И.Кузинков и В.Б.Хорошкеев (53);681.535.8 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

Ф 355489, кл. С 01 В 9/02, 1970.

Авторское свидетельство СССР

11 1000745, кл. G 01 В 9/02, 1983.

Известия вузов. Сер. "Приборостроение". T 12. -М., 1969. с ° 112-113. (54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ЦИЛИНДРИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ (57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть испольÄÄSUÄÄ 1226041 A зовано для контроля цилиндрических поверхностей. Цель изобретения — расширение типоразмеров контролируемых поверхностей. Интерферометр строится по схеме с совмещенными ветвями.

Для этого эталонный оптический элемент выполнен в виде прозрачного коаксиального цилиндра и установлен после цилиндрической линзы так, что ось его поверхностей совпадает с задней фокальной линией линзы. Благодаря тому, что светоделительный кубик установлен в гомоцентрическом ходе лучей, его габариты не ограничивают длины контролируемой йоверхO ности вдоль оси цилиндра. 1 ил. е

1226041

1О

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля вогнутых и выпуклых цилиндрических поверхностей.

Цель изобретения — расширение диапазона типоразмеров контролируемых поверхностей, благодаря установке светоделителя в гомоцентрическом ходе лучей.

На чертеже изображена:принципиальная схема интерферометра.

Интерферометр для контроля цилиндрических поверхностей содержит лазер 1, систему формирования цилиндрического волнового фронта, интерференционную и наблюдательную системы. Система формирования включает последовательно расположенные расширитель 2 лазерного пучка, мик,рообъектив 3, светоделительный ку бик 4, апланатический мениск 5, коллиматорный объектив 6 и цилиндрическуюлинзу 7. Интерференционная система представляет собой цилиндрический коаксиальный мениск 8. Трубка 9 служит в качестве наблюдательной системы.

Интерферометр работает следующим образом.

Свет от лазера 1, расширенный расширителем 2 лазерного пучка, собирается микрообъективом 3 в точку О. С той же точкой оптически сопряжен фокус объектива 6. Апланати-ческий мениск 5 служит для уменьшения габаритов прибора. После объектива 6 плоский волновой фронт преобрузуется цилиндрической линзой 7.

Коаксиальный цилиндрический мениск

8, ось цилиндрических поверхностей

1 которого совпадает с задней фокальной Яинией цилиндрической линзы 7, разделяет падающий на его волновой фронт на рабочий (прошедший через него) и опорный (отраженный от вогнутой поверхности мениска и образующий волновой фронт сравнения). Ðàбочий волновой фронт собирается в

1 фокальную линию О, с которой Совмещается фокальная линия контролируемой цилиндрической поверхности 10, отражается от контролируемой поверхности, идет в обратном направлении и интерферирует с опорным. Интерференционную картину, несущую информацию об ошибках, контролируемой цилиндрической поверхности, наблюдают телескопической трубкой 9.

Благодаря установке светоделительного кубика в гомоцентрическом ходе лучей его габариты не ограничивают длины контролируемой цилиндрической поверхности. Одновременно выполнение интерферометра по схеме с совмещенными ветвями позволяет ограничиться при этом одной цилиндрической линзой, а использование апланатического мениска — сократить габариты интерферометра.

Формула из обретения

Интерферометр для контроля цилиндрических поверхностей, содержащий лазер, установленную по ходу его излучения систему формирования цилиндрического волнового фронта, включающую расположенные последовательно по ходу пучка излучения расширитель лазерного пучка и цилиндрическую линзу, светоделительный кубик, установленный на оси системы формирования, оптический элемент с эталонной цилиндрической поверхностью, оптически связанный со светоделительным кубиком и расположенный так, что ось кривизны его поверхности оптически сопряжена с задней фокальной линией цилиндрической линзы, и наблюдательную систему, оптически связанную со светоделительным кубиком и установленную так, что ее оптическая ось совпадает с образуемым светоделительной гранью кубика зеркальным изображением оси расширителя лазерного пучка, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона типоразмеров контролируемых поверхностей, интерферометр снабжен последовательно расположенными по ходу пучка, выходящего из расширителя, первым объективом, апланатическим мениском, установленным так, что его передняя апланатическая точка совпадает с задним фокусом первого объектива, вторым объективом, расположенным так, что его передний фокус совпадает с задней апланатической точкой мениска, светоделительный кубик установлен между первым объективом и мениском, а элемент с эталонной поверхностью выполнен в виде прозрачного коаксиального цилиндра и установлен по ходу прямого пучка, выходящего из цилиндрической линзы.

1226041

Составитель М.Семчуков

Редактор О.Юрковецкая ТехредН.Бонкало КорректорЛ.Пилипенко

Заказ 2110/28 Тираж 670 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5 т

Производственно-полиграфическое предприятие,г.ужгород,ул.Проектная,4