Вакуумная камера

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А BTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

flO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3825315/25-08 (22) 10,12,84 (46) 15.06.86. Бюл. II 22 (72) С.С. Волков.и М.l0. Тимашев (53) 62-229.72(088,8)

{56) Пюстерхофт Х,> Вишот Б. Манипулятор для перемещения образцов в сверхвысотовакуумных установках.

ПТЭ, 11 - 1(1) 1983, с. 124. (54)(57) ВАКУУМНАЯ КАМЕРА, содержащая корпус, манипулятор с приводом, имеющим герметичный ввод в корпус камеры, и исполнительный орган, связанный с этим приводом, о т л и ч аю щ а я с я тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения надежности герметизации, она снабжена

„„SU„„1237426 А 1 (ц у В 25 J 21/00// В 25 J 9/14 источником рабочей среды, расположенным вне камеры, и направляющей для исполнительного органа, а привод выполнен в виде сильфона с торцовыми фланцами, расположенного внутри корпуса и связанного одним фланцем с источником рабочей среды посредством дополнительной трубки, жестко смонтированной в корпусе камеры, причем указанный фланец сильфона жестко связан с направляющей, а второй (подвижный) фланец сильфона соединен с исполнительным органом посредством дополнительно введенного штока, расположенного в направляющей по оси, совпадающей с осью сильфона, при этом внутри сильфона расположена пружина сжатия.

1237426

ЗО

Составитель А.Позняк

Техред:Г Гербер

Корректор F.. Сирохман

Редактор А, Лежнина Заказ 3237/17

Тираж 1031

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб„, д. 4/5

Подписное

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул ° Проектная, 4

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано для передачи движения в вакуум в металлических вакуумных системах.

Целью изобретения,является упрощение конструкции и повышение надежности герметизации.

На чертеже схематично изображена предлагаемая вакуумная камера.

Вакуумная камера содержит силь фон 1 с торцовыми фланцами 2 и 3„ шток 4, жестко соединенный с фланцем 3 сильфона 1, исполнительный орган 5, расположенный на штоке 4, направляющую 6, жестко соединенную с 15 фланцем 2, трубку 7, корпус 8 камеры, кран 9, насос 10 и пружину 11, Трубка 7 соединена одним концом с сильфоном 1 через отверстие во фланце 2, а другим концом — с краном 9 10 и проходит через корпус 8 камеры, Кран 9 соединен с насосом 10. К трубке 7 подсоединен манометр 11 для измерения давления воздуха, Вакуумная камера работает следующим образом„

Привод камеры находится в вакууме. Если воздух из сильфона 1 не откачан, то давление внутри сильфона на 1 атм больше, чем снаружи.

Сила F< давления на торцы сильфона, растягивающая сильфон

Гр -hP 8, где 4Р— разность давлений внутри и снаружи сильфона; 35

S - максимальная площадь поперечного сечения сильфона, Одновременно на сильфон 1 действует стягивающая сила F пружины 12, . 40 жестко скрепленной с фланцами 2 и 3 сильфоиа 1. Упругость пружины выбирают такой, чтобы при атмосферном давлении внутри сильфона (точнее

6 Р = 1 атм) сильфон растягивался 45 на максимальную величину. При условии 4 Р = О, т.е. при откачанном сильфоне, растягивающая сила Fl, = О<

При этом действует только стягивающая сила пружины и сильфон оказывается максимально сжатым.

При изменении давления в пределах 0 . ьР + 1 атм подвижный фланец сильфона перемещается от максимально сжатого до максимально растянутого положения сильфона. Согласно этому перемещается исполнительный орган 5, соединенный через шток

4 с фланцем 3. Направляющая 6 обеспечивает заданное направление поступательного перемещения. Величина перемещения определяется по величине давления в сильфоне и в трубке 7 манометром 11. Уменьшение давления в сильфоне проиэводится с помощью насоса 10, крана 9 и трубки 7 °

Повьппение давления осущес1 вляется напуском воздуха иэ атмосферы с помощью крана 9, который служит также для фиксации давления.

Сильфон с направляющей можно располагать в любом месте вакуумной системы с произвольной ориентацией без изменения точности перемещения исполнительного органа и беэ механических усложнений.

При использовании гибкого тросика в оболочке в качестве штока сильфонный узел можно удалять также и от перемещаемого объекта, что позволяет производить манипуляции в самых насыщенных и труднодоступных местах вакуумных систем.

Вакуумная камера позволяет осуществлять, кроме поступательного, также вращательное движение. Для этой цели можно использовать анкерный механизм, соединенный со штоком.

Предлагаемую конструкцию можно реализовать с применением сильфона сварной конструкции, изготовленной иэ тонких металлических шайб с внешним диаметром 15 мм, При длине сильфона 40 мм максимальный ход составляет порядка 1О мм, Диаметр трубки, проходящей через фланец, может составлять порядка 4 мм.