Турбомолекулярный насос для откачки агрессивных газов

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИ(-(ЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„„SU„„1250721 А 1 ( 04 D !9 04

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А BTOPGHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21 1,Л81) 0504, 2) 5) -(Н (22) 28.02.>)5 (46! 150((.8(i. h .,"> (о) (721 H И Гагарин i) >. !!,)!).);)ч >н (<> (50 !> ((!@ (5)))i) 11))инт (!>ран)())н Л 2>l,(lji)()4, кл 1> 04 1> !() 00, (>Elm(>)ик. (!)7;). (54 (5>f ) !. ТУРЬОМО,, 11:КЪ . 1ЯР!11>1Й НЛ(.ОС:, 1„!Л О! ЕАГ(КИ ЛГ1>f ) .(:ÈÂHÛÕ

ГАЗОВ, содер>кан)ии вс ртикальны)3 корпус

СO СT<)T(>P I) Ыf>)И LИС К3 E ., УСта НОE3, I(EIНЫЙ ПО ()(E3 K() pi) ), (;3 E) (I () k) E) >K El(и 1 <3(т и Э>)ект!н>)ви) ате.)ь и )акр(II.)(нныи на 13;Iлу эг)ек P() )3)El) (><>) (»é«

I i м, ) ) о, (Н е.1 ) K ) I 1 () H l >I I I ) L I I I: <(, 1 . (, L(,+, k ) и;i< о(,L()l)()! Нитепьно 00.L(р+, н г )6(« ll!, ) >, )), )т ьн), ) Н н)1> H) а, lt. h Гро Ll) l) I i I (. I I < >Г) )>

И 1)3)1(1 h() lk>IL()34)Й 1101ОСT I), li Ис I <)<)Н)) К и.>. (> 1;3)а. EI() lh)K))0I)íü)(3 h )н»()()и.

1 «)СОС II() II 1, 07 .) 77<(()K>f<(if(< r

i)Г)("Ii3E)hi) ()3<10<КЕН<3 hPI>ill!h()И, « Г<3 I:tk .i< ) (>(i k)k>i."I )а )C)j)0%1 Отп(» l)T(,IE>ll(! ,) f3 )С()L II() ll. 1, «7 )(7>((>к»7()7)7<

I ) () (>6(<);3))к;) (. Н;)()>К(II<) K(). I I) .1, (;<) > (),. (>(. верхне>3 T()pll(> и x (ã, II, );3 )о! Нч >) но(иге, IE>kl() f)()T(>j>,I

1250721 (. i I tH»<с.>н П k(t>tt нки

I l р<,l Il (3< Iи l k рр< лт >It 1! М)»л

1 I I H H >t< 5(3 (> 11<>,!Ill>< н<и

В!!Е!Е!!13! Государственного комитета (:((:Р оо делам изобретений и открытий

1(ЗОЗ5, Москва, Ж 35, Рау >нскан наб, д 4, 5

<(>и >иа > ППП <Патент», I !<>кгород, <>I Проектнан, 4

1 < . I I> t <>I > 1 I I l ) tl 1 ;> t I .3:>к,> t 43н .! »!

Изобретение Относится к вакуумной технике, а именно к конструкции турбомолекулярных вакуумных насосов.

Целью изобретения является повышение надежности насоса путем улучшения защиты электродвигателя и Опорного узла От попадания в него Откачиваемого га.>а.

На фиг. представлен (IHc()< с цилин.(рической обечайкой, продольный разрез; на фиг. 2 то жс, i зашитныч колпаком.

Турбомолекут!3(рн(,133 (3;3« >(содержит вертикальный корпус 1 со статор ычи дисками

2, установленный по <>сН корпуса 1 в его нижней части электродвигатель 3 и Закрепленный на валу 4 электродвиг (T(. ля Л полый ротор 5. Насос дополнительно содержит обечайку 6, охватывакицую электродвиг;3тель 3 с образован>)еч H().!!И(евой !!Ол<кти

7, и источник 8 инерl ll(»l> (,! 3,>, !!<>,IK,!ю к н ный к полости 7. Кром(((» <>, I>f)c !,>йк;! (i снабжена крышкой !4, уст;3!<Овг!с ttt!<>Ii с <и сг

ВЫЧ За 3OP()>>НО P(> ГОР(3 ), 13.1 lt КОЛ паком 1!1, закрепленным на верхнем торце обечайки е1 установленным с зазором относительно ротора 5.

Насос рабс)тает следующич образом.

1lpH ()р()и(ение! p«T()pа ) прОисхо, 1ит перенос молекул откачиваемого газа c(> стороны всасывания на сторону нагни тания насоса. Одновременно в полость 7 из источника 8 подают инертный !аз, который создает защитный барьер для откачиваемых агрес(HH(31>(x га:3ов, не позволяя им Ilp(> пикнуть в зону расположения электродвигателя . 3. Наличие крышки с(или колпака 10 повыша T защитнь(е свойства вследствие увс1Hчения пути, по которому молекулы агрес15 HHIl1>1Х Г(3 3()H МОГ>1Ь В Э.!3 kTP<)двигатель. Удаление инертного I аза из Hd«.><;3 происходит со (."I<)p<>III.I н((ания ОдIl<) НРЕ ">1(II HO С ОТК(1 » И В(3(Ч t>l >I >! <ОЧ.

1 1 ре,l. I а II l<1 t>l H 13(3(<>(х l p(3 и <. p ll 3<> (Tl H I><)

t31>« l1(1!! (Ои !3!i.((ж 1(ОсT I>t< > в<, I <,1(т и и(x() P(» I I< Й

<<«!lИГЫ Э,I< и!Р<>ДHHÃHI(.IIЯ