Раствор для травления молибдена
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИН (51)4 С 23 F 1/26 ц
Ф .
Н A BTOPGHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3713018/22-02 (22) 19.03. 84 (46) 30.08.86. Бюл. 9 32 (71) Брестский электроламповый завод (72) А.К.Черная, И.В.Танасевич и В.В.Эрайковский (53) 621.794.42(088.8) (56) Денисов В.Н. Производство электрических источников света. M.;
Энергия, 19/5, с. 286 °
Авторское свидетельство СССР
6 254998, кл.С 23 F 1/04, 1967. (54)(57) РАСТВОР ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ ЩЩИБДЕНА, преимущественно, молибденового керна, содержащий азотную кислоту, гексаметилентетрамин и воду, о тличающийся тем, что, с целью улучшения условий травления при снижении вьделения окислов азота и сохранении высокого качества травления, он дополнительно содержит сульфат аммония при следующем содержании компонентов, мас.X:
Азотная кислота 43,7-53,4
Гексаметилентет-. рамин 0,23-0,37
Сульфат аммония 38,4-46,9
Вода Остальное
1254057
Цель изобретения — улучшение условий травления при снижении выделения окислов азота и сохранении высокого качества травления. 10
Таблица1
Компоненты
Пример
1 2 3
Азотная кислота
43,7 48,6 53,4 43,7
Сульфат аммония
Гексаметилентетрамин 38,4 42,6 46,9 27,0 50,0
Оэ23 Ов3 Оэ37 Оэ1 О 5
778594779440
Вода
Серная кислота
Продолжение табл 2.
Таблица2
Не травит ления
Использование предлагаемого раствора(примеры 1-3} обеспечивает полное вытравливание молибденового
4 керна беэ выделения окислов азота.
В табл. 3 представлены сравнительные данные травления молибдена в asвестном и предлагаемом растворах.
Изобретение относится к химической обработке, в частности к травлению вольфрамовых иэделий и удалению иэ них молибдена.
В табл. 2 приведены результаты травления на основе предлагаемого травительного состава в сравнении с известными.
Без выделения окислов азота
Обильное выцеление окислов азота
При получений раствора для травления сульфат аммония и гексаметилентетрамин растворяют в воде, добавляя азотную кислоту. Для полного растворения смесь подогревают до
50 С. Полученной смесью производят травление молибденового керна воль» фрамовых спиралей.
В табл. 1 приведены примеры предлагаемый травительных растворов
Обильное вьщеление окислов азота ф
Таблица 3
-ъ
1254057
Раствор Состав Время Результат травле травле ния по вьделению ния, окислов азота мин ачество равления
Процесс травления Не полное сопровождается вытравлиобильным выделе- ванне молибнием окислов дена
Известный Азотная кисло» та и
30-90 60 мас.Х азота
Гексамети.лентетрамии
f-50 моль/л
Азотная кислота
43,753,4 .
Сульфат аммония
38,4- 20
46,9
Предлаrаемый
Полное вытравливание молибРезкое снижение вьщеления окислов азота дена
Гексаметилентетрамии
0,230,37
Вода
7,79,4
Составитель В.Олейннченко
Редактор Ю.Середа Техред М.Ходанич. Корректор М.Максимишинец
Заказ 4690/33 Тираж 878 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений н открытий
333035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Производственно-полиграфическое предприятие, r. Ужгород, ул. Проектная, 4
