Устройство для перемещения деталей

 

Изобретение относится к устройствам для пееремещения и ориентации различных деталей и может быть использовано для работы в любой контролируемой атмосфере: вакууме, агрессивных средах, в технологических камерах по изготовлению ЭВП .методом переноса. Цель изобретения - повышение долговечности. Устройство позволяет перемещать детали на большие расстояния с вращением вокруг центральной оси и обеспечивает дистанционное управление захватом без нарушения герметизации среды. Для этого оно снабжено основным валом, смонтированным в Г-образной стойке корпуса . Один конец основного вала соединен с первым герметичным вводом привода поворота , выполненным в виде электромагнитной экранированной синхронной муфты, на другом конце основного вала установлен с возможностью поворота полый вал, который через шестерню связан с вторым герметичным вводом привода линейного перемец:,ения. Привод захвата выполнен в виде вала, установленного параллельно основному валу. Один конец вала соединен с третьим герметичным вводом привода захвата, а другой конец кинематически связан при помощи бесконечно перфорированной стальной ленты с валом-шестерней. Последний установлен соосно основному валу и через подпружиненную рейку, установленную на планке, связан с захватным устройством, состоящим из трех выступающих из планки равномерно расположенных по окружности эксцентриковых валиков, снабженных шестернями, кинематически связанными с одним из зубчатых венцов блок-шестерни, свободно установленной на оси. 2 ил. S (Л ю СП СП 4i 00 1ч:)

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (sg 4 В 25 1 21/00//В 25 1 9/04

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

1 Й) f 3 ЩЪglp gg

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ И „1. -:.

f ô 1 (тг1. -, Н ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3876074/25-08 (22) 01.04.85 (46) 07.09.86. Бюл. № 33 (72) Б. П. Андреев (53) 621.229.72 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 903108, кл. В 25 J 19/00, 1982. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЯ ДЕТАЛЕИ (57) Изобретение относится к устройствам для пееремешения и ориентации различных деталей и может быть использовано для работы в любой контролируемой атмосфере: вакууме, агрессивных средах, в технологических камерах по изготовлению ЭВП методом переноса. Цель изобретения — повышение долговечности. Устройство позволяет перемещать детали на большие расстояния с вращением вокруг центральной оси и обеспечивает дистанционное управление захватом без нарушения герметизации среды.

Для этого оно снабжено основным валом, емонтированным в Г-образной стойке кор„„Я0„„1255432 А1 пуса. Один конец основного вала соединен с первым герметичным вводом привода поворота, выполненным в виде электромагнитной экранированной синхронной муфты, на другом конце основного вала установлен с возможностью поворота полый вал, который через шестерню связан с вторым герметичным вводом привода линейного перемещения. Привод захвата выполнен в виде вала, установленного параллельно основному валу. Один конец вала соединен с третьим герметичным вводом привода захвата, а другой конец кинематически связан при помощи бесконечно перфорированной стальной ленты с валом-шестерней. Последний установлен соосно основному валу и через подпружиненную рейку, установленную на планке, связан с захватным устройством, состоящим из трех выступающих из планки равномерно расположенных по окружности эксцентриковых валиков, снабженных шестернями, кинематически связанными с одним из зубчатых венцов блок-шестерни, свободно установленной на оси. 2 ил.

1255432

Изобретение относится к устройствам для перемещения и ориентации различных деталей и может быть использовано для работы в любой контролируемой атмосфере: вакууме, газонаполненных и агрессивных средах, а также может быть использовано в электровакуумном производстве в составе технолоп«ческих камер для изготовления электровакуумных и фотоэлектронных приборов методом переноса.

Цель«о изобретения является повышение долговечности устройства для перемещения деталей.

На, фиг. 1 показано предлагаемое устройство, общий вид, разрез; на фиг. 2 разрез Л-Л на фиг. 1.

Устройство состоит из корпуса 1, в котором на подшипниках смонтирован основной вал 2. На од«гом ко««це вала 2 установлена муфта 3, соединяющая его с первым герметичным BBQJQM ««ривода ««оворотя привоцимым во вращение электродвигателем с редуктором 4 «срез муфту 5. На другом конце вала 2 в его торцевом гнезде па подшипниках 6 установлен вал-шестерня 7, соединенный через опорный подшипник с Г-образной стойкой 8.

С валом 2 сопряжены полый вал 9 и шпанка 10. 1 lолый вал 9 выполнен в виде круглой рейки по наружному диаметру вдоль образующей. Полый вал 9 кинем атически связан через шестерню 11 с вторым герметичным вводом линейного перемещения, приводимым во вращение электродвигателем !2 с редуктором (фиг. 2).

В Г-образной стойке 8 корпуса 1 смонтирован вал !3 параллельно основному валу 2.

Один конец вала 13 соединен через муфту !4 с третьим герметичным вводом привода захвата, приводимым во вращение электродвигателем 15 с редуктором. Другой ко««е««вала 13 кинематически связан, например с помощью бесконечной перфорированной стальной ленты 16 с валом-шестерней 7. Для перемещения ленты 16 на валу 13 смонтирован ведущий шкив 17, на валу-шестерне 7 смонтирован ведомый шкив 18. Шкивы 17 и 18 снабжены штифтами, предотвращающими проскальзывание ленты 16 при ее движении.

Захватное устройство сто« тировано на планке 9, прикрепленной к торцу полого вала 9. Оно состоит из треi выступающих за планку 19 равномерно расположенных по окружности эксцентриковых валиков 20, снабженных шестернями 21, кинематически связанными с одним из зубчатых венцов блок-шестерни 22, свободно устаповленый па оси 23.

Другой зубчатый венец блока-шестерни 22 кинематически связан с валом-шестерней 7 через подпружиненну«о рейку 24.

Пружина 25 обеспечивает необходимое усилие за>кима захватываемых деталей.

Все три герметичных ввода, смонтированные в корпусе 1, выполнены в виде электромагнитных экранироваш«ых синхронных зубчатых муфт 1 — Ill вращательного движения, каждая из которых обеспечивает передачу вращения ведомому звену через неподвижную герметичную немагнитную степку цилиндрические экраны 26 толщиной 0,5 мм.

Экран 26 уплотняется относительно плиты корпуса 1 прокладкой 27 и крепится с помощью фланцевого соединения. Муфта состоит из наружной магнитной полумуфты 28 и внутренней магнитной полумуфты 29.

Полумуфты имеют одинаковое число зубьев.

Магнитный поток, создаваемый неподвижной электромагнитной катушкой 30, замыкается через зубья наружной и внутренней полумуфт, образуя их сцепление. Крутящий момент от электродвигателя с редуктором 4 передается на наружную полумуфту 28, при этом магнитный поток, создаваемый катушкой 30, заставляет вращаться внутреннюю полумуфту 29 синхронно наружной полумуфте 28. Внутренняя полумуфта 29 находящаяся в рабочем пространстве тех««ологической камеры, грашается в подшипниках 31.

Устройство работает следующим образом.

При включении электромагнитной муфты 111 и электродвигателя !5 вращение передается через муфту 14 валу 13. При повороте вала 13 поворачивается шкив 17, и с помощью ленты 16 г«оворачиваются шкив 18 и вал-шестерня 7, который перемешает сцепляю«цуюся с ним рейку 24. Рейка 24 поворачивает блок-шестерню 22 и сцепляющиеся с ней шестерни 21, установленные на планке 19, обеспечивая синхронный разворот трех зажимных эксцентриковых валиков 20 по радиусу R. Поштучный самоцентрирующий зажим обра батываемых деталей осуществляется от пружины 25 через подпружиненную рейку после выключения электромагнитной муфты 111.

Величина угла поворота вала 13 определяется датчиками положения, установленными в корпусе !.

После захвата детали осу«цествляется ее подъем или опускание на некоторую величину при помощи реечной передачи.

Для этого включаются электромагнитная муфта II и электродвигатель 12 (фиг. 2) .

Шестерня 11. вращаясь, перемещает полый вал 9, а вместе с ним ««г«анку 19 с захватным устройством и деталью по валу 2. Величина перемещения детали определяется датчиками положения, устансвленными в корпусе 1.

Для вращения детали вокруг оси вала 2 или ее поворота на заданный угол вокруг той же оси выключается электродвигатель, при этом электромагнитная муфта 11 остается включенной.

1255432

Форнула изобретения

17 1б

Затем включаются электромагнитная муфта 1 и эл ектродв и гател ь.

Вал 2, вращаясь с помощью шпонки 10, передает вращение полому валу 9 вместе с закрепленной на нем планкой 19 с захватным устройством и деталью.

Возврат детали в исходное положение происходит в обратной последовательности.

Устройство для перемещения деталей преимущественно в герметичных камерах, содержащее корпус, приводы поворота, линейного перемещения и захвата, отличающееся тем, что, с целью повышения его долговечности, привод поворота выполнен в виде основного вала с установленным на нем с возможностью поворота дополнительным полым валом, концевое звено привода линейного перемещения жестко связано с корпусом захвата, причем на наружной поверхности полого вала нарезаны круговые зубья, предназначенные для взаимодействия с зубчатым элементом привода линейного перемещения, а привод захвата включает вал, установленный параллельно основному валу привода поворота и кинематически связанный при помощи гибкой передачи с введенным валом-шестерней, установленным соосно основному валу привода поворота.

j255432

Редактор О. Юрковецкая

Заказ 4765/19

Составитель В. Курятиикова

Техред И. Верес Корректор В. Бутяга

Тираж 1031 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

1! 3035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4