Тензометрический преобразователь

 

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике-и позволяет повысить надежность преобразователя в условиях вибрации и ударных нагрузок. В кольцевом утолщении 3 мембраны 2 в отверстиях установлены стеклянные изоляторы 4 с токоподводами 5. Торцы выводных проводников токоподводов соединены через окна в слое диэлектрика 6, нанесенного на мембрану 2, с напыленными токопроводящими дорожками 8. При контакте приемной полости датчика с объектом контроля мембрана 2 деформируется, что вызывает разбаланс мостовой схемы из терморезисторов 7 и появление информационного сигнала, 2 ил. (Л с tc а 4; ел

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

РЕСПУБЛИК

„«SU„, 12640 (584 G Ol Х, 9 04

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н khtOPCNOMV СЮЩЕТИЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕН1ЫЙ КОМИТЕТ СССР (21) 3739622/24-10 (22) 07.05.84 (46) 15.10.86. Бюл. Р 38 (72) К.В.Захаров, А.И,Кармеев и В.А.Солотов (53) 531.787(088.8) (56) Федулова А.А. Ииогослойные печатные платы. И.: Сов. радио, 1973, с.77.

Приборы и системы управления.

I98l, 11 l, с. 16-17.

{54) ТЕНЗОИЕТРИЧЕСКИЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ (57) Изобретение относится к контрольно-измерительной технике.и позволяет повысить надежность преобразователя в условиях вибрации и ударных нагрузок. В кольцевом утолщении 3 мембраны 2 в отверстиях установлены стеклянные изоляторы 4 с токоподводами 5 ° Торцы выводных проводников токоподводов соединены через окна в слое диэлектрика 6, нанесенного на мембрану 2, с напыленными токопроводящими дорожками 8. При контакте приемной -полости датчика с объектом контроля мембрана 2 деформируется, что выэывае1 разбаланс мостовой схемы из терморезисторов 7 и появление информационного сигнала, 2 ил, 1264О15

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для измерения давлений, сил или перемещений с помощью тенэореэисторов, сформированных методом вакуумного напыления на упругих элементах.

Цель изобретения — повыщение надежности преобразователя в условиях вибрации, ударных нагрузок и высоких температур.

Иа фиг.I изображен датчик давления, на фиг.2 — схема. соединения выводных проводников с тензорезисторами на мембране.

В корпусе ll датчика выполнена мембрана 2, которая имеет кольцевое утолщение 3. В отверстиях этой утолщенной части устае1овлены и 1оляторы ч (фиг.2) с токоподводами 5, Токоподводы могут быть выполнены из никелевой проволоки, а изоляторы — из стег" ла. Торцы токолодводов и соответственно изоляторов совмещают с плоскостью мембраны, на которую нанесен методом микроэлектронной технологии слой диэлектрика 6 и сформированы тенэореэисторы 7 и токоподводящие дОрожки 8. Для электрического соединения токоподводов с токоподводя11 иии дорожками в слое диэлектрика 6 пред варительно выполняют соответственно каждому торцу токоподвода окна размером, не превыжаюцим диаметра отверСТИЯ В КОЛЬЦЕВОЙ УТОЛДЕИЕ1ОЙ Ч<М ТИ мембраны. Нанесение тензореэисгоров и проводящих дорожек можно осуществить любым известным способом,, например вакуумным напьц1ееп1ем,. причем, прОэодящие дорОжки выполняют 1еоследОвательно иэ материалов„ мхм: хром

0,05, медь I,O. Могут быть и дру -ие структуры, обеспе1нваощие молекулярную связь металических дорожек с диэлектрическим слоем мембраегы и токоподводами 5. укрепленные в кольцевом утолщении мембраны токоподводы 5 свободно иэгибают для соединения их с контактами разъема 9.

Преобразователь работает следующим образом.

Вначале к тенэорезисторам, соединенным в мостовую измерительную схе» му, подводят через разъем 9 питание— напряжение 11остояниог;. тока. Йрисоединяют приемную полость датчика к объекту контроля. Деформация мембраны 2 преобразуется в изменение солро" тивлення тензорезисторов, которые приводят к разбалансу мостовой схема и появлению ии@ормациоииого сигнала, Такое текнчческо рещение повьввает надежность работы преобразователя вследствие тогО„: чтО ТОкопОдводы жестко закреплены в утолщенной части мембраны, а под действием ударов и вибраций не са:::дают нагрузок в мес;"ах злектрическОРО соединения их с

Toêoíoäâoäàùèèè дорожками. Такое ре1веиие исключает также пайку н микросварку контактных площадок как one»» мент надежности.

Формула и з о б р е т е н и я

Теизометрический преобразователь, содержащий плоскую металлическую мембрану С кольцевым утолщением, íà ПОверкности которой нанесен слой ди». электрика в сформированы напылением тензорезисторье и токолроводящие дорожки, электрически связанные с токонодводами, о т л н ч а в шийся тем, что, с целью повынения надежности в условиях вибрации, ударных нагрузок, в нем токоподводы установл4кн в отверстиях, снабженных изоляторами н выполненных в кольцевом утолщении мембраны, а в слое диэлектрика вь1ПОлнены ОкеIа размерОм не Йре вывающии диаметра отверстий в кольцевом утолщении, прн этом торцы вы-, . водных проводников токоподводов совмещены с плоскостью мембраны и соединены с напыляемыми тОкОпрОВОдящи ,ми дорожками через окна в слое диэлектрика.

)2б4015

Составитель И. Невский

Редактор Н. Еиштулииец Техред К.Попович Корректор В. Бутяга

Заказ 5551/41

Тираж 778 Подписное

ВНИИИН Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

)13035, Иосква, %-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предпрйятие, r. Ужгород, ул. Проектная, 4