Устройство для контроля угловых параметров плоскопараллельных пластин
Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться для контроля клиновидности. Целью изобретения является повышение точности контроля за счет обеспечения параллельности пучков на входе в зрительную трубу при отсутствии в схеме контролируемого изделия , контролируемой по интерференционной картине. Кроме того, благодаря введению в схему устройства поляризатора , полуволновой пластинки и поворотного анализатора возможно выравнивание и регулировка яркости совмещаемых и измеряемых бликов в поле зрения зрительной трубы. Это обстоятельство, а также возможность исключения из поля зрения всех бли- . ков, кроме измеряемого, достигаются за счет введения в схему фотозатвора . Параллельный пучок лучей от источника разделяется на два пучка, которые с помощью зеркал направляютi ся с разных сторон на поверхности контролируемого изделия. Отраженные (Л ими пучки объединяются на светоделителе и образуют два коллимационС ных блика в поле зрения отсчетной зрительной трубы. Клиновидность изделия определяется по расстоянию между бликами. 1 ил.
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (51)4 G 01 В 11 26
p il ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3787753/24-28 (22) 07.09,84 (46) О?.11.86. Бюл. У 41. (71) Гродненский государственный университет (72) И.С.Зейликович, В .Г.Костюткин, В.В.Сигов и Н.М.Спорник (53) 528.711.)1(088.8) (56) Афанасьев В.А. Оптические измерения, — М., 1981, с. 82. Авторское свидетельство СССР и 977947, кл. G 01 В 11/26, 1982. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ УГЛОВЫХ ПАРАМЕТРОВ ПЛОСКОПАРАЛЛЕЛЬНЫХ ПЛАСТИН (57) Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться для контроля клиновидности, Целью изобретения является повьппение точности контроля за счет обеспечения параллельности пучков на входе в зрительную трубу при отсут" ствии в схеме контролируемого изде„„SU„„1268948 А1 лия, контролируемой поинтерференционной картине, Кроме того, благодаря введению в схему устройства поляризатора, полуволновой пластинки и поворотного анализатора возможно выравнивание и регулировка яркости совмещаемых и измеряемых бликов в поле зрения зрительной трубы. Это обстоятельство, а также возможность исключения из поля зрения всех бли- . ков, кроме измеряемого, достигаются за счет введения в схему фотозатвора. Параллельный пучок лучей от источника разделяется на два пучка, которые с помощью зеркал направляются с разных сторон на поверхности контролируемого изделия. Отраженные ими пучки объединяются на светоделителе и образуют два коллимационных блика в поле зрения отсчетной зрительной трубы. Клиновидность изделия определяется по расстоянию между бликами. 1 ил. 1268948 Изобретение относится к измерительной технике и может бьггь использовано для контроля клиновидности непрозрачных и прозрачных стержней. Целью изобретения является повышение точности измерения клиновид— ности за счет обеспечения параллельности пучков на входе в зрительную трубу при отсутствии в схеме контролируемого изделия, контролируемой по интерференционной картине, На чертеже представлена схема устройства. Устройство содержит источник монохроматического излучения (лазер или обычный источник с интерференционным светофильтром), поляризатор 2 например поляроидная пленка, расширяющую телескопическую систему, состоящую из двух линз 3 и плоские зеркала 5-7, светоделитель 8, контролируемьгй стержень 9, полуволновую пластинку 10, отсчетную зрительную трубу, например теодолит, состоящую из объектива 11 и окуляра 12, анализатор 13, установленный в поворотный механизм, например поворотный поляроид, и фотозатвор 14. Поляризатор 2 и светоделитель 8 расположены последовательно по ходу пучка излучения, создаваемого источником 1, Зеркала 6 и 7 ориентированы таким образом, что пучки, выходящие из светоделителя 8, отражаясь от них идут навстречу друг другу. Зрительная труба, образованная элементами 11 и 12, установлена на пути лучей, отразившихся последовательно от зеркал б и 7 и вторично прошедших светоделитель 8, таким образом, что ее ось совпадает с зеркальным изображени-ем оси пучка источника, входящего в светоделитель, образованный плоскостью деления пучка светоделителем. Полуволновая пластинка 10 и фотозатвор 14 расположены по ходу одного из пучков,„ выходящих из светоделителя 8, а анализатор 13 установлен по ходу пучка на выходе отсчетной зрительной трубы. Устройство работает следующим образом. Излучение источника 1 с помощью поляризатора 2 превращается в линейно поляризованное, расширяется телескопической системой 3 и 4 и зеркалом 5 направляется на светоделитель 8„ Светоделитель 8 разделяет 1О световой пучок на два, один из которых.проходит полуволновую пластинку 10, установленную так, что она поворачивает плоскость поляризации на 90, отражается от зеркал 7 и б и снова от полупрозрачной диагонали светоделителя 8. Второй пучок проходит через светоделитель 8, отражается от зеркал б и 7, проходит полуволновую пластинку 10 и вновь светоделитель 8, Таким образом, после второго прохождения светоделителя 8 получаются две когерентные волны, которые образуют ив терференционную картину. Поворотами светоделителя 8 добиваются настройки интерференционной картины на бесконечно широкую 2О ЗО 4О 5О 55 полосу, При открытом фотозатворе 14 в поле зрения трубы 11 и 12 при отсутствии стержня 9 видны два блика. При настройке на бесконечно широкую полосу эти два блика сливаются в один, который разворотом трубы совмещается с центром перекрестия ее сетки (Hp показана) „ При введении стержня 9 в поле зрения проявляются еще два блика, соответствующие отражениям от торцов стержня. Стержень 9 закреплен в специальном юстировочном приспособлении, позволяющем разворачивать стержень вокруг оси,перпендикулярной пучку, При развороте стержня 9 центральный блик, совмещенный с центром перекрестия, остается неподвижным, а два цругих блика, соответствующие отражениям от торцов стержня, смещаются, чем достигается идентификация блоков. При развороте стержня 9 один из двух бликов, отраженных от торцов стержня, совмещается с неподвижным бликом (и центром перекрестия), Отклонение второго подвижного блика относительно центра перекрестия определяет угол клиновидности. В результате наличия полуволновой пластинки 10 пучки, отраженные от торцов стержня 9, оказываются поляризованными ортогонально остальным пучкам, попадающим в зрительную трубу. Поэтому разворотами анализатора 13 можно выровнять яркости бликов, совмещаемых в процессе контроля, что позволяет повысить точность совмещения. При снятии отсчета положения блика, полученного отражением от пра3 1 вого торца стержня 9, фотозатвор 14 закрывается, что позволяет исключить остальные блики и тем самым повысить Формула и з о б р е т е н и я Составитель М. Семчуков Редактор Г. Гербер Техред Л.Олейник Корректор В.Синицкая Заказ 6023/42 Тираж 670 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, И-35, Раутская наб., д, 4/5 Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 точность отсчета. Таким образом, благодаря точной настройке схемы, осуществляемой по интерференционной картине, регулировке яркости совмещаемых бликов и выделению блика, положение которо.го измеряется, достигается повышение точности .контроля клиновидности. Устройство для контроля угловых параметров плоскопараллельных пластин, содержащее источник параллельного пучка монохроматического излучения, установленный на пути пучка . светоделитель, два плоских зеркала, установленных по ходу пучков, выхо268948 4 дяших из светоделителя и оптически связанных друг с другом, и отсчетную зрительную трубу, расположенную по ходу пучка, вторично прошедшего светоделитель, о т л и ч а ю щ ее с я -,ем, что, с целью повышения точности измерения клиновидности, оно снабжено поляризатором, установленным между источником излу1п чения и светоделителем, полуволновой пластиной и фотозатвором, расположенными последовательно на пути одного из пучков на выходе светоделителя, и анализатором, установленным по ходу пучка, прошедшего зрительную трубу, с воэможностью поворота вокруг оси пучка, а зрительная труба расположена так, что ее ось совпадает с зеркальным изображением оси источника, образуемым плоскостью светоделителя, 
