Устройство для контроля фотошаблонов и полупроводниковых пластин

 

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к контролю формы объектов и рисунка на ни У-стройство позволяет повысить точность измерения фотошаблонов и полупроводниковых плат с различным качеством рисунков за счет изменения угла падения зондирующего пучка. Дпя этого устройство содержит дефлектор, установленный между конденсором и держателем объекта и выполненный из трех зеркал , расположенных так, что одно из них составляет угол в 45° с осью источника излучения и оптически с ним связано, второе оптически связано с первым и третьим зеркалами, .а третье зеркало размещено над держателем объекта. Для обеспечения последовательного сканирования фотоприемником кронштейк выполнен с направляющими. 1 шт.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

А1

„„SU 2705 4 цр 4 G 01 В 11/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3889608/24-28 (22)„29.04.85 (46) 15.11.86., Бюл. У 42 (72) М.Е.Вилянов, В.И.Лысов, Н.Б.Николаева, А.Н. Петухов, Я.Б. Шац, В.В.Волков, Л.Л.Герасимов и Ю.В.Ларионов (53) 531.715.27 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

Ф 324486, кл. G 01 В 11/00, 1970.

Авторское свидетельство СССР

У 966491, кл. G 01 В 11/02, 1982. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ. фОТОШАБЛОНОВ И ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН (57) Изобретение относится к измерительной технике, в частности к контролю формы объектов и рисунка на н

Устройство позволяет повысить точность измерения фотошаблонов и полупроводниковых плат с различным качеством рисунков за счет изменения угла падения зондирующего пучка. Для этого устройство содержит дефлектор, установленный между конденсором и держателем объекта и выполненный из трех зеркал, расположенных так, что одно из них составляет угол в 45 с осью источника излучения и оптически с ним связано, второе оптически связано с первым и третьим зеркалами, .а третье зеркало размещено над держателем объекта.

Для обеспечения последовательного сканирования фотоприемником кронштейн выполнен с направляющими. 1 ил.

1270554

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля линейных размеров профиля элементов на плоских объектах с дифракционными тестовыми структурамии.

Цель изобретения — повышение точности путем изменения угла падения зондирующего излучателя.

На чертеже представлена схема уст10 ройства.

Устройство содержит последовательно установленные источник 1 когерентного излучения, конденсор 2, держатель 3 объекта измерения, кронштейн

4, фотоприемник 5, установленный на кронштейне 4, который имеет возможность поворота в двух взаимно перпендикулярных плоскостях, дефлектор 6, выполнеHHbKA из,трех зеркал 7 — 9, так, что .зеркало 7 установлено под углом 45 к оси источника и опти.чески с ним связано, зеркало 8 связано оптически с зеркалами 7 и 9, зеркало 9 размещено над держателем

3 объекта. Привод 10 обеспечивает перемещение дефлектора 6, двигатели

111 и 12 — кронштейна 4. Окуляр 13 и объектив 14 предназначены для визирования объекта контроля.

Устройство работает следующим образом.

Излучение от источника 1 проецируется конденсором Z на зеркало 7 дефлектора 6 и, отражаясь последовательно от зеркал 7 — 9,.формирует на держателе 3 объекта пятно с распределением интенсивности, олизким к равномерному, отражаясь от объекта контроля, закрепляемого на держателе

3, излучение дифрагирует и на площадке фотоприемника 5 образуется часть дифракционной картины.

Перемещением кронштейна 4 под управлением двигателя 12 осуществляется сканирование дифракционной картины. Далее дефлектор 6 перемещается приводом 10 в новое положение. С помощью двигатепя 11 кронштейн 4 перемещается до положения, обеспечивающе,го максимальный .сигнал с выхода фотоприемника S Далее повторяется сканирование новой дифракционной картины, образовавшейся вследствие применения угла пацения излучения на объект. Описанные действия повторяются и по найденной совокупности значений интенсивности и по формуле дифракционной решетки определяются геометрические параметры контролируемого объекта, или рисунка на нем. Благодаря изменению угла падения зондирующего излучения обеспечивается высокая точность контроля при сложном профиле рисунка на объекте, когда нормальное падение излучения приводит к низкой дифракционной эффективности и, следовательно, низкому контрасту дифракционной картины, регистрируемой фотоприемником.

Формула изобретения

Устройство для контроля фотошаблонов и полупроводниковых пластин, содержащее последовательно установленные источник когерентного излучения и конденсор, держатель объекта измерения, кронштейн и фотоприемник, закрепленный на кронштейне с возможностью поворота относительно держателя объекта в двух взаимно перпендикулярных плоскостях, о т л и ч а ю— щ е е с я тем, что, с целью повьппения точности контроля, оно снабжено дефлектором, установленным между конденсором и держателем объекта и выполненным в виде трех зеркал, одно иэ которых установлено под углом 45 к оси источника и оптически связано с первым и третьим зеркалом, разме,щенным над держателем объекта, а ,кронштейн .выполнен в форме дуги окружности с направляющими, предназначенными для перемещения по ним фотоприемника.

1270554

Составитель Н.Чичварин

Редактор Н.Горват Техред Л.Сердюкова Корректор M.Ìàêñèìèøèíåö

Заказ 6229/40 Тираж 670 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москна, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4