Устройство для измерения сопротивления контактов к полупроводникам

 

Изобретение относится к измерению параметров полупроводниковых приборов и может быть использовано при исследовании свойств контактов к полупроводникам. Цель изобретенияповышение точности - достигается за счет исключения систематической погрешности , вносимой при предварительном определении удельного сопротивления образца и его геометрических размеров, а также случайной ошибки при измерении вольтамперной характеристики из-за необходимости проведения ряда измерений одновременно. Для этого в устройство дополнительно введены токосъемный резистор 2, блок 3 вычитания и третья выходная клемма 6. Устройство также содержит генератор 1 модулированных по амплитуде по пилообразному закону коротких импульсов тока, первую выходную клемму 4, регистрирующий прибор 5, вторую выходную клемму 7, контакты 8-10 исследуемого образца. Гил. (Л

А1

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (11) (111 4 G 01 R 27/02

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ ";

К А BTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3808870/24 — 21 (22) 29.10.84 (46) 30.01.87. Бюл. !! - 4 (72) M.À.Ëÿêàñ и И.С.Левитас (53) 621.317.331(088.8) (56) Домнин В.И. и др. Сб. Арсенид галпия, Томск, 1968, с.225.

Е.V.George, G.Bekefi, IREE Trans.

1970, v.ED — 17, р.27. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ СОПРОТИВЛЕНИЯ КОНТАКТОВ К ПОЛУПРОВОДНИКАМ (57) Изобретение относится к измерению параметров полупроводниковых приборов и может быть использовано при исследовании свойств контактов к полупроводникам. Цель изобретения— повышение точности — достигается за счет исключения систематической погрешности, вносимой при предварительном определении удельного сопротивления образца и его геометрических размеров, а также случайной ошибки при измерении вольтамперной характеристики из-за необходимости проведения ряда измерений одновременно. Для этого в устройство дополнительно введены токосъемный резистор 2, блок

3 вычитания и третья выходная клемма

6. Устройство также содержит генератор 1 модулированных по амплитуде по пилообразному закону коротких импульсов тока, первую выходную клемму

4, регистрирующий прибор 5, вторую выходную клемму 7, контакты 8-10 исследуемого образца. 1 ил.

ВНИИПИ Заказ 7711/46 Тираж 730

Подписное

Произв.-полигр. пр-тие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

1 12870

Изобретение относится к измерению параметров полупроводниковых приборов и может быть использовано при исследовании свойств контактов к полупроводникам. 5

Цель изобретения — повышение точности эа счет исключения систематической погрешности, вносимой припредварительном определении удельного сопротивления образца и его геомет- 10 рических размеров, а также случайной ошибки при измерении вольтамперной .характеристики из-эа необходимости проведения ряда измерений неодно,.временно. 15

На чертеже представлена блок-схема предлагаемого устройства.

Устройство содержит генератор 1 модулированных по амплитуде по пилообразному закону коротких импульсов 20 тока, выход которого соединен с первым выводом токосъемного резистора 2 и с первым входом блока вычитания 3, Второй вход которого подключен к второму выводу токосъемного резистора 2 и первой выходной клемме 4, выход блока вычитания 3 соединен с первым входом (вход У ) регистрирующего прибора 5, второй вход которого соединен с третьей выходной клеммой 6, 30 вторая выходная клемма 7 подключена к общей шине устройства.

Устройство работает следующим образом.

Исследуемый образец в форме плас- 35 тины со сформированными на ее поверхности не менее, чем тремя контактами

8-10 известной площади и формы подключается соответственно к выходным клеммам 4, 7 и 6 устройства, причем 40 исследуемый внутренний контакт 9 подключается к второй клемме 7.

Периодическая последовательность коротких импульсов, промодулированная по амплитуде по пилообразному закону, <5 с выхода генератора 1 через токосъемный резистор 2 и первую выходную клемму 4 поступает на контакт 8 полупроводникового образца.

Потенциал контакта 10 представля- 50 ет собой падение напряжения на переходном сопротивлении исследуемого контакта 9, обусловленное импульсным током, протекающим между контактами

8 и 9. Зто падение напряжения через 55

39 2 третью выходную клемму 6 поступает на второй вход (вход "X ) регистрирующего прибора 5. Поступающее на первый вход (вход Y ) регистрирующего прибора 5 импульсное напряжение с выхода блока вычитания 3 пропорционально импульсному току протекающему между контактами

8 и 9

Регистрирующий прибор 5 воспроизводит вольтамперную характеристику исследуемого контакта 9 в виде совокупности дискретных точек в диапазоне токов, определяемом максимальной амплитудой импульсов с выхода генератора 1. Плотность расположения точек зависит от соотношения длительности и частоты повторения импульсов и периода модулирующего напряжения. Эти параметры в каждом конкретном случае выбираются в пределах, обеспечивающих исключение систематической ошибки измерения, связанной с возникновением эффекта Пельтье в приконтактных областях .

Формула изобретения

Устройство для измерения сопротивления контактов к полупроводникам, содержащее генератор, регистрирующий прибор, первую и вторую выходные клеммы для подключения соответственно первого и второго контактов образца, I причем вторая выходная клемма подключена к общей шине устройства, о т л и ч а ю m е е с я тем, что, с целью повышения точности измерений, в него дополнительно введены токосъемный резистор, блок вычитания и третья выходная клемма для подключения третьего контакта образца, расположенного по одну сторону от двух других контактов образца, ближайшим из которых является второй контакт, причем токосъемный резистор включен между выходом генератора и первой выходной клеммой, выводы токосъемного резистора соединены с соответствующими входами блока вычитания, выход которого подключен к первому входу регистрирующего прибора, второй вход которого соединен с третьей выходной клеммой.