Устройство для измерения поперечных размеров микрообъектов

 

Изобретение относится к измерительной технике. Цель изобретения возможность непрерывного измерения поперечных размеров микрообъекта в процессе его производства. Луч лазера 1, попадая на контролируемый объект 7, образует позади него в дальней зоне дифракционную картину Фраунгофера, которая анализируется с помощью пространственного фильтра, состоящего из двух половин 2 и 3, установленных с возможностью положительного и отрицательного смещений относительно положения фильтра на оси лазера и соответствукнцих номимальным значениям контролируемых поперечных размеров объекта на величину +uL и -дЪ, где &L - величина допуска на номинальный поперечный размер . Освещенности позади пространственного фильтра регистрируются фотоприемниками 4 и 5, а номинальный поперечный размер контролируемого объекта 7 задается положением пространственного фильтра на оси устройства с помощью шкалы 6. 1 ил. ю (Л

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН . (19) (11) Ai (5)) 4 G 01 В 11/10

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А 8TOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

llO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 39837 75/24-28 (22) 03.12.85 (46) 07.04.87, Ьюл. Р 13 (71) Одесский государственный университет им. И.И.Мечникова (72) Ю.В.Ковалев и Ю.А.Носков (53) 531. 715. 27 (088. 8) (56) Авторское свидетельство СССР

Ф 324486, кл. G 01 В 11/10, 1970.

Авторское свидетельство СССР

Р 925168, кл. С 01 В 11/10, 1981. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПОПЕРЕЧНЫХ РАЗМЕРОВ YHKPOOHÚÅÊÒO (57) Изобретение относится к измерительной технике. Цель изобретения— возможность непрерывного измерения поперечных размеров микрообъекта в процессе его производства. Луч лазера 1, попадая на контролируемый объект 7, образует позади него в дальней зоне дифракционную картину

Фраунгофера, которая анализируется с помощью пространственного фильтра, состоящего из двух половин 2 и 3, установленных с возможностью положительного и отрицательного смещений относительно положения фильтра на оси лазера и соответствующих номимальным значениям контролируемых поперечных размеров объекта на величину +dL и -дЬ, где АЬ вЂ” величина допуска на номинальный поперечный размер. Освещенности позади пространственного фильтра регистрируются фотоприемниками 4 и 5, а номинальный поперечный размер контролируемого объекта 7 задается положением пространственного фильтра на оси устройства с помощью шкалы 6. 1 ил.

02140 2

ВИИИПИ Заказ 1207/41 Тираж 678 Подписное

Произв.-полигр. пр-тие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

1 13

Изобретение относится к измерительной технике и может быть исполь— зовано при контроле диаметра длинномерных изделий типа проволоки, волокон в процессе их изготовления.

Цель изобретения — возможность непрерывного измерения поперечных размеров микрообъекта в процессе его производства.

На чертеже изображена принципиальная схема устройства для измерения поперечных размеров микрообъектов.

Устройство содержит последовательно расположенные лазер 1, пространственный фильтр, выполненный из двух половин 2 и 3, установленных с воэможностью положительного и отрицательного смещений относительно положения фильтра на оси лазера и соответствующих номинальным значениям контролируемых поперечных размеров объекта на величину +EL и -aL, где

; hL — величина допуска на номинальный поперечный размер, фотоприемный блок, выполненный из двух фотоприемников

4 и 5, и шкалу 6, установленную параллельно оси перемещения фильтра.

Предлагаемое устройство работает следующим образом.

Луч лазера 1, попадая на контролируемый объект 7, образует позади него в дальней зоне дифракционную картину Фраунгофера, которая анализируется с помощью пространственного фильтра, состоящего из двух половин

2 и 3, Освещенности позади пространственногоо фильтра р егистрир уют си фотоприемниками 4 и 5, а номинальный поперечный размер контролируемого объекта 7 задается положением пространственного фильтра на оси устройства с помощью шкалы 6.

При освещении; лучом лазера 1 контролируемого объекта 7 образуется дифракционная картина, характеризуе— мая угловыми размерами направлений на экстремумы освещенности в ней, которые определяются поперечными размерами контролируемого объекта 7. При совпадении размеров контролируемого

f0 !

30 объекта 7 с заданным номинальным значением, освещенности позади каждой иэ половин 2 и 3 пространственного фильтра, регистрируемые фотоприемниками 4 и 5, равны в силу симметрии дифр акционной картины. При и эменении размеров объекта 7 освещенность позади каждой из половин 2 и 3 пространственного фильтра изменяется: с одной стороны, увеличивается, с другой — уменьшается, Так, например, при увеличении размеров объекта 7 по сравнению с заданным освещенность позади половины 3 пространственного фильтра, расположенного на расстоянии L + АЕ, увеличивается, а освещенность позади половины 2 пространственного фильтра, расположенного на расстоянии Ь вЂ” LL, уменьшается. Разностный сигнал об освещенностях позади каждой из половин 2 и 3 пространственного фильтра соответствует величине отклонения диаметра объекта 7 от номинального значения ° При изменении величины заданного номинального размера объекта 7 половины 2 и 3 пространственного фильтра совместно перемещаются вдоль оси луча лазера 1 в новое положение, определяемое с помощью шкалы 6. Величины +gL и -aL определяют поле допуска на поперечный размер контролируемого объекта 7.

Формула изобретения

Устройство для измерения поперечных размеров микрообъектов, содержащее последовательно расположенные лазер, пространственный фильтр, уст ановленный с возможностью перемещения вдоль оси лазера, фотоприемный блок и шкалу, установленную параллельно оси перемещения фильтра, о тл и ч а ю щ е е с я тем что, с целью непрерывного измерения поперечных размеров микрообъекта в процессе его производства, фильтр выполнен из двух половин, установленных с возможностью положительного и отрицательного смещений относительно положения фильтра на оси лазера,