Датчик давления

 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при эндорадиозондировании желудочно-кишечного тракта человека. Цель изобретения - уменьшение погрешности измерения давления. На германиевую пластину 1 нанесена пленка 2 дисульфида германия. При воздействии измеряемого давления на мембрану 7, передаваемого через шарик 5 на металлический контакт 3, меняется начальная емкость структуры металл - дисульфид германия - германий, принимающая свое первоначальное значение после снятия давления. 2 ил. ) х уу j / / f7. J г 1 л :А: СА:) 00 ел со фш.1

А1

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (19) (11) (51) 4 G 01 L 9/12

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А BTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3932282/24-10 (22) 23.07.85 (46) 15.04. 87. Бюл. )Ф 14 (72) В.Ф.Агафонников, В.И.Гаман, Е.В.Агафонникова и С.Ф.Глущук (53) 531. 787 (088. 8) (56) Авторское свидетельство СССР

9 346615, кл. G 01 L 9/06, 1960.

Кривоносов И.И. Электромеханические измерительные преобразователи давлений высокотемпературных сред.

M., 1975, с. 68. (54) ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ (57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при эндорадиозондировании желудочно-кишечного тракта человека.

Цель изобретения — уменьшение погрешности измерения давления. На германиевую пластину 1 нанесена пленка 2 дисульфида германия. При воздействии измеряемого давления на мембрану 7, передаваемого через шарик 5 на металлический контакт 3, меняется начальная емкость структуры металл — дисульфид германия — германий, принимающая свое первоначальное значение после снятия давления. 2 ил. у у 5 g Р, Sop

Щ/Г Я

ВНИИПО Заказ 1298/41 Тираж 777 Подписное

Произв.-полигр. пр-тие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

1 130ЗВ

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения давления при эндорадиоэондировании желудочно-кишечного тракта человека. 5

Цель изобретения — уменьшение погрешности измерения давления.

На фиг.1 представлена схема датчика давления, на фиг.2 — график изменения начальной емкости структуры rep-10 маний — дисульфид германия.

Датчик состоит из германиевой пластины 1, на которую нанесена пленка

2 дисульфида германия толщиной 0,10,2S мкм, металлических контактов 3 15 и 4, металлического шарика 5, центрирующей шайбы 6, мембраны 7.

Датчик давления работает следующим образом.

Давление на мембрану 7 через ша- 20 рик 5 передается на металлический контакт 3. При этом изменяется начальная емкость структуры металл — дисульфид германия — германий (фиг.2). Наблюдаемый рост емкости структуры под

25 давлением обусловлен изменением диэлектрической проницаемости дисульфида германия. После снятия давления шарик 5 перестает давить на контакт

3 и емкость структуры принимает перво-ЗО начальное значение.

СлР

59 2

Датчик имеет коэффициент чувстви-( тельности са, = О, 2 бар

Отсутствие зазора между мембраной и ч у в с тви т ель ным эл е ме нто м у про ща е т технологический процесс сборки датчика и его настройку. В свою очередь, существенное изменение емкости структуры металл - дисульфид германия германий от величины приложенного давления позволяет значительно расширить изменение частоты автогенератора радиокапсулы, а, следовательно, уменьшить погрешности количественного определения истинного значения давления.

Формула из о бр е те ния

Датчик давления, содержаший корпус с мембраной, внутри ко торо го установлены полупроводниковый чувствительный элемент с нанесенными на его поверхности электродами и концентратор в виде шарика, контактирующего с чувствительным элементом и мембраной по ее центру, отличающийся тем, что, с целью уменьшения погрешности измерения давления, в нем чувствительный элемент выполнен в виде структуры германий — дисульфид германия.