Устройство для электростатического отклонения пучка заряженных частиц

 

Изобретение относится к корпускулярно-лучевой технике, в частности отклонению пучков заряженных частиц, например электронов и ионов, и может быть использовано в масс-спектро метрах, электронных микроскопах, осциллографах. Цель - упрощение устройства и снижение энергопотребления за счет снижения требований к параметрам схемы питания. Устройство для электростатического отклонения пучка заряженных частиц содержит отклоняющие пластины (ОП) 1, усилитель 2, резистор 3. Электрическая емкость ОП 1 вместе с усилителем 2 и резистором 3 образует аналоговый интегратор. 2 ил. с (Л 00 х о:

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (19) (11) (51) 4 Н 01 Д 3/30

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н ASTOPGHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ (2 I ) 368 7 709/2 4-21 (22) 04.01.84 (46) 15. 05.87. Бюл, М 18 (75) А.Н.Рапопорт (53) 62!.385.832(088.8) ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (56) Шкунов В.Д., Семеник Г.И. Широкополосные осциллографические труб.ки и их применение. M.: Энергия, 1976, с. 8-20.

Чех И. Осциллографы в измерительной технике, M.-Л.: Энергия, 1965, с. 39. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОГО ОТКЛОНЕНИЯ ПУЧКА ЗАРЯЖЕННЫХ

ЧАСТИЦ (57) Изобретение относится к корпускулярно-лучевой технике, в частности отклонению пучков заряженных частиц, например электронов и ионов, и может быть использовано в масс-спектро метрах, электронных микроскопах, осциллографах, Цель — упрощение устройства и снижение энергопотребления за счет снижения требований к параметрам схемы питания. Устройство для электростатического отклонения пучка заряженных частиц содержит отклоняющие пластины (ОП) 1, усилитель 2, резистор 3. Электрическая емкость ОП 1 вместе с усилителем 2 и резистором 3 образует аналоговый интегратор. 2 ил.

1310921

Изобретение относится к корпускулярно-лучевой технике, в частности отклонению пучков заряженных частиц, например электронов и ионов, и может быть использовано в масс-спектрометрах, электронных микроскопах, осциллографах и других устройствах.

Цель изобретения — упрощение устройства и снижение энергопотребления за счет снижения требований к па- 10 раметрам схемы питания.

На фиг.1 показана схема устройства; на фиг.2 — эпюры сигналов.

Устройство содержит (фиг.1) откло. няющие электроды 1; например, в виде пластин, одна из которых подключена к выходу усилителя 2, вторая — к инвертирующему входу усилителя 2 и первому выводу резистора 3 ° Второй вывод 4 резистора 3 является входом устройства. Таким образом, электрическая емкость отклоняющих пластин 1 вместе с усилителем 2 и резистором

3 образует аналоговый интегратор.

На фиг .2 показана эпвра 5 входно25

ro сигнала и эпвра 6 напряжения на . выходе.

Устройство работает следующим образом.

Вследствие большого коэффициента усиления по напряжению инвертирующий вход усилителя 2 находится под потенциалом земли, а ток заряда электрического конденсатора, образованного отклоняющими пластинами 1, практи- 35 чески равен току, протекающему через резистор 3, и, следовательно, пропорционален входному напряжению. Поэтому напряжение на отклоняющих пластинах 1 равно интегралу от напряже- 40 ния, приложенного к входу устройства. При подаче на вход устройства постоянного напряжения на отклоняющих пластинах 1 напряжение изменяется по линейному закону (фиг,2). При 45 синусоидальном входном сигнале на отклоняющих пластинах I косинусоидальный сигнал.

Для реализации линейного отклонения эа время 0,1 мкс при максимальном напряжении на отклоняющих пластинах 200 В, входном сигнале 1 В, электрической емкости отклоняющих пластин 1, равной 10 пФ, резистор 3 должен иметь сопротивление 50 Ом. Таким образом, если позволяют частотные свойства примененного усилителя

2, легко реализуются скоростные отклонения пучка при малых энергетических и апнаратурных затратах.

Энергетические и аппаратурные затраты снижаются эа счет введения частотозависимой отрицательной обратной связи, элементом которой служит емкость отклоняющих пластин. При этом от усилителя не требуется высокой линейности и он может быть упрощен при сохранении быстродействия. Упрощается также задающий генератор, поскольку усилитель, работающий в режиме интегратора при линейном отклонении пучка, управляется прямоугольным импульсом.

Формула изобр.етения

Устройство для электростатического отклонения пучка заряженных частиц, содержащее усилитель и отклоняющие электроды, один из которых соединен с выходом усипителя, о т— л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью упрощения устройства и снижения энергопотребления, оно снабжено резистором, один вывод которого соединен с вторым отклоняющим электродом, а другой вывод является входом устройства, при этом вход усилителя соединен с вторым отклоняющим электродом.

131 0921

Составитель В. Гаврюшин

Редактор М.Петрова Техред М.Ходанич Корректор А.Тяско

Заказ 1898/50 Тираж б99 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г.Ужгород, ул.Проектная, 4