Устройство для масштабирования изображения в электронном микроскопе

 

Изобретение относится к области электронно-микроскопического анализа . Цель - расьчирение функциональных возможностей устройства для масштабирования изображения в электронном микроскопе и сокращение времени измерений, достигаемое за счет фиксации на изображении двух его точек и возможности относительных изменений между ними. Устройство имеет экранирующую иглу (ЭЙ) 3, закрепленную на кронштейне вала (В) 4, и ЭЙ 5, жестко закрепленную на кронштейне В 6, размер енного внутри выполненного полым В 4 соосно ему. В 4 и 6 имеют хвостовые элементы 9, 10, которые могут быть соединены с механизмами перемещения ЭЙ 3,5. Датчики положения ЭЙ 3.5 выполнены в виде емкостных преобразователей 11, 12, обкладки которых расположены на поверхностях В 4 и 6. ЭЙ 3 и 5 имеют об1ций вычислительный блок, электрическая схема которого приведена в описании изобретения.. 3 з.п. ф-лы, 2 ил. б сл 10 JT / №Гу у.1. // // ;/ 72 13 /

C0IO3 СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛ ИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (51 1)4 Н 01 J 37/295

Г фи»

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

Il0 ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21 ) 4009036/24-21 (22) 07. 01 . 86 (46) 15:. 05. 87. Бюл. N - 18 (71) Всесоюзный научно-исследовательский институт молекулярной биологии (72) В.M.Îíèùåíêo (53) 621.385.833(088.8) (56) Практические методы в электронной микроскопии/ Под ред. М.Глоэра.

Л.: Машиностроение, 1980, с. 205.

Патент Англии Ф 2117966, кл. Н 01 3 37/295, опублик. 1983. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ МАСШТАБИРОВАНИЯ

ИЗОБРАЖЕНИЯ В ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ (57) Изобретение относится к области электронно-микроскопического анализа. Цель — расп|ирение функциональных возможностей устройства для масштабирования изображения в элек„„SU„, 1 10922 А1 тронном микроскопе и сокращение времени измерений, достигаемое за счет фиксации на изображении двух его точек и возможности относительных изменений между ними. Устройство имеет экранирующую иглу (ЭИ) 3, закрепленную на кронштейне вала (В) 4, и ЭИ

5, жестко закрепленную на кронштейне В 6, размещенного внутри выполненного полым В 4 соосно ему. В 4 и 6 имеют хвостовые элементы 9, 10, которые могут быть соединены с механизмами перемещения ЭИ 3,5. Датчики положения ЭИ 3.5 выполнены в виде емкостных преобразователей 11, 12, обкладки которых расположены на поверхностях В 4 и 6. ЭИ 3 и 5 имеют общий вычислительный блок, электрическая схема которого приведена в описании изобретения.. 3 з.п. ф-лы, 2 ил.

131092

Изобретение относится к электронно-микроскопическому анализу и может быть использовано для обработки информации об объектах исследования по изображению, полученному с помощью, например, просвечивающего электронного микроскопа.

Цель изобретения — расширение функциональных возможностей и сокращение времени измерений, достигае- 10 мое за счет фиксации на изображении двух его точек и возможности относительных измерений между ними.

На фиг. 1 показана схема устрой— ства для масштабирования изображения; 15 на фиг. 2 — структурная схема вычислительного блока для обработки результатов измерений.

В колонне 1 электронного микроскопа (фиг. 1) над люминесцентным 20 экраном 2 расположена первая экранирующая тенеобразующая игла 3, жестко закрепленная на кронштейне полого вала 4, и вторая экранирующая игла 5, жестко закрепленная на кронштейне вала б, соосно расположенного внутри полого вала 4. Оба вала 4 и 6 находятся в отверстии стенки колонны

1 электронного микроскопа. Тороидальное резиновое уплотнительное кольцо 30

7 расположено между поверхностью отверстия в стенке колонны 1 и наружной поверхностью полого вала 4, а уплотнительное кольцо 8 расположено между внутренней поверхностью полого вала

4 и поверхностью вала 6. Валы 4 и б имеют хвостовые элементы соответственно 9 и 10, которые могут быть соединены с механизмами перемещения или снабжены ручками управления. 1"ежду полым валом 4 и валом б расположены обкладки первого емкостного преобразователя 11 продольного смещения валов и обкладки второго емкостного преобразователя 12 углового смещения валов. На полом валу 4 и на обойме

13, жестко закрепленной на стенке колонны 1, расположены обкладки третьего корректирующего преобразователя

14, Под люминесцентным экраном 2 расположен фотоноситель 15, над которым находится зеркало 16, проецирующее цифровую информацию с второго индикатора 17 (фиг ° 2).

Вычислительный блок содержит первый 18,. второй 19 и третий 20 аналого-цифровые преобразователи (АЦП), соединенные с соответствующими емкостными преобразователями 11, 12

2 2 и 14 ° Выход АЦП 18 через квадратор

21 соединен с первым входом сумматора 22, Выходы АЦП !9 и 20 соединены с. входами второго умножителя 23, выход которого через второй квадратор

24 соединен с вторым входом сумматора 22. Выход сумматора 22 через блок

25 извлечения квадратного корня соединен с первым входом первого умножителя 26, второй вход которого подсоединен к вьгходу блока 27 множителя кратности увеличения электронного микроскопа. Выход первого умножителя

26 параллельно соединен с цифровыми индикаторами. Первый индикатор 28 расположен в стойке вьгчислительного блока, а второй индикатор 17 — в фотокамере электронного микроскопа.

Разрешающий вход второго индикатора

17 соединен с блоком )9 управления фотосъемкой электронного микроскопа.

Устройство работает следующим об" разом.

Электронный поток экранируется двумя металлическими иглами 3 и 5 над люминесцентным экраном 2. В процессе контроля изменяют расстояние между концами экранирующих игл пропорционально размерам между заданными точками объекта на изображении. Электрический сигнал с преобразователя 11 поступает на вход первого АЩ1 18, где преобразуется в цифровую величину, пропорциональную продольному смещению игл по координате Х, и далее возводится в квадрат в первом квадраторе 21, после чего поступает на первый вход сумматора 22. Электрический сигнал с преобразователя 12 поступает на вход второго АЦП 19, где преобразуется в цифровую величину, пропорциональную угловому взаимному положению игл 3 и 5 по координате У, после чего поступает на один из входов второго умножителя 23. На другой вход этого умножителя поступает цифровой сигнал коррекции с третьего

АЦП 20. Электрический сигнал коррекции поступает на АЦП 20 с преобразователя 14 и определяется углом наклона первой иглы 3 относительно плоскости люминесцентного экрана 2.

На выходе второго умножителя 23 формируется цифровая величина, пропорциональная угловому положению игл

3 и 5 и величине угла их наклона относительно экрана 2. Цифровой сигнал с второго умножителя 23 возводится в квадрат во втором квадраторе 24 и

1310922 поступает на второй вход сумматора

22. В блоке 25 происходит извлечение квадратного корня из суммы квадратов и полученная величина поступает на вход первого умножителя 26, на второй вход которого поступает мно— житель кратности увеличения электронного микроскопа с блока ?7. С выхода первого умножителя 26 цифровая величина, равная расстоянию между 10 концами теней от игл 3 и 5 на изображении, передается на схемы цифровых индикаторов 28 и 17. E момент экспозиции с блока 29 управления фото— съемкой поступает сигнал, разрепаю — 15 щий включение цифрового индикатора

17, и его высвечиваемые цифры через зеркало 16 проецируются на фотоно— ситель 15 совместно с тенями от игл

3 и 5, Цифровой индикатор 28 предна- 2р значен для визуального контроля за величиной расстояния между концами теней от игл на люминесцентном экране.

25 изобретения

Формул а

1. Устройство для масптабирования изображения в электронном микроскопе, содержащее экранирующую иглу, 3р установленную с возможностью пространственногo перемещения относительно корпуса электронного микроскопа между проекционной системой и люминесцентным экраном и закрепленную на кронштейне вала механизма перемещения, а также датчик положения иглы, соединенный с вычислительным блоком, снабженным индикатором, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью расширения функциональных возможностей и сокращения времени измерений, оно снабжено дополнительной подвижной экранирующей иглой с независимым механизмом перемещения и датчиком положения, а вычислительный блок выполнен общим для обеих игл.

2. Устройство по п. 1, о т л ич а ю щ е е с я тем, что вал механизма перемещения одной иэ игл выполнен полью, а вал механизма перемещения другой иглы размещен внутри и соосно

1 с валом механизма перемещения первой иглы, при этом датчики положения игл выполнены в виде емкостных преобразователей, обкладки которых размещены на обращенных друг к другу поверхностях валов механизмов перемещения.

3. Устройство по и. 2, о т л ич а ю щ е е с я тем, что оно снабжено третьим корректирующим емкостным преобразователем, одна из обкладок которого размещена на внешней поверхности полого вала механизма перемещения первой иглы, а вторая обкладка размещена на элементах корпуса электронного микроскопа.

4. Устройство по п. 3, о т л и ч а и щ е е с я тем, что вычислительный блок содержит первый, второй и третий аналого-цифровые преобразователи, соединенные с соответствующими емкостными преобразователями, последовательно соедйненные с первым аналоro-цифровым преобразователем первый квадратор, сумматор, блок извлечения квадратного корня и первый умножитель, последовательно соединенные с третьим аналого-цифровым преобразователем второй умножитель и второй квадратор, а также блок множителя кратности увеличения, при этом выход второго аналого-цифрового пре- образователя соединен с вторым входом второго умножителя, выход второго квадратора соединен с вторым входом сумматора, выход блока множителя кратности увеличения соединен с вторым входом первого умножителя, выход которого соединен с входом индикатора.

131 0922

Составитель В.Гаврюшин

Редактор М.Петрова Техред N.Ходанич Корректор М.Шарохин

Тираж 699 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 1898/50

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4