Электростатическая система отклонения
Изобретение относится к злектронной оптике, в частности к электронно-лучевыр/ приборам, и может быть использовано для разработки систем откгюнения пучков заряженных частиц, З.пектростзтическая система отклонения (ЭСО) содержат отклоняющие. Изобретение относится к электронной оптике, ,-; частности к электронно-лучевым приборам, и может оыть использовано для разрзбо ки систем отклонения пучков заряженных частиц. Целью изобретения является уменьшение габаритов и металлоемкости системы отклонения за счет уменьшения размеров установоч ных злементов при сохранеким точности сборки. На фиг,1 показана система отклонения, продольный разрез, на фиг,2 - то же, поперечный разрез; на фиг,3 и 4 - отклонйющая пластина, соответственно разрез и.вид по оси. Система отклонения (фиг, 1,2) содержит отклоняющие пластины 1 с плоск ми держателями 2, сцентрированными изоляционными стержнями 3, основание 4, изолирующие шаййы 5, прижимное кольцо 8, крепежные .7, пластины (ОП) 1 с плоскими держателями 2, сцентрированными изоляционными стержнями 3, основание 4, изолирующие шайбы 5. Каждая ОП 1 состоит из полос, расположенных по общей, например цилиндрической , поверхности параллельно образующей цилиндра, установленных во внутренней поверхности секторов кругового кольца, каждый из которых имеет два центрирующих отверстия под стержни 3 и отверстия для винтов 7, при зтом секторы размещены попарно в одной плоскости для одной пары ОП 1, повернутых относительно нее на 90°. Это позволяет уменьшить габариты и металлоемкость ЭСО за счет уменьшен1 1я размеров в 1.7-2 раза по высоте. 4 ил. Каждая отклоняющая пластина 1 (фиг.З Vi 4) состоит из полос 8, расположенных по общей, например цилиндрической, поверхности параллельно образующей цилиндра, установленных во внутренней поверхности секторов 9. кругового кольца. Сектор имеет два центрирующих отверстия 10 под стержни 3 и отверстия 11 для прохода винтов 7. Секторы попарно размещены в одной плоскости для одной пары пластин и в другой плоскости - для другой пары пластин, повернутых относительно первых на 90°. В сборе стержни 3 центрируют смежные концы секторов так, что полосы одной пластины, вложенные .между полосами, составляющими другие пластины, располагаются по одной общей поверхности. При этом винты 7 через прижимное кольцо 6 и дистанционные изолирующие шайбы 5 надежно фиксируют систему в собранном виде . CJ ю со о о
союз советских
СОЦ!ЛАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК
ГосудА ствеHHblй комитет по ИЗОБРЕТЕHMRVi и ОТКРЫТИЯМ П" И КИТ СССР . !ЛИ А -!!у !Е ИЗС БРЕТЕНИЯ i ." l !! !39800,7/2 (22 25.11.85 (72) Г,A. Якушев (53) 621.385(088,8) (56, Ав орска - свидетельства СССР N 4 04Рт .,- !- и,! Автааскае ic I!pB TBllücTÂo СССР К. 915 2::, кл. !- 01 "9/74, 1980. (54,.- :,и ЕКТР." ".Т" .у1ЧЕСКАЯ СИСТЕМА О Т К "! О!-! Е Н I! ;-l ,57) Изобретение относи ится к электронной оптике в часгнас!и к электронна-лучевым i IpI i5o!iBM, и Moi :B i быть использовано для разработки систем отклонения пучков эаряжЕННЫХ ЧаСГИЦ. ЗГ!ЕКТРОСтату!ЧЕСКаЯ СИС-BMB отклоне ия (ЗСО, сo",åðæèò отклоняющие Изабоетение а;HocllTca к электронной оптике, з частности к электронно-лучевым приборам. и мажет быть использована для разрази тки слстем ат iloHBHI пучксв заряженны"„частиц. Цель!а !лзобретения является уменьшение габар ITQB и металлаемкости системы отклонения за счет уменьшения размеров устанава ных эnB BHToe при сохранении точности сборки. На флг.": показана слстема отклонения, продольный разрез; на фиг.2 — то же, гюперечный раЗрез; HB фиг.3 л 4 — отклоняющая пластина, соответственна разрез и вид па oc v,. С IcTBvia отклонения (фиг,1,2} содержит о гкланяющие пластины 1 с пласклми держателям!л 2, сцентрираванным!л изоляционными стержнями 3, основание 4, изолирующие шайбь! 5, прижимное ко!!ьцо 6, крепежные ви,! ! !;7 „„. Ы „„1321306 À1 пластины (ОП) 1 с плоскими держателями 2, сцен- рираванными изоляционными стержнями 3, основание 4, изолирующие шайбы 5. Каждая ОП 1 состоит иэ полос, располо>кенных па общей, например цилиндрической, поверхности параллельно образующей цилиндра, установленных ва внутренней поверхности секторов кругового кольца, каждый из которых имеет два центрирующих отверстия пад стержни 3 и отверстия для винтов 7, при этом секторы размещены попарно в одной плоскости для одной пары ОП 1. повернутых относительно нее на 90 . Это позволяет уменьшить габариты и металлоемкость ЭСО за счет уменьшения размеров в 1,7 — 2 раза по высоте. 4 ил, -Каждая отклоняющая пластина 1 (фиг.3 и 4) -остоит из полос 8, расположенных по общей, например цилиндоической, поверхности параллельно образующей цилиндра, установленных во внутренней поверхности секторов 9 кругового кольца. Сектор имеет два центрирующих отверстия 10 под стержни 3 и отверстия 11 для прохода винтов 7. Секторы попарно размещены в одной плоскости для одной пары пластин и в другой плоскости — для другой пары пластин, повернутых относительно первых на 90, 8 сборе стержни 3 центрируют смежные концы секторов так, что полосы одной пластины, вложенные между полосами. составляющими другие пластины, располагаются по одной общей поверхности. При этом винты 7 через прижимное кольцо 6 и дистанционные изолирующие шайбы 5 надежно фиксируют систему в собранном виде 1321306 4„ В атой конструкции высота пакета «Вкторов 13 1,7 — 2 раза ниже по сpBBHBHMî с известным техническим решением. Это позволяет, например, вплотную ус- 5 танавливать такие отклоняющие системы к выходному Отверстию кони" вских зкрано встроеннух.злектронных пуше.. Ожесп: —:крометров с анализаторами гипа цилиндрическое зеркало. Сокращается расстояние О.:. ".Г объективной линзы дс о 1ьекта исследования; ул /чшается фокусиро вка зл Вктрон ного пучка, повышается разрешеiп е сг(ектрометра, i5 Констаукция отклоняющей системе( имеет меньшие габариты, прос»:.;: „- 4=-готов лении, не требует сложной юс1иров.(и. Формула изг бретения Электростатичес(ая система отклонения, содержащая отклоняющие пластины, выполненные в виде ряда полос, располоЖ8ННЫХ ПО КОНИЧ8СКОй ИЛИ ЦИЛИНДРИЧBСКОЙ поверхности параллельно образующих и уст&! овленных по BH рен ней noBepxH0cTM плоских держателей, Ориентированных перпен,цикулярно (1родольной GcN системы и за Фиксированных м(-.,х(ду собой через изолирующие айовы центрирующими стержнями. размещенными = Отверстиях деожателей Отл ича ю щаг (,я Т8М что с целью , меньшения (аг1аритос . и металлое(и кости, д8 ржатели отклоняюгдих пластин выполнены в виде се (торов -:r óãoee(à кольца и для каждой пары про гиво(10лож .-(ь х г ластин расположеи Ы В ОДНой П ЛОС. ;BC TK, 1321306 Составитеяь H.Ãðèãîðüåâà Редактор ТЯов;карева Техред М.Моргентал Корректор Л.Бескид Заказ 4640 Тираж 299 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбина "Патент",т. Ужгород, ул.Гагарина, 101
