Диффузионный насос

 

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет снизить энергетические затраты и повысить стабильность работы насоса. Электронагреватель 6 размещен в экранирующем кожухе, выполненном в виде вакуумноплотной рубашки 7 с установленной в ней герметичной перемычкой 8. Последняя отделяет полость рубашки 7 от полости водяной рубашки 3. Вакуумпровод 9 рубашки 7 соединяет через фланец 5 ее полость с выпускным патрубком 4. Стенка рубашек 7 и 3 выполнена задало. В результате улучшается теплоизоляция корпуса 1 от внешней среды и у1-1еньшаются тепловые потери от нагревателя 6 и прогреваемой нижней части корпуса в окружающую среду, повьшгается стабильность работы насоса. 1 ил. (Л

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51) 4 F 04 F 9/02

i б

f

»! б с»

\ б

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ б»

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3992436/25-06 (22) 20,12.85 (46) 15.08.87. Бюл.Р 30 (71) Институт металлофизики АН УССР (72) А.Д.Соловьев, П.Г.Яковенко, В.Ф.Мазанко и С.Я.Харитонский (53) 621.527.8(088.8) (56) Цейтлин А.Б. Пароструйные ваку— умные насосы.М.-Л.: Энергия, 1965, с.254-256. (54) ДИФФУЗИОННЫЙ НАСОС (57) Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет снизить энергетические затраты и повысить стабильность работы насоса. ЭлектронаÄÄSUÄÄ 1330353 А 1 греватель 6 размещен в экранирующем кожухе, выполненном в виде вакуумноплотной рубашки 7 с установленной в ней герметичной перемычкой 8. Последняя отделяет полость рубашки 7 от полости водяной рубашки 3. Вакуумпровод 9 рубашки 7 соединяет через фланец 5 ее полость с выпускным патрубком 4. Стенка рубашек 7 и 3 выполнена зацело. В результате улучшается теплоизоляция корпуса 1 от внешней срецы и уменьшаются тепловые потери от нагревателя 6 и прогреваемой нижней части корпуса в окружающую среду, повышается стабильность работы насоса. 1 ил.

1 :3,П .5 ) p 0)3 f)0дв(! 3 >» < »O I!0(3 !-": )(> f

). с. T) M i ), З H Р 5 )<)(3 (.° .." 4 <, >>) Я t >7 Å (< K т ропип| яви(.<а ) . < f pi.

6 f)Й l(T>F!> Ht„!QC r

IIpH:".ОМОпц» )!)J )j>! 1 5 -, )3(Й ))я, )(апра()ляюще: .(Ггокз

П>3 С! С :)НОМ

«5)JHC Т<

)(ягревяГ) К у(тяновлен-! с-. iipni pc— ие ll, снаблядкой 10, !

»:,гмое разъем)и<е у<И;.>тне:i ж« )--;О Е !",(> ч 1 IJ! H»> = CIC 3»З; )РО,(<1(i0c )ечивяет иядежн,-)с Вакуум»(ую (;;и<))(()евое уплот (ен-,е: ре,цназначенс

; Jl!: замены Ttc влек ) (>>ссв<вгревателе 6

t,(," ЫМ В ЭК)ЗЯ;П 3")7<>)ГС:М 3<0(< ХС И ХОНГЯ:-")>РУНЗ(П(1М С ДКЛЩ .

Ч Я t<) Щ;- ",, (. Я ТЕМ„ЧТО, С

«,,9 (F»>I»<с> )> . =;I (> t :"> )Ч > (K) >;: T»1.> ч *,<>)- () (> P<>f )ыс(КС > !3 Г (() .(! >(., », (>С )30—

-< .",; От г(олсс . "3..;яио Руб» и<:, )! 3 С)>)сея Век >))Л! ) >: ВОДОЕМ,:" ЕД)п)ЯЮ

)))!»и )ерез ф:)я::.ц и:з 0<.->), вакуумно— г<0 T 1»ОЙ руба. и(: и с j>t, ")уск! ъсм! лат<- О— >

Fc0! . c 7(3",IKЯ ВЯ к j1j )i(.t!,;* (30»! = ВОДЯ ()Ой рубашек вып:>.-.: tl;T =") cc —. -..

СС)<:(,)В; ЕЛЬ вЂ”,",.>, Hв !. ИПКс(H!

Редактор Э.Слиган (ехред В, Каца ..

Заказ 3563/37

Т(.(рс(1)(57/Ф Подгп-(с)3(з е

ВНИИПИ Государстве -))чс>! О комитс:;. СССР пс делам из о бр е 1 = . ";t ткрытий

113035, <)ос)к )a, . к-35) Ряу .CKяя няб. ) Г»,, 5

Произвоцс твенв0 полиграфическэе -p: f;ÐHH" « ) I .,Уж< Opc»ðf-., Г»

Изобретение относится к вакуумной технике ) а именнО к кОВ<01 p)(ф фузионных насосов.

Целью изобретения являетс i сг(иже— ние энергетическ)3х затрат и fio))stttteние стабильности работы.

На чертеже схематически и<)обра>(<е(! диффузионный насос.

Диффузионный насос содержи .: вер Гикальный корпус 1 с днищем 2„ водяну ; рубашку 3, охватывающу(п верхнюю охлаждаемую часть корпуса и нижнюю .-<асть, снабженную выпускным патрубком (! с фланцем 5 и электронагренате.IEMI э) размещенным в экранирующем кожухе,, выполненном в виде вакуумно-плотной рубашки 7 с установленной в ией герметичной перемычкой 8, отделяющей ее полость от полости водяной рубашки зб

3, и снабженным вакуум-проно JOMi 3, соединяющим через фланец полость вакуумно-плотной рубашки 7 с ньгпускным пагрубком 4. Стенка Вакуумноплотной и Водяной рубап(ек ныполнена .>. эацело. Кроме того, н нижней части вакуумно-плотной рубашки 7 расположено прогреваемое., разъемное, с мета.-:— лической прокладкой !0 флянц все уплотнение ll, где на съемном гарм:= T зирующем фланце !2 установлен(! Вакуум= ные электропроводы !3 и при помоши направляющего пгтокa 1(3 и Г(ру:кин)>.* 15 подвижно закреплен электронягэеватель 6, контактир >ющий с понеэхнoñ> тью днища 2.

Диффузионный насос работа=-т слену ющим образом.

Перед началом работы н г(ог)ость, заключенную между водяной рубашкой 3 и верхней частью корпуса 1, ". пятрубка 23 откачивают вн,тре)(ний объем вертикального корпуса !. Одвэвреме()но с этим через вакуум-провед 9 ве дется откачка внутренней вяк уусмной

ПОЛОСТИ ) 3 аКЛЮЧ ЕЕ(НОЙ М< ЖД, <3 Н>КН <3 F<

ЧаСтЬЮ КОРПУСа И -..7TC!y»(-П.ГОТНОЙ рубашксй 7. После и едвяритепьной От> качки системы через Ваэ<уумнь ". =Лек-.—! ()1 FIOCTT>, »C, )t"ЕТИЗ:tp)ющая РЯЗЛ< ЛИ теJI< ff;(F:. иерем)>гчкя 8 разд ляет H(Tóò— ренний Объем, Ох))я<с.яе )ъ! 3 водой н ,",С)РХ)(ЕЙ ОХЛЯ>с,ЯЕМО - ! Я С ):! К 0P<1 >3 С Я I ! ) " в «3 к У У и н О Й 0 . I 0 (.. т - 3 H 3 7< н е Й I I P О г P (..

ВЯ<)мой час ти. Прогрев,-:-емэе разъемное

It;!: (>СВЯ "C ()>НС . 0 Э)!С! 3- 31 Я. H СЛУЧЯЕ ВЫ

)«> (<3 ЕГО ИЗ С -РОЯ.

ТЯки(! Обрв 3<зм, 3 <Я -(и-. лько у.(учша<> ) < я ТЕ((ЛИ)(!>(! !. 1 ци -::" :О ЗП

<»(.1(C. рс:, (i>! И у! <> IF>ff)G>< 7 я Г()ПЛОВ)>)Е ПО с р(-. О ()(я г))с > 3(1 Геля 6 и IpOT pp)3 аемой !

)t!;:кней -(асти <о рпу:.:; 1 В окружающую р< ду, (то харя K. Ге 3-(зуется с. и><ением ,;ti рг озятря .. 0,3F!0(3;)=t eFI (о повышаетс-.jÿáè I:,Hoñc.-. p=-iзты диффузионногс! > Р >! с J с -= 3 ) 3 P -"> ." Е И Я чиффузио)lt-).(f. на=с).-, (зле..>; »ий

)(- З-Г(<ка<1с- НК()): <ЗР:f ÓC;- -it! I(KCM, ВСДЯНУЮ

; .;<>Я<ПКУ 0"CH ; —, Вс-..)ЗЩ-,<)В C>i- РХ)гэ, OKЛЯ>(<—. ) <З)с! > (П -l 1 С . )> F О p t)у(. :i )! (Ж))Ю)С Ч с С Tf>

lt ) бжеF!Tlую выну Kli!-.>3):7сс) т рубкОм с

С 3!" ): > -(<> 71 И > Кож ЧХ ВЫ . О (()Си >> f)) T<> )) а» > 5:,» .(<> — -< (От--(<>3<

< >:l,!ii! В С У< Тtf ti (В. (C » OЙ В (С Й . Е:>МЕ ТИЧ