Система для контроля электрофотографических слоев

 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в электрофотографической промьшленности для неразрушающего контроля качества выпускаемой продукции. Цель изобретения - повышение производительности и достоверности контроля . Система сол,ержит координатньш стол 1, измерительный блок 2, первьш 3 и второй 4 координатные :электроприводы, блок 5 срав}1ения, регистр 6, первьш 7 и второй 8 цифреаналоговые преобразователи , измерительные головки 9, 11, измерительные линейки 10, 12, (ычислительное устройство 13, 14 и второй 15 концевые выключатели . Цель изобретения достигается вве лением в измерительный блок п-2 электростатических датчиков, соответсчвугачих средств обработки информации от этих датчиков, а также вычислительного устройства, управляющего перемещением объекта контроля и обработкой полученной информации. 6 ил. (Л со 4 00 оо СП 00

» г,ф„СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ ,—, 4.с- -,."= РЕСПУБЛИК

„„Я0„„1348 (»))4 < 06 F !5/46

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ :», К ABTOPGKOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4043265/24-24 (22) 24.03.86 (46) 30.!0.87. Бюл. 1)» 40 (71) Каунасский политехнический институт им. Антаняса Снечкуса и Научно-исследовательский институт электрографии (72) А.Б.Адомавичюс, В.Ч.Алабурдя, В.Ю. Гяляжявичюс, В.)0. Кубилюс, В. A.Марцинкявичюс, К.А.L àðêàóñêàñ и Л.И.Чярнис (53) 521.396 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

11 1135011, кл. Н 03 И 1/34, 1983. (54) СИСТЕпА ДЛЯ КОНТРОЛЯ ЭЛЕКТРОФОТОГРАФИЧЕСКИХ СЛОЕВ (57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в электрофотографической промьппленности для неразрушающего контроля качества выпускаемой продукции.

Пель изобретения — повышение производительности и достоверности контроля. Система содержит координатньп» стол !, измерительный блок 2, первьп» 3 и второй 4 координатные электропривод»п, бчок 5 сравнения, регистр 6, первьп» 7 и второй 8 цифроаналоговые преобразователи, измерительные головки 9, ll измерительные линейки 10, 12, вычислительное устройство 13, первь»й 14 и второй 15 концевые вь»ключатели. 1(ель изобретения достигается вве,»ением в измерительньп» блок и-2 э »ектростатических датчиков, соответс»вующих средств обработки информации от этих датчиков, а также вычислительного устройства, управляющего перемещением объекта контроля и обработкой полученной информации. 6 ил. С

)! rr>i> P r t < l1r О 1 ft(>t li I (>1 1< Il 3,

1! > If I (:: I f1 f l e lf !ir >> r 1 6( IC К t )>r >r!>O j t> 1 pi) t!)If >IP t I i >J l Il j>O! ff И t tlr> II! (ОС Гtl (it ? (>1! )>().I>f К;) IC (7 В;1 Fill!,(К;1Е—

Лir) tf;r J>, 1:111!Jf .

ItC 1> l И )ОГ>РС < >>lr>t я fi tt>1< < я (TO!!! Ifi>P

1i1fP T:) "> if > Ii < (И (>J I i ИС> (, И Ef I (<) < . I r> Ft t P J(O < — (И К< 1(ТJ>r !1>t .

11,! (>И! . 1 И i(>F>p;),ГЕ!1,1 6 !О} — С ХС Г(д !

i)> p,I„!I » (;1< ",;с и с и <: т (" t>,t; ft 1 с,>и (. 2

i P>.?; I" .,)>;1 ВН !1< Ili J Г.>! 1.1!O I O; (lI l r.>If 1 . > r>tI(i! XP Fit) >! tII Op р;>; ле}и(:; IT(i фи(. > — 6>(ок — .! POI! (. I },i;

И i (1 V l I

ХЕ>1 1 В ) О

pC> i l lr! с " l((!!11 Î J) ИТм, t "Il J) I Ti JIC }! (I>If! . 7 — 63(Ок-< хем;3 >;)с т} ей

I O))ll1 (,1 уITp(il)>(PI(H!I J. I (I)ffl .

Ift Il!l I< j)» 3! IЕI)1 ((>!! P>,>(P.II >ff >Í(I(C

>И(;1 ИС< ЛЕ;(У<- IО<1 П>(>1< "I It! IF,I !f;1

>!;3 (1 It;).>1

Г) — I E I—

1 1 О.! f O,ж E кО<>рди

II(I Т!IOI"1 r J OJI P . . P i, (. l; l Г Д С .Г 1 3 Я (И (! С Г 1 3.

2(1 ((,>Et! I ) С(713E IXO. l,l, >(i li;iI lC F3 l;< i 1 r>j>I JP i,!IIII(b!B lюЧ (Н

Обгlci !И(:1: К (.; .:(.1, I!o кc»!»i де <>т . 3)31!. L:(Я Рс;!.И: 3:11(tllt ()>!«>l t> ВХО,(,> If< Ili>J!I>

"с)1<,1!1.! Г!О,l t .> I, 3< J > l„!>>,A I>,;16О Г,ll(>!11»B в

>t »

Р < ..(и ; 1 If x ; >, i > 1 i .. J t < .: > r r i . 3 тс> 3 (; (>< Ц (О !

) P EIi I"Р ...Jr1 Р(1(и!Ое !10—

< J ÓIr>1> 1 И,;,: Jl< IX С;и i И<"ГP;1 (7 (фп(. . ), I it. Ii;l(. !t(r О)>> i t> . ; IP(i (СIЯЕТP>i .(О К<7

-кill, е > I:i(; ti .; « ., у(! pi>I.!(т(,1 3 ll >6<;. .: c > t « t. > (<;I Г. ВТОJ>bl I

;It>),,If > }(OOP ИИ;1 1 F!I T>t <: I O!l ° 13 > >1P))H— тс:((,tii lli ... T(к 2 (с(>,!с )> <,!!(и!»;(»тяпки 3 и >, ГP(< 11}t !< с кс)(О 11(71!..1) IIPРВыи 5 и

B OpO I i » 1(.?, Tp(> I I J>(fit(>, (I,I > t>,> < ) (р;31<- 75

;Н 111! я, p>t I i<(i p 6, I I(>;) Fil II! / Ef В I О ро(((3

1(H(;)j>(7,ill;i " ((> tl t fl P«О > P;3 )с> F3 >1 1 c !11((С 11 ! ((>}(я)7}1> lе 1(<>1. ) > 11" )>1> у ю 11 3 ме J)I I I (. Jl f> }f)

1 О!Ji) (31 V < 11(! Pl< У}" (<. (t >И<сt> Jl Ь}1,<1!i .11! (}t< II}c у 1 Г) F< тор. .»> Ii < Ht ри тел > ° !Iун> <>>Io}3 3(3 ку 1 1 > втору? и 3)io)>ll <1>it,!Ióþ ли! Ipll—

Ii > 1 ., 13f «!1 <(.Ill IТО Jl! 13(> t> V(Т p(> I I (Г (<О > 3 >

",ерлк(и 14 (< Вт(>pc>lt 15 ко((с шыс вык(я>—

Ч((тi . Ii; =

З5

r ОЦ< j)< ll > i(>,! 1. 1 <>; I! P(IÍ JIC .E(H>T t I P() I! С (в

c!Ор 1 ), (лок 1<3 f3f(PIIIHPI! и»мяти, 6-tок . 3 с:,<) ти, .-JI...:r .(IB и рс (11< i р 2(3, f3Xi)JJEIt>ll рс (Jtt (р 2 r, 1(с рг<ьп! 22 и }3 J <>—

p<>l1 3 (I:. ( Ill ООВ, pt и(1 р 24 3,) r l j)<) (: < }3 .

13 к;(чеi т >(Bl,l>! I< .(ительн >! o v(I ро!1ст}3;(5 исl (> I (>ус"! (>I 3131 Г:11-3 и идбор ((о,(; !с и !п(тер,it .) 1>.,Г>. ). (К .(ля < Вязи с об}жеw «ч.

1!Оplil,!11 I(и I > р(:if (3! Txo,(bt }3! (>(ис литель—

IloI o tp )><>Ис т)<(1 3 pc .>1>lи )ОВ:(иь((ири—

Мс f>Pl!I;t 1 М(V 1>1 < >(J 1><>. 1<>. К 3 ГO (3(>ГХОд

ElO ll t7i I ис 1 р, ИЛ(< t, >t >! П(3 ц);1 24 — p» ip>1 (11}>(Х

1)i(t l,ll . I) Ci>.(,l"".1lf lil t Ili((И(! (!1,!(ОГО У< TPi! lit! l) 1 и fr!1>lf<>1 (>I С 1ЕТIII I(1>ХС>Д! Гf<>JEV

:!с 1((., 6 2 /1 Г) КЛ>л)<>>1 .. 3 i i) (B<) it>i lfo — деС !I I 11 ill! It (. IC Т И 1 К И, К(> 1 () Pl lе И< ИОЛ}> .3 У к> с н Д(! >(I IP() г J);3> гл1и)>О )3<31и1 Я IP;IPк To PE(I( и< J) P tfr! К((1! ИЯ с ГC> lllf K;i И 6ЛОК;I д 11 чИКО В

11o!!я,;! Тдк ке,(ля прог рдля(ирования

1iJ3OJ(;I Jl»!If(fix С BXOJIIIOI О РЕГИСЗ РД В

o l Ic J) <3 > I(I>If VJr> II(1}(Я 1 } ньl (исJIHтP JT}> ffo го устрс й<"гвд 13. Ч(7 Вер rft?(и пятым вхоJ l, 1 .(if B! !tiff< .JTIE I C..!11>I!O I O VC f pi>l f(T B» I 3

>!It)»fJ>7 с >! J«3;» 24-х }(озмож}(ьгх ) ((ходов модуля 30 3 KAJIAIi. Это ре гистр заI1)7() (. . > ) П ф< > РЛ(И Р У(С>!!(И(1 (. И Г Н;IЛ IIP(3 РЫВД ((и я 11)711 1)О з буж7се и и и Ef !(PI!If(}f M вхО/(ным с и l ff

>ииоляр!(ые (ц((1)РО(3}(,(логов!!е преобр;3 i()B;iò JIH ) и 8 Выполнены нд микросхе:i;<х К 59411 ((1 и изве<.тных сxc }х

IflI Bi ðò1!))с>!3 1}(ия (3}((3.1!Ого}3! !х HI í»HOâ >и,(к уир;3(37(ян)!((его;3}!(31(Оговогn < игнал,(t)lip(, еляется стдрщим битом код;1

}3(,!, I;113, l(<)I o вычислиз ельным ус Tpo)fcт1

11)мс рит(пьидя головка 9 и линейка )Г) n6p;i )уют первь!й датчик перемещешш, >()мерительидя гoJIQBx

11р,и<((рите>lf но ид координ,(тном столе y< т (If;EBJil(B;fe1cn исследуемая

ftJI;3((з<и, котордя заряжает я известными способ;(ми, и;(пример, путем мед—

JIp I t fIo (продвижения oòîë èê B с плд с тиной iio,i источником коронного разряда, 13b!1iO:t»e(tHOl О В ВИДЕ ПРОВОЛОЧНОГО ЭЛЕк грвз((! ор?3 (не показан), который nocJIi> .3,(рядки илдсти}(ь! выключается.

11(мс рительный блок 2, образованный из О,цшдковых (и 1) — х датчиков электpc7< f;I (ичес ко го поля с чувствительными ..) ilc «(ef3 г;(ми в виде динамической емкости, р;}сt(îëîæåííûõ на одной линии, г!ре> И(с(.)идчен для измерения электростдт((ческого поля (и-1)-й элементарной илощ;(ди здряженного электрофото(.рдфического слоя одновременно. Разb(ppJio<. T(. зле ментдрной площадки зави(ит От рдзрешдюп(ей способности датчик». В<э избеждние светового спада потсн(цш;(д здряже(шой пластины коордии I (.tl} (й }:.ио! о p;(p>(J(;3 и измерительный (».:ок IJobtp!;å JJJ,! 13 здтемняемом пространс i ве. (:ис (cл(;3 р»6отдет следующим обра < 1, 1(>< .К) у< тдновки II;3 координатный.то.;ик .7лс ктр< !)(>тогр((фичес кой пла<(ти! 148838 ны и ее зарядки включаетгя программа, по которой осуществляется управление процессом определения дефек пи сти электрофотографического слоя обра5 ботка полученных данных и формирование картины дефектности. управляющая программа, блок-схема которой представлена на фиг. 3, состоит из пяти основных частей ° 10

В первой части программы при помощи пульта 16 управления (фиг.2) вводятся исходные данные, такие как координаты Х,, У, одной из вершин исследуемого прямоугольного сектора на поверхности электрофотографическогo слоя, длина составляюших вдоль и поперек координатного стола I ЕХ,LY, величина шага измерения DX вдоль пинии измерения, расстояние DY между соседними линиями измерения (шаг вдоль оси Y), скорость сканирования

Ч. Величина шага измерения DX вдоль линии, длина LX этой линии и координата Х, базовой вершины задаются 25 кратным дискретности следования импульсов DDX первого преобразователя перемещения. Расстояние DY между линиями, длина LY поперечной составляющей исследуемого сектора и координа — Зп та базовой вершины задаются кратными дискретности ЭВУ следования имп.гльсов второго преобразователя перемещения ° Скорость сканирования V .задается в виде порядкового номера опреде35 ленного набора скоростей, значения которых заложены в программе. Здесь электрофотографический слой orраничен фигурой ОАВС (фиг. 6).

После ввода данных по команде с пульта 16 включается вторая часть программы для установки стола 1 и измерительного блока 2 в начальное пог ложение, координаты которого принимаются за нулевые, совпадающие с нача- 45 лом координатных осей ОХ, OY. Начальное положение фиксируется при помощи конечных выключателей 14 и 15, подвижные части которых соединены с столом и соответствующей измерительной головкой. Вычислительное устройство 13 опрашивает свои четвертьп! и пятый входы и по их состоянию через биполярные цифроаналоговые преобразователи 7 и 8 включает состветствующим образом электроприводы 3 и 4. Во избежание влияния люфта механической передачи и гистерезиса характеристики конечного выключателя подвод к нулевому положению vnnp, инатного стола или измерительной головки осуществляется с одной стороны независимо от исходно го их положения отно сительно соответcтвующего конечного выключателя. Блок-схема алгоритма установки нуле во го положения по одной координате, например стола ), представлена на фиг. 4. Сначала проверяется состояние конечного выключателя 14: КВ1, если выключатель задействован, и КВ=О в противном :лучае. При КВО включается привод 3 стола для привода его к нулевому положению и циклически проверяется состояние конечного выключа— теля. При достижении нулевого положения конечньп! выключатель срабатывает, формируется сигнал KB=I, привод останавливается, а координата стола 1 в момент срабатывания в памяти вычислительного устройства 13 фиксируется равной нулю. Одновременно сбрасывается на 1 уль счетчик 22 путевых импульсов, являюцийся вторым входом вычислительного устройства 13, контролирующий перемещение стола 1. По числу импульсов, накопленных счетчиком 22 во время торможения, определяется перемешалиe торможения ТОХ = NTOX DDX, котnpoе учитывается при формировании задания для вывода столика на исходную позицию исследования. Обычно скорс сть перемещения принимается такой, чтобы путь торможения не превышал дискрета DD X, тогда NTOX = О и ТОХ=О.

Если при включении второй части программы конечньп! выключатель задействован !KB=I!, то привод стола 1 включается для перемещения его в направлении, обратном описанному. Циклически проверяется состояние конечного выключателя, и при его отключении (КВ=О 1 задается некоторое время

Т3 для продолжения перемещения стола 1 н заданнс м направлении. По истечении времени ТЗ привод координатного стола реверсируется и стол 1 начинает перемещаться в сторону нулевого положения до срабатывания конечного выключателя !КВ=I!. В этот момент привод останавливается и фиксируется нулевое положение столика. Аналогично осуществляется установка на начальное положение и фиксация нулевых координат и измерительного блока 2.

После установки стола I и измерительного блока 2 в начальное положение и фиксации нулевых координат вы! >48В )R

ЧIIС!113ТС l t 110(1 У(>ТР()1((Т130 > ((ЕРРХОДИТ доя уп,>; ):(»юг(его < .!0(3», 110< ту)113ю(((е! о на 1>хОд с<>01 в(1 <: г(3 у(<)(пе ГО Г)и(IОля рнО (О цифро ff;3 (01 oBol О преобрлзовятеля. П(3ПР»1)ЛЕНПЕ

РОB»HHII С> перемеще!(ия при 1(озиционипредел»ется битом знака, зяст;) рг)t(I! р,(ряд упр,(вля()!!(его

»It ;tt(>(((1 <

< .ЛОВЯ.

11» 110 3 Zf IIZIO r< Zrp0 B» H I tE мерительного блока 2— — КТО 1, где )Р<, орд((нятного с т(:лпкя — «()

)))ЬР, г,(P NX, S1, DDX; S1 — пуч ь, не.—

> 1 О 1(Я С ТОЛ(1 1 э(О У(.

;1,11111» к н

ЦЛ Я Ц.3 — у

> э(ПЯ КО

+ ПО:(ЯB> 1»1»Т С Я: числс> 1<"() 1

Y /Вг» ;

NXN = NX, Х, /DDX; п 6 X() L(I tI-tt, 1> ВР ! (>1 st Р,(тянон:(он((ой

Про,)н;3п(!зи()уек! процесс лозин(!Онировлния 11(> Одной координате, напримерр с I ОПI!К(1 . C(Ответ с:т ву(с)(!\!113 Г)лОК хема;(лгорит:1;1 упрлвления предстлвлен;1 fr,л фиг. 5, !,1)О!.рамм((о по имеющимся д;(нным о >лд»иной скорости V

rr0BHlfzrnf(zfpor31»(Its(и ускорении А торможения Опрс,сел»ется путь торможения

STX стош(к;3 В регистр счетчик», связлнцого (вторым входом вычислительнс10 устp(!11< 113;1 13, аносится число . (NXN — !STУ+1), (!(е 1)STX=STX.DDX, и таким оГ р;3.-)ом про гZ!;3«t«rrpyezcsi путь, по прохождец!и которого должно нлчинятьсч 7op"<0,(.е>31<(! Стоп» 1. Вкпюч(>ется приво,.(с10.!» 1, с.корость кс>торого прогp;3(«!(In у 3е<»t«t(B;leтся в (О(тветствии с 3,1,(;(н!!11!! у(корецием р(1 3 ганя >) „, Р;<Вп(км УС КОР» Ii!11> ТОРМС>жЕПИ» Л .. ИЯправление пс ремни;еш(я определяется

-!f1(3 f(o! (3((р 3 r.;« t (It» NX1)) . 1)pzf 1);1 3 ГОне ()5 приве!1» ((((fist((((pск(1 1;роверяе гся СÎ(. гоя!Пге B(1> 1 (S с чет (ик» 22, Hcl (. Ч(э! IЦ Я! В Х();(К() 1 () Э () ГО 110(. ТУП ЛЮТ ИМ к вьп)олпеt(ttt(третl,åй >l;l(ти прО(.рлммы, O(У(ЯЕ< ТВЛ»(МЩ<(й Bl <В<>Ц С Т<)ЛЯ И И 3!!ЕрительпогО блок» 2 1313 исходнун) пози(> ц(31 lt(след013»1311». При этом вычислител! Itnc <;стройс rBO 1«поочере,(frn выПОлняет hyrtl(r(zftf рс (у.<»r rnp;3 положения для < истемы Ho»lrlrltolrlrpOB;1(rHsr с толя 1, состоящего и 3 биполяр ого цифроянл- f g логоного 1реoáp;lзовлтеля 7, -лектроItp11130!l, 3 «, измеритель!(ой гotloBKH 9 и линейки 1(), и для системы позиционир< .вяния измерите:!ьrt<>r О блок» 2, сос О»щс 11 и 3 6)11110 tlи р(IО 1 o г(ифролняло гО 130 1 (го Ilp(еобрязо(»те.пя В, влек гропри(30дл 4, измерительной г,)ловки 11 и линейки 12. «»длния ня позиционирование фо );.!ируют ся B ниде чис лонь(х коДОB <:O(Т <313!!»1<>!!11(к П1 ) МЛ;1ДШИХ Р 1 ЗРЯ э - - - >(1

IIóë(<:t>t пути с измерительной гoJloBKH 9, < ледую()(ие с !(и<:кретностью DDX. Po

Око II»;3 .. ии рл з гоня привод 3 переходит в режим постоянной скорости, т. е. задлние ня входе преобразователя 7 ocTлет< я постoÿf(íûì до тех пор, пока стол 1 проходит путь, равный (NXN

NSX)DDX, а оставшаяся часть заданного перемещения DSX становится равной пути торможения STX = NSTX ° DDX.

В этот момент счетчик 22 переполняется, формирует сигнал прерывания

)Б, = 1, по которому начин»ется тормО ение стола путем программного уме!(ьшения задания ня входе преобра.(он»теля 7 из условия обеспечения зад;31(rtoro ускорения. Одновременно с переходом в режим торможения B счетчик 22 заносится число NSTX + 1 и тяк((м образом программируется путь торможения STX = NSTX DDX. При прох<эждении этого пути счетчик 22 снова переполняется, формирует сигнал ripeрыв»ния LS1= 1, по которому снимается у!!р;и).!ение с входа преобразователя 7, и прив<)д Останавливается. Траектория торможения подобрана такой, что к

11("сту останов» стол ) подходит с поо го Я(и(ой не большой OKopOc Tbfo подобранной из расчета, чтобы перемещение с тоника rto еле снятия управле ыия не прея!гшлло Одного дискрета DDX. В том случле, когда программно определенное цифровое значение пути торможения

NSTX NXN/2, принимается ИЯТХ=)()ХИ/2, привод не успевает разогнаться до устлновле((ной скорости и команда на торможение формируется по прерыванию счетчика, LS = !. Привод перемещения измерительного блока 2 при выводе его ня исходную позицию управляется анало ги((ным Oпо со бом.

После выполнения третьей части прогp»MMbl измерительный блок находите» О годвцнутым от поперечной составлякщей исследуемого сектора на расстояние SP, причем крайний датчик и мерительного блока 2 находится на зинни, совпадающей с продольной сос— т IBrt»t(>tl(eit исследуемого сектора электрофотогряфического слоя. Остальные и — 2 датчика измерительного блока 2 сд>31«путы относительно друг друга по линии, параллельной поперечной сост;(вл»1)шей сегтора ня расстояние DD, крлтное минимальному расстоянию ЭУ ме ду лиш!»мц (OH. фиг. Ь). Система н.lõ0>(ит с:Я Б и(х() >(ПО!! пО 3HIIHH ДлЯ Нс! 34RR hR следов»нпя дефектное Ги 1»д»нного сек торя электрофото гр»фиче с ко го слоя .

При выполнении четвертой ч»сти программы вычислительное устройст5 но 13 упрянляет процессом сканирования, осуществляет сбор информ;1ции о дефектности исследуемого слоя и Chopмирует соотнетствующий массив данных.

Сканирующее днижение осуще ст вляется поочередным включением приводя 3 координатного стола 1 и приводы 4 измерительного блока 2 путем формирон»ния на входах первого и второго биполярных цифро»налоговых преобразователей соответствующих сигналов управления.

Оба привода работают в режиме позиционирования, функцию регуляторон положения для обоих принодон ньшолняет вычислительное устройство 13. Величи- 2О на и знак перемещения столы 1, принимая путь разгона Sр равным пути торможения S,,определяются согласно формуле LP (-1) " (LY + 2S ), где i — 1, 2,..., j — порядконьп1 номер про- 25 ходки координатного столы. После очередной проходки измерительный блок 2 перемещается на рясстояние, равное расстоянию между двумя линиями DY, а когда часть сектора между двумя 30 датчиками просканиро нана — на расстояние, равное расстоянию между К = (n-2) DD/DY+ l линиями.

Перед началом сканирования и ввода данных измерения н выделенную об35 ласть оперативной памяти записываются три слова информации: это числовые значения координат NX, NY,, базовой вершины исследуемого †секто и порядковый номер будущей проходки скаыО нирования. Характерным признаком этих слов является то, что старший разряд равен нулю. Затем в счетчик 22 записывается число М + 1 и запускается привод стола 1 на заданную скорость.

При разгоне стола и перемещения его до начала строки на счетный вход упомянутого счетчика поступает NS имP пульсов, счетчик 22 переполняется и формирует сигнал прерывания, по которому в вычислительное устройство 13 по первому входу вводится слово информации с регистра 6, записанное н данный регистр в момент поступления последнего путевого импульса с изме55 рительной головки 9. Старший и-й разряд этого слова равен единице и указывает, что данное слово относится к информации о дефектности исследуемого с.тоя, другие и-1 р,l гряды — это инфо рм»ция о к»честне информытпншгх площ»цок, няходящих1 я под cnoтнетстнующимп д»тчик»ми измерительного блока 2.

При дефектной площыдке н сooTBpTo

11 !1 н ующем р я э р я де 1 » пиш ет c я О, я и р и

11 11 к » ч е с тв е н ной — 1 . С дынного момент » счетчик 2 2 пе ре вод итс я н режим дел они я путевых им пул ьс о в, поступающих ня e r o сч ет ньп вход с измерительной голонки 9, на коэффициент р я н ный

NDX = DX / DD X, в сл ед с т ни е чего об е спечивяется зядянньп! игяг ОХ следования импульсов прерывания, с приходом которых периодически вводится в память вычислительного устройства 13 результ»т о де1!1ектности и-I информативных лшпьй с регистра 6, обновляемый с к»ждым путень1м импульсом.

После очередного вводя данных программно проверяется условие достижения конца строки: И ЕХ/DX, где Мпорядковый номер проведенного измерения вдоль информ»тинной линии слоя.

При удовлетворении данного условия измерения прекращаются, привод координатного стола 1 программно останавливается. Затем программно проверяется, проскяниронан ли заданный сектор исследуемого слоя. Сканирование эак»нчивается после завершения !.-го прохода стола 1, определяемого по вырыжению = A(DD/DY) + P. Коэффициент А — это целая часть результата деления длины поперечной составляющей сектора Б ны расстояние между первым и и-1 датчиками измерительного блока 2, получаемого в виде

1!Y/L((n-1) DD) = А + В/!. п+1) DDI

Число Р определяется из условия

B/DY при В DD;

DD/DY при В -, DD.

Если сканирование сектора не закончено, включается привод перемещения измерительного блока 2 на определенное расстояние, записывается в массив данных порядковый номер следующей проходки, изменяется значение бита знака в слове управления приводом координатного стола, привод стола запускается в обратном направле- нии и процесс повторяется описанным образом. В процессе сканирования заданного сектора исследуемого слоя, измерения и ввода данных н оператив13480 ной памяти BblMneJln pJIbnoI o у стройствя !Э образуется массив данных, состоящий иэ групп слов, в старшем разряде которых записано 1",,разделенных слонами с порядковыми номерами этих групп, в старших разрядах которых записано "О . Порядковые номера групп носят информацию об положении измерительного блока 2 во время соответствующей проходки относительно базовой координаты У, . Положение некоторого информативного слова в группе слов указывает на положение стола 1 относительно базовой координаты Х, в момент измерения, я каждый разряд в информативном слове соответствует определенному датчику измерительного блока 2. Полученный массив данных является своеобразной картиной электроьтатического поля исследуемой поверхности слоя. По наличию зарегистрированных нулей можно судить о дефектности слоя, а ио местонахождению нулевых ячеек в оперативной памяти 25 можно определить местонахождение дефекта ня слое. Однако полученный массив данных является неудобным для выводя реэультятон измерения на экран дисплея или ня печатающее устройство для визуального наблюдения.

В пятой части программы осуществляется преобрязовэние полученного массива данных в массив, удобный для чтения содержания разрядов ячеек па35 мяти и вывода результата для визуального наблюдения на экран дисплея или для печатания На бумаге с использованием АЦПУ. Преобразование массива осуществляется программным путем, таким образом, чтобы информация о полученных результатах измерения по одной строке была помещена в целое число соседних ячеек памяти. При этом данные об измерениях по первой линии

45 сектора помещаются в Q ячеек, начиная с ячеики младшего адреса в выделенном секторе памяти. Число Q определяется, дополнив результат деления ИХ/16 до целого числа (NX LX/DX — число иэ50 мерений ио строке). В первый разряд перного слова из группы Q слов переносится результат первого измерения по линии, во второй разряд — результат второго измерения и т.д., результат 17-го измерения помещается н 1-й

55 бит следующего слова и так до тех иор, пока не будут переписаны все результаты измерений, проведенных по

50 !о первой линии. Оставшиеся свободные старшие ячейки последнего слова первой группы заполняются нулями. Перед заполнением второй и последующих групп слов мяссина результатами изме— рений ио соответствующим линиям сначала определяется ири каком напранлении перемещения стола 1 произнедены измерения по данной линии. Если направление перемещения стола 1 положительно (направлено от начала строки к ее концу), то группа слов массива заполняется описанным способом. Если няпрянление перемещения стола отрицательно, то заполнение группы Q слов осуществляется в обратном направлении, начиняя от слова со старшим адресом в группе. При этом число занимаемых младших разрядов в старшем слове групп равно остатку результата деления

LX/DX. Первый результат измерений по такой строке заносится в старший используемый разряд старшего слова, второй — в разряд на бит младше и т.д. По заполнении одного слова переходим к заполнению следующЕго слова, начиняя со старшего разряда, и так до тех пор, пока не будет заполнен младший разряд последнего слова с няимладшим адресом в группе, соответствуюций последнему измерению по линии, пройденной в обратном направлении. Таким образом, в памяти нычислительного устройства 13 формируется двухмерный массив размерностью НХкБУ, где !!У = LY/DY — число линий сканиронания.

Для отображения картины дефектности некоторой области просканированного сектора, определяемой заданным числом отрезков линий заданной длины, необходимо побитно прочитать соответствующую область двухмерного массива данных, дешифрируя результат, занесенньпr в читаемые ячейки памяти в определенный символ.

Плоцадь отдельного дефекта или интегральную площадь всех дефектон можно определить как программно, так и визуально, определив количество информативных площадок, входящих в дефекты. Координаты дефектов, по которым они могут быть локализованы на исследуемом слое, токе могут быть определены как программно, так и визуально (по координатам баэоной вершины Х, и Y<,и удалению дефекта от ба— зоной вершины). Отчетливо наблюдаемая

1 3 fi3!3 ?8 конф11гyp;fffff>? fc

Производительно? ть процесс» определения дефекта исследуемого слоя по сравнению с известным устройством, имеющим один датчик, повышается вследствие применения и-1 датчика поля, где п — ч1н:ло разрядов входного регистра вычислительного устройства 13 (например, n =- 8; n = 16), составляющих и-1 к»няльн,п! измерительный

ll 1I блок, что позволяет просмотреть исследуемую поверхность в п-1 раз быстрее. Ввиду того, что предлагаемая система автоматически фиксирует координаты дефектов, ее использование позволяет значительно сократить время на повторные исследования дефектов, так как они уже локализованы и не надо тратить время на их отыскание. Система позволяет повысить 1?роизводительность дополнительных исследований дефектов, направленных на выявление их физической природы с целью улучшения технологии слоев и т.п

Возможность формирования картины дефектности и представление ее для визуального наблюдения на экране дисплея или в отпечатанном виде при помощи блока печати обуславливает повышенное качество процесса исследования дефектности слоя. По полученной картине дефектности удобно наблюдать за взаиморасположением дефектов и их конфигурацией, можно определить 1прогряммно или визуально ) общее число дефектов, их координаты, общую дефектную площадь слоя и т.п. Это позволяет сделать более обоснованные выл воды об пригодности исследуемого слоя и о причинах появления дефектов, что, в свою очередь, позволяет, устраняя эти причины, повышать производительность процесса изготовления электрофотографических слоев.

Ф О Р 1 У Jf ? н ? о fi Р е т е H ?! 11

Систем» для ко ?роля электре фотографи;еских слоев, содержящ;?я коордиг п»тный с-.ToJI дв» электропривод» H д»тчик электростатического поля, о тл и ч я ю щ а я с я тем, что, с целью повышения производительности и достоверности контроля, введены выl÷ècë?IòåëüH0å устройство, два датчика пе ремещений, двя цифроанало говых преобразователя, блок сравнения, два датчика положения, регистр и и-2 датчик» электростатического поля (и число разрядов первого информационного входа вычислительного устройства), причем первый и второй выходы вычислительного устройства подключены к входам соответственно первого и втоporо цифроаналоговых преобразователей, группа первых информационных входов — к выходам соответствующих датчиков электростатического поля, 25 второй информационный вход — к выходу первого датчика перемещений и к тактирующему входу регистра, третий вход — к выходу второго датчика перемеще?шй, а первый и второй управляющие входы — к выходам соответственно первого и второго датчиков положения,, а выход первого цифроаналогового преобрязов»теля соединен с входом первого электропривода, кинематически связанного с координатным столом, свя3".г занным т»кже с первым датчиком перемещен??й и с первым датчиком положения, выход второго цифроаналогового преобразователя соединен с входом

4О второго электропривода, связанного с датчиком электростатическбго поля, связанным также с вторым датчиком перемещений и вторым конечным выключателем, выходы датчиков электростати45 ческОГО пОля сОединены с вхОдами бло кя сравнения, связанного выходами с и-1 входами регистра, подключенного старшим разрядом к шине логической единицы.

gepA u тооой лыко

® офой

8mopov

Вод

7ое пий окод

Уел дер

wv &u 7rngiu

1348858

Составитель Н. Горбунова

Техред И.Попович Корректор Н,Король

Редактор Е. Копча

Заказ 5192/50 Тираж 670 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, r, Ужгород, ул. Проектная, 4