Стекло
Изобретение относится к области технологии силикатов, к производству свинцового алюмоборосиликатного стекла , предназначенного для использования в микроэлектронике для герметизации толстопленочных элементов микросхем . Цель - повьшение адгезии к никелю. Стекло содержит,- мас.%: SiO 11,0-15,0; BiOj 5,0-10,0;, AljGj 5,0- 7,0; PbO 62,0-70,0; ZnO 4,0-6,0; ZrOj 1,0-2,0; SnO 1,0-2,0; MnO 0,1-0,5; Ре,0э 0,1-0,5; NiO 0,1-0,5. Сумма MnO + + NiO равна 0,5- 1,0 мас.%. Стекло может быть использовано в технике в качестве химически устойчивого изоляционного материала . КТР стекла (60-65) 10 1/гра,ц, . температура размягчения 420-10°С. Стекло образует стеклообразное с хорошей адгезией к никелевому проводнику покрытие. 2 табЛо а со ел ю со
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СО1.1ИАЛИСТИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИК (51)4 03 С 8 24
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Н A ВТОРСКОМ,К СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ЯфЯДв g, w p
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 4013068/29-33 (22) 20.01,86 (46) 07 ° 11.87. Бюл. Р 41 (71) Белорусский политехнический институт (72) И.К.Немкович и Е.В.Козлова (53) 666. 112. 4 (088 ° 8) (56) Заявка Японии tt 56-5350, 1981.
Авторское свидетельство СССР
У 1313817, 1984, (54) СТЕКЛО (57) Изобретение относится к области технологии силикатов, к производству свинцового алюмоборосиликатного стекла, предназначенного для использования в микроэлектронике для гермети„„SU 1350129 А1 зации толстопленочных элементов микросхем. Цель — повышение адгезии к никелю. Стекло содержит, мас,X: SiO
l lю,0-15 ° 0» В Оз 5 еО 10 0 Alz0> 5,07 O; PbO 62,0-70 0; Zn0 4,0-6 0;
ZrO 1,0-2 0; SnOz 1,0-2,0; МпО
0,1-0,5; Fez0 0,1-0,5; Ni0 0,1-0,5, Сумма MnO + Ре О + NiO равна 0,51,0 мас.X. Стекло может быть использовано в технике в качестве химически устойчивого изоляционного материала, КТР стекла (60-65) 10 1/град, температура размягчения 420-10 С.
Стекло образует стеклообразное с хорошей адгезией к никелевому проводнику покрытие. 2 табл.
Таблица 1
Содержание компонентов, мас.7 в составе
Компоненты (з
l5 G
13,0
11,0
7,0
10,0
5,0
5,0
6,0
7,0
6,0 г03
64,3
66,0
62,0
70,0
PbO
6,0
5ьо
4„0
ZnO
1,0
1,5
2 O
1,0
Zr0
1,О
Snot
0,3
O 1
0)2
0 5
Мп0.
0,1
0,5
0,3
Ре Оз
0,1
0,5
0,3
NiO
2.МпО+Ре 0 +
+ N>0 0,9
0,7
0,5
1 13501
Изобретение относится к технологии силикатов, к производству свинцового алюмоборосиликатного стекла, предназначенного для использования в с> микроэлектронике для герметизации . элементов микросхем.
Целью изобретения является повышение адгезии к никелю.
Изобретение поясняется конкретны- )G ми составами стекол, представленными в табл.1, Характеристика составов предлагаемого и известного стекол представлена в табл,2, 15
Полученные с помощью предлагаемого стекла герметизированные толсто-пленочные элементы практически не изменяют своих электрических характеристик после длительного выдержива- 20 ния их во влажной среде (56 сут, влажность 987).
Формула изобретения
Стекло, включающее Sioг, ВгОэ, Al 0>, Pb0, ZnO, ЕтО, Sno, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения адгезии к никелю, оно дополнительно содержит Nno, Fe o» Nio при следующем соотношении компонентов, мас,X:
SiG 11-15
ВгОз 5-10
A>ã0ç 5-7
РЪО 62"70
ZnO 4-6
ZrO 1-2
SnG 1-2
NnO 0,1-0 5
Fe,0 0,1-0,5
NiO О, 1-0,5 причем сумма МпО, Рег0>, ИдО равна
0 5-1 мас.7, 1350129
Таблица 2
Свойства
Показатели для состава
ИзвестHbIH
; Температура размяг чения, С
420+10
420+10
420+10
420+10 430+10
65+1
60+ 1
63+1
60 1 60 „2
ОФ05
0,08
0,07
Ов05 Ое05 Оэ08
Кристаллизационная о способность, С
Не кристаллизуется
Стеклообразное с хорошей адгезией к никелевому проводнику покрытие
Составитель С.Белобокова
Редактор Н,Лазаренко Техред Л.Олийнык Корректор И,Эрдейи
Заказ 5225/22
Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул.Проектная,4
Коэффициент теплового расширения, м 10 град
Химическая устойчивость по отношению к Н,,О,7
Поведение стекол на керамике 22ХС с никелевым покрытием после обжига при
550 С
Тираж 428 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5
Стеклообразное. адгезия слабая к никелю
