Криогенный форвакуумный конденсационно-адсорбционный насос

 

1366690

Составитель В.Кряковкин

РедактоР М.БандУРа ТехРед M.Коданич Корректор Л.Пилипенко

Заказ 6803/32 Тираж 574 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий .

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, r..Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям криогенных вакуумных насосов, работающих в области низкого и среднего вакуума.

На чертеже представлена схема предлагаемого насоса.

Криогенный форвакуумный конденсационно-адсорбционный насос содер- 10 жит-корпус 1 и установленный в нем откачивающий элемент в виде двух охлаждаемых коаксиальных конусов

2 и 3 с отверстиями 4 и 5 соответственно в обращенных вниз вершинах. l

Конусы 2 и 3 установлены в корпусе

1 с возможностью осевого перемещения друг относительно друга, а на их поверхностях, обращенных одна к другой, закреплен адсорбент 6. Конусы 2 20 и 3 могут иметь общий или независимый контуры охлаждения. К нижней части корпуса 1 через патрубок с клапаном 7 подсоединен сборник 8 жидкого конденсата, охлаждаемый парами используемого в. контурах охлаждения конусов 2 и 3 хладагента.

Насос работает следующим образом.

Перед включением насоса в работу конусы 2 и 3 плотно сдвинуты. При охлаждении конусов 2 и 3 откачиваемый газ, поступающий в корпус 1 насоса, конденсируется на их поверхностях в жидкую фазу и стекает в сборник 8 конденсата. После достиже-. ЗБ ния давления, соответствующего давлению тройной точки воздуха, клапан .

7 перекрывается, поскольку дальнейшая(конденсация происходит в твердую фазу. Когда давление в насосе достигает предельного для конденсационной откачки, т.е. определяется упругостями паров откачиваемых газов при температуре конусов 2 и 3, конусы раздвигаются и в работу вступает адсорбент 6, который уже достаточно хорошо охлажден. В результате откачиваются неконденсируемые компоненты откачиваемой среды.

Таким образом, откачные характеристики насоса улучшаются эа счет. использования адсорбента,включаемого в работу на заключительной стадии вакуумирования.

Формула изобретения

Криогенный форвакуумный конденсационно-адсорбционный насос, содержащий корпус и установленный в нем откачивающий элемент в виде двух охлаждаемых коаксиальных конусов с отверстиями в обращенных вниз вершинах, отличающийся тем, что, с целью улучшения откачных ха-, рактеристик, конусы установлены в корпусе с возможностью осевого перемещения друг относительно друга, а на их поверхностях, обращенных одна к другой, закреплен адсорбент.