Интерферометр для измерения линейных перемещений

Авторы патента:

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к измерениям перемещений при вибрации. Целью изобретения является повышение чувствительности. Излучение от источника 1 разделяется светоделителем 2 на два потока, один из которых направляется на основание отражателя 3. После отражения от боковой грани oVpaжaтeля 3 поток направляют снова на основание отражателя 3. Последний из отраженных лучей потока направляют через срез 5 отражателя 4 на светоделитель 2, а через него - на фотоприемник 9. Второй поток светоделителя 2 направляют на основание отражателя 6. После отражения от боковой грани которого поток направляют на основание отражателя 7. После отражения от боковой грани отражателя 7 поток снова направляют на основание отражателя 6, последний из отраженных лучей потока направляют через срез 8 отражателя 7 на светоделитель 2, где он оборачивается на 90° и направляется на фотоприемник 9, на котором происходит пространственное совмещение двух потоков от светоделителя 2. 1 ил. i (Л

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (5В 4 G Ol В 9 02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCKOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 4139862/25-28 (22) 28.10.86 (46) 30.03.88. Бюл. № 12 (71) Всесоюзный научно-исследовательский институт метрологической службы (72) В. Я. Бараш, Г. С. Пресняков и А. Л. Резников (53) 531.715.1 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 1275205, кл. G 01 В 9/02, 1985. (54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ (57) Изобретение относится к измерительной технике, в частности к измерениям перемещений при вибрации. Целью изобретения является повышение чувствительности.

Излучение от источника 1 разделяется светоделителем 2 на два потока, один из ко„„SU„„1384936 А 1 торых направляется на основание отражателя 3. После отражения от боковой грани отражателя 3 поток направляют снова на основание отражателя 3. Последний из отраженных лучей потока направляют через срез

5 отражателя 4 на светоделитель 2, а через него вЂ” на фотоприемник 9. Второй поток светоделителя 2 направляют на основа ние отражателя 6. После отражения от боковой грани которого поток направляют на основание отражателя 7. После отражения от боковой грани отражателя 7 поток снова направляют на основание отражателя 6, последний из отраженных лучей потока направляют через срез 8 отражателя 7 на светоделитель 2, где он оборачивается на 90 и направляется на фотоприемник 9, на котором происходит пространственное совмешение двух потоков от светоделителя 2. 1 ил.

1384936

Формула изобретения

Составитель Н. Захаренко

Редактор А. Ревин Техред И. Верес Корректор М. Максимишинец

Заказ 1119/36 Тираж 680 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к измерениям перемещений при вибрации.

Цель изобретения вЂ” повышение чувствительности интерферометра.

На чертеже изображена схема предлагаемого интерферометра.

Интерферометр содержит источник 1 излучения, светоделитель 2 для разделения излучения на два потока, в одном из потоков последовательно установлены два трехгранных уголковых отражателя 3 и 4, ориентированных основаниями навстречу друг к другу, вершина 5 отражателя 4 усечена плоскостью, параллельной основанию, в потоке излучения, проходящего через светоделитель

2, также два трехгранных уголковых отражателя 6 и 7, вершина 8 третьего отражателя 7 усечена плоскостью, параллельной основанию, и во втором потоке от светоделителя 2 вЂ” фотоприемник 9.

Интерферометр работает следующим образом.

Излучение от источника 1 разделяется светоделителем 2 на два потока, один из которых направляется на основание отражателя 3. После отражения от боковой грани отражателя 3 поток направляют снова на основание отражателя 3. Последний из отраженных лучей потока направляют через срез (вершину) 5 отражателя 4 на светоделитель 2, а через него вЂ” на фотоприемник 9. Второй поток светоделителя 2 направляют на основание отражателя 6. После отражения от боковой грани отражателя 6 поток направляют на основание отражателя

7, а после отражения от боковой грани отражателя 7 поток снова направляют на основание отражателя 6. Последний из отраженных лучей потока направляют через срез (вершину) 8 отражателя 7 вЂ” на светоделитель 2, где он оборачивается на 90 и направляется на фотоприемник 9, на котором происходит пространственное совмещение двух потоков от светоделителя 2.

Интерферометр для измерения линейных перемещений, содержащий последовательно расположенные источник излучения и светоделитель для разделения излучения на два потока, последовательно установленные в одном из них два трехгранных уголковых

20 отражателя, ориентированные основаниями навстречу друг другу, и вершина одного из которых усечена плоскостью, параллельной основанию, и установленный в другом потоке фотоприемник, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности, он снабжен третьим и четвертым трехгранными уголковыми отражателями, последовательно установленными в потоке излучения, проходящего через светоделитель, и ориентированными основаниями навстречу друг к другу, а вершина третьего отражателя усечена плоскостью, параллельной основанию.

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности для контроля правильности формы вогнутых сферических и асферических (с небольшим отступлением от сферы) поверхностей оптических деталей

Устройство для измерения фазовых сдвигов лазерного излучения // 1383089

Изобретение относится к области измерительной техники и предназначено для измерения фазовьк сдвигов, вносимых прозрачными и полупрозрачными объектами на частоте лазерного излучения в импульсном режиме

Способ выставления нулевой разности хода в плечах интерферометра // 1375949

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для выставления нулевой разности хода в плечах интерферометров при их юстировке

Интерференционный способ измерений относительных перемещений диффузно отражающих поверхностей и устройство для его осуществления // 1374042

Изобретение относится к измерительной технике

Способ контроля отклонения формы и расположения поверхностей // 1370454

Изобретение относится к измерительной технике

Интереферометр для контроля формы вогнутых эллиптических поверхностей // 1370453

Изобретение относится к измерительной технике

Гетеродинный способ обработки голограмм и устройство для его осуществления // 1368851

Изобретение относится к опти-, ческому приборостроению

Интерферометр для контроля формы плоской поверхности оптической детали // 1368626

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для контроля форьй плоской поверхности крупногабаритных оптических деталей

Способ обработки голограмм с увеличенной чувствительностью и устройство для его осуществления // 1368624

Изобретение относится к оптическому приборостроению и может быть использовано в газои гидродинамике , теплофизике, теплотехнике, акуртике, интерференционной спектроскопии

Интерферометр для контроля формы вогнутых оптических асферических поверхностей // 1368623

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для использования в оптическом производстве при контроле формы вогнутых оптических асферических поверхностей , например главных зеркал телескопов

Двухлучевой интерферометр для измерения показателя преломления изотропных и анизотропных материалов // 2102700

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано для измерения с высокой точностью показателей преломления изотропных и анизотропных материалов

Звездный интерферометр майкельсона // 2103662

Устройство для автоматизированного измерения угловых величин // 2112208

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для высокоточных измерений малых угловых перемещений в специальных геодезических работах, в точных геофизических измерениях и при производстве крупногабаритных изделий в качестве контрольно-измерительной аппаратуры

Интерферометр для контроля формы поверхности выпуклых гиперболических зеркал // 2114390

Устройство для записи голографических интерферограмм // 2119644

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к двухэкспозиционной голографической интерферометрии, и может быть использовано при исследовании вибраций объектов, в том числе вращающихся, и других процессов

Устройство для измерения поверхностных характеристик // 2124701

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройству для измерения поверхностей и профилей с помощью интерферометрии

Способ обработки сигнала кольцевого интерферометра волоконно-оптического гироскопа (варианты) // 2130587

Изобретение относится к области волоконной оптики и может быть использовано при конструировании электронного блока обработки информации волоконно-оптического гироскопа, а также других датчиков физических величин на основе кольцевого интерферометра

Интерферометр перемещения // 2139496

Изобретение относится к интерферометрам и может быть использовано для абсолютного измерения линейной длины отрезков

Микрорезонаторный волоконно-оптический датчик концентрации газов // 2142114

Изобретение относится к волоконно-оптическим автоколебательным системам на основе микромеханического резонатора, возбуждаемого светом, и может быть использовано в системах измерения различных физических величин, например, концентрации газов, температуры, давления и др

Способ измерения квазипериода дифракционного распределения излучения от узкой щели // 2145054

Изобретение относится к оптико-электронному приборостроению и может использоваться в скоростных дифрактометрах